一种直拉硅单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域，且公开了一种直拉硅单晶炉，包括底座和连通管，所述底座的顶部固定有炉箱，所述炉箱的内部设置有坩埚，所述坩埚的下侧设置有升降电机，所述升降电机的一侧设置有保温套，所述坩埚的内壁开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定有透明壳和液位传感器，所述炉箱上开设有炉箱凹槽，所述炉箱凹槽的内壁固定有多个等距离排列的制冷片，所述炉箱的一侧固定有第一支撑板。该直拉硅单晶炉，通过在底座上设置的炉箱，炉箱上设置的第一支撑板、控制面板和水箱，水箱上设置的出水管，炉箱上开设的炉箱凹槽，炉箱凹槽内部设置的制冷片，达到了对炉箱降温的效果。达到了对炉箱降温的效果。达到了对炉箱降温的效果。

A Czochralski single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
一种直拉硅单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为一种直拉硅单晶炉。

技术介绍

[0002]生产单晶硅棒时，需要使用加热器将坩埚内的多晶硅料加热至熔化，然后再采用直拉法拉制单晶硅棒，在此过程中，需要使用保温材料包裹在加热器外围，以防止热量散失，降低加热器功耗。
[0003]目前市场上的一些单晶炉：
[0004](1)在使用过程中，由于使用时原材料不断损耗的原因，现有的单晶炉不便于添加原材料；
[0005](2)在使用过程中，由于炉子使用结束后需要凉置的原因，现有的单晶炉无法加快降温效率。
[0006]所以我们提出了一种直拉硅单晶炉，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0007](一)解决的技术问题
[0008]针对上述
技术介绍
中现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种直拉硅单晶炉，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上的一些直拉硅单晶炉，存在不便于添加原材料和无法加快降温效率的问题。
[0009](二)技术方案
[0010]为实现以上目的，本技术通过以下技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉硅单晶炉，包括底座(1)和连通管(19)，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定有炉箱(2)，所述炉箱(2)的内部设置有坩埚(3)，所述坩埚(3)的下侧设置有升降电机(4)，所述升降电机(4)的一侧设置有保温套(10)，所述坩埚(3)的内壁开设有凹槽(7)，所述凹槽(7)的内壁固定有透明壳(8)和液位传感器(9)，所述炉箱(2)上开设有炉箱凹槽(14)，所述炉箱凹槽(14)的内壁固定有多个等距离排列的制冷片(15)，所述炉箱(2)的一侧固定有第一支撑板(16)；所述第一支撑板(16)的顶部固定有水箱(24)，所述水箱(24)的一侧设置有出水管(17)，所述炉箱(2)远离第一支撑板(16)的一侧固定有第二支撑板(21)，所述第二支撑板(21)的顶部固定有原材料箱(22)，所述原材料箱(22)的一侧设置有出料管(29)，所述炉箱(2)上固定有控制面板(26)。2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉，其特征在于，所述升降电机(4)的两侧均设置有固定柱(5)，两个所述固定柱(5)以升降电机(4)为中心对称，所述固定柱(5)的底部与炉箱(2)的内底壁相固定，所述固定柱(5)上设置有升降柱(6)，所述升降柱(6)的顶部与坩埚(3)的底部相固定，所述升降柱(6)的底部贯穿固定柱(5)的顶部延伸至固定柱(5)的内部。3.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉，其特征在于，所述炉箱(2)的内壁固定有导流块(12)，所述导流块(12)位于坩埚(3)的上侧。4.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张利超，
申请(专利权)人：张利超，
类型：新型
国别省市：