一种直拉硅单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域，且公开了一种直拉硅单晶炉，包括底座和连通管，所述底座的顶部固定有炉箱，所述炉箱的内部设置有坩埚，所述坩埚的下侧设置有升降电机，所述升降电机的一侧设置有保温套，所述坩埚的内壁开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定有透明壳和液位传感器，所述炉箱上开设有炉箱凹槽，所述炉箱凹槽的内壁固定有多个等距离排列的制冷片，所述炉箱的一侧固定有第一支撑板。该直拉硅单晶炉，通过在底座上设置的炉箱，炉箱上设置的第一支撑板、控制面板和水箱，水箱上设置的出水管，炉箱上开设的炉箱凹槽，炉箱凹槽内部设置的制冷片，达到了对炉箱降温的效果。达到了对炉箱降温的效果。达到了对炉箱降温的效果。

A Czochralski single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
一种直拉硅单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为一种直拉硅单晶炉。

技术介绍

[0002]生产单晶硅棒时，需要使用加热器将坩埚内的多晶硅料加热至熔化，然后再采用直拉法拉制单晶硅棒，在此过程中，需要使用保温材料包裹在加热器外围，以防止热量散失，降低加热器功耗。
[0003]目前市场上的一些单晶炉：
[0004](1)在使用过程中，由于使用时原材料不断损耗的原因，现有的单晶炉不便于添加原材料；
[0005](2)在使用过程中，由于炉子使用结束后需要凉置的原因，现有的单晶炉无法加快降温效率。
[0006]所以我们提出了一种直拉硅单晶炉，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0007](一)解决的技术问题
[0008]针对上述
技术介绍
中现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种直拉硅单晶炉，以解决上述
技术介绍
中提出的目前市场上的一些直拉硅单晶炉，存在不便于添加原材料和无法加快降温效率的问题。
[0009](二)技术方案
[0010]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0011]一种直拉硅单晶炉，包括底座和连通管，所述底座的顶部固定有炉箱，所述炉箱的内部设置有坩埚，所述坩埚的下侧设置有升降电机，所述升降电机的一侧设置有保温套，所述坩埚的内壁开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定有透明壳和液位传感器，所述炉箱上开设有炉箱凹槽，所述炉箱凹槽的内壁固定有多个等距离排列的制冷片，所述炉箱的一侧固定有第一支撑板；
[0012]所述第一支撑板的顶部固定有水箱，所述水箱的一侧设置有出水管，所述炉箱远离第一支撑板的一侧固定有第二支撑板，所述第二支撑板的顶部固定有原材料箱，所述原材料箱的一侧设置有出料管，所述炉箱上固定有控制面板。
[0013]优选的，所述升降电机的两侧均设置有固定柱，两个所述固定柱以升降电机为中心对称，所述固定柱的底部与炉箱的内底壁相固定，所述固定柱上设置有升降柱，所述升降柱的顶部与坩埚的底部相固定，所述升降柱的底部贯穿固定柱的顶部延伸至固定柱的内部。
[0014]优选的，所述炉箱的内壁固定有导流块，所述导流块位于坩埚的上侧。
[0015]优选的，所述炉箱上铰接有炉箱箱盖。
[0016]进一步的，所述水箱远离出水管的一侧设置有抽水管，所述炉箱凹槽的内部设置
有抽水管，所述抽水管上开设有多个等距离排列的吸水口，多个所述吸水口两两之间距离相等，所述连通管的一端贯穿炉箱的一侧与抽水管的一端固定连通，所述连通管的另一端与水箱的一侧壁固定连通，所述保温套上固定有多个等距离排列的电加热灯，多个所述电加热灯两两之间距离相等。
[0017]进一步的，所述控制面板和液位传感器的输出端均电连接有控制器，所述控制器的输出端均与电加热灯、升降电机和制冷片的输出端电连接，所述控制器的输入端电连接有蓄电池。
[0018]进一步的，所述升降电机的底部与炉箱的内底壁相固定，所述保温套的外壁与炉箱的内壁相固定，多个所述制冷片两两之间距离相等，所述出水管的一端与水箱的一侧固定连通，所述透明壳和液位传感器之间留有间隔，所述出水管的另一端贯穿炉箱的一侧延伸至炉箱凹槽的内部，所述出料管的一端与原材料箱的一侧固定连通，所述出料管的另一端贯穿炉箱的一侧延伸至坩埚的上方。
[0019](三)有益效果
[0020]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该直拉硅单晶炉：
[0021](1)通过在底座上设置的炉箱，炉箱上设置的第一支撑板、控制面板和水箱，水箱上设置的出水管，炉箱上开设的炉箱凹槽，炉箱凹槽内部设置的制冷片，达到了对炉箱降温的效果。
[0022](2)通过在炉箱上设置的第二支撑板和原材料箱，炉箱内部设置的坩埚，坩埚上开设的凹槽，凹槽内部设置的透明壳和液位传感器，原材料箱上设置的出料管，达到了自动补给材料的效果。
附图说明
[0023]图1为本技术直拉硅单晶炉的结构示意图；
[0024]图2为本技术直拉硅单晶炉的截面结构示意图；
[0025]图3为本技术直拉硅单晶炉的工作原理结构示意图。
[0026]图中：底座1，炉箱2，坩埚3，升降电机4，固定柱5，升降柱6，凹槽 7，透明壳8，液位传感器9，保温套10，电加热灯11，导流块12，炉箱箱盖 13，炉箱凹槽14，制冷片15，第一支撑板16，出水管17，抽水管18，连通管19，吸水口20，第二支撑板21，原材料箱22，水箱24，控制面板26，控制器27，蓄电池28，出料管29。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
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3所示，本技术提供一种直拉硅单晶炉；包括底座1和连通管19，底座1的顶部固定有炉箱2，炉箱2的内部设置有坩埚3，坩埚3 的下侧设置有升降电机4，升降电机4的一侧设置有保温套10，坩埚3的内壁开设有凹槽7，凹槽7的内壁固定有透明壳8和液位传感器9，炉箱2上开设有炉箱凹槽14，炉箱凹槽14的内壁固定有多个等距离排列的制冷
片15，炉箱2的一侧固定有第一支撑板16；
[0029]第一支撑板16的顶部固定有水箱24，水箱24的一侧设置有出水管17，炉箱2远离第一支撑板16的一侧固定有第二支撑板21，第二支撑板21的顶部固定有原材料箱22，原材料箱22的一侧设置有出料管29，炉箱2上固定有控制面板26；
[0030]作为本技术的一种优选技术方案：升降电机4的两侧均设置有固定柱5，两个固定柱5以升降电机4为中心对称，固定柱5的底部与炉箱2的内底壁相固定，固定柱5上设置有升降柱6，升降柱6的顶部与坩埚3的底部相固定，升降柱6的底部贯穿固定柱5的顶部延伸至固定柱5的内部，通过升降电机4、升降柱6和固定柱5的配合，达到了调节坩埚3使用高度的作用；
[0031]作为本技术的一种优选技术方案：炉箱2的内壁固定有导流块12，导流块12位于坩埚3的上侧；
[0032]作为本技术的一种优选技术方案：炉箱2上铰接有炉箱箱盖13；
[0033]作为本技术的一种优选技术方案水箱24远离出水管17的一侧设置有抽水管18，炉箱凹槽14的内部设置有抽水管18，抽水管18上开设有多个等距离排列的吸水口20，多个吸水口20两两之间距离相等，连通管19的一端贯穿炉箱2的一侧与抽水管18的一端固定连通，连通管19的另一端与水箱24的一侧壁固定连通，保温套10上固定有多个等距离排列的电加热灯11，多个电加热灯11两两之间距离相等，通过抽水管18、吸水口20和连通管19 的配合，达到了抽取炉箱凹槽14内部的水进行循环利用的作用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉硅单晶炉，包括底座(1)和连通管(19)，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定有炉箱(2)，所述炉箱(2)的内部设置有坩埚(3)，所述坩埚(3)的下侧设置有升降电机(4)，所述升降电机(4)的一侧设置有保温套(10)，所述坩埚(3)的内壁开设有凹槽(7)，所述凹槽(7)的内壁固定有透明壳(8)和液位传感器(9)，所述炉箱(2)上开设有炉箱凹槽(14)，所述炉箱凹槽(14)的内壁固定有多个等距离排列的制冷片(15)，所述炉箱(2)的一侧固定有第一支撑板(16)；所述第一支撑板(16)的顶部固定有水箱(24)，所述水箱(24)的一侧设置有出水管(17)，所述炉箱(2)远离第一支撑板(16)的一侧固定有第二支撑板(21)，所述第二支撑板(21)的顶部固定有原材料箱(22)，所述原材料箱(22)的一侧设置有出料管(29)，所述炉箱(2)上固定有控制面板(26)。2.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉，其特征在于，所述升降电机(4)的两侧均设置有固定柱(5)，两个所述固定柱(5)以升降电机(4)为中心对称，所述固定柱(5)的底部与炉箱(2)的内底壁相固定，所述固定柱(5)上设置有升降柱(6)，所述升降柱(6)的顶部与坩埚(3)的底部相固定，所述升降柱(6)的底部贯穿固定柱(5)的顶部延伸至固定柱(5)的内部。3.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉，其特征在于，所述炉箱(2)的内壁固定有导流块(12)，所述导流块(12)位于坩埚(3)的上侧。4.根据权利要求1所述的一种直拉硅单晶炉，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张利超，
申请(专利权)人：张利超，
类型：新型
国别省市：