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下载一种直拉硅单晶炉的技术资料

文档序号:34319109

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本实用新型涉及单晶炉技术领域,且公开了一种直拉硅单晶炉,包括底座和连通管,所述底座的顶部固定有炉箱,所述炉箱的内部设置有坩埚,所述坩埚的下侧设置有升降电机,所述升降电机的一侧设置有保温套,所述坩埚的内壁开设有凹槽,所述凹槽的内壁固定有透明壳...
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