一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构、粘接方法技术

本发明专利技术提供一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构及采用该模板结构的粘接方法，包括与晶圆棒端部横截面相同的模板，在所述模板径面上配设有若干垫片，所述垫片能够在所述晶圆棒粘接固化时缓冲从所述晶圆棒最外两端面沿所述晶圆棒轴向朝拼缝处对顶抵固的顶力，防止所述晶圆棒拼缝处磕损。本发明专利技术不仅结构简单而且易于控制，在粘接面上均匀放置若干缓冲垫，以减缓夹枪对晶圆棒顶固的顶力，且不影响晶方棒的粘接效果，并可保证晶方棒的粘接质量，降低晶圆棒拼缝处出现隐裂或蹦损的几率，可使蹦损率降低50

【技术实现步骤摘要】
一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构、粘接方法


[0001]本专利技术属于晶圆棒粘接
，尤其是涉及一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构及采用该模板结构的粘接方法。

技术介绍

[0002]现有手工粘接晶圆棒时，在晶圆棒涂胶后，常采用夹枪顶固晶圆棒的端面以使两个晶圆棒粘接面上的胶水快速凝结固化，并可使拼缝的缝隙缩小，避免缺胶或漏胶。但在使用夹枪顶固时，容易使晶圆棒的拼缝处产生抵顶，致使拼缝处的外缘边或开方的切割位处产生裂纹或蹦损，废品率较高，严重影响后续切片质量，生产成本较大。

技术实现思路

[0003]本专利技术提供一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构及采用该模板结构的粘接方法，解决了现有晶圆棒拼缝时容易产生磕损或隐裂的技术问题。
[0004]为解决至少一个上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：
[0005]一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，包括与晶圆棒端部横截面相同的模板，在所述模板径面上配设有若干垫片，所述垫片能够在所述晶圆棒粘接固化时缓冲从所述晶圆棒最外两端面沿所述晶圆棒轴向朝拼缝处对顶抵固的顶力，防止所述晶圆棒拼缝处磕损。
[0006]进一步的，所述垫片沿所述模板径面均匀设置，且所述垫片位于所述晶圆棒在所述模板投影区域中的非棱线位置处。
[0007]进一步的，所述垫片位于连接所述晶圆棒棱线在所述模板投影点所围成的图形界面外。
[0008]进一步的，所述垫片均至所述模板外圆和连接所述晶圆棒棱线在所述模板投影点所围成的图形界面有一定距离。
[0009]进一步的，所述垫片靠近所述模板外圆设置，并至所述模板外圆的最小距离为2
‑
10mm。
[0010]进一步的，所述垫片结构为圆形、正三角形或正多边形。
[0011]进一步的，所述垫片位于所述模板外圆与连接所述晶圆棒棱线在所述模板投影点所围成的图形界面外之间的任一区域中的最大径向宽度位置处。
[0012]进一步的，所述垫片面积不大于1cm2，且其厚度不大于2mm。
[0013]一种防止晶圆棒拼缝处磕损的粘接方法，采用如上任一项所述的模板结构，步骤包括：使两个晶圆棒拼接，并在粘接拼缝处设有若干均匀设置的垫片，所述垫片位于连接棱线所围成的图形界面之外；再在对接后的两个所述晶圆棒的非粘接面施以对向的顶力，以夹固所述晶圆棒。
[0014]进一步的，在所述晶圆棒拼接时，先在任一个晶圆棒的端面涂覆胶液并使所述胶液全面覆盖于所述晶圆棒的端面；再将所述垫片依次放置在每一个连接棱线所围成的图形
界面之外的弧面区域内。
[0015]进一步的，所述垫片中线与所述弧面区域的中线重叠设置。
[0016]采用本专利技术设计的一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构及采用该模板结构的粘接方法，模板结构简单且易于控制；在粘接面上均匀放置若干缓冲垫，以减缓夹枪对晶圆棒顶固的顶力，且不影响晶方棒的粘接效果，并可保证晶方棒的粘接质量，降低晶圆棒拼缝处出现隐裂或蹦损的几率，可使蹦损率降低50
‑
60％。
附图说明
[0017]图1是本专利技术一实施例的模板结构的示意图；
[0018]图2是本专利技术另一实施例的圆形垫片位于弧形面的中线位置的模板结构图；
[0019]图3是本专利技术另一实施例的三角形垫片位于弧形面的中线位置的模板结构图；
[0020]图4是本专利技术另一实施例的垫片位于弧形面中非中线位置的模板结构图；
[0021]图5是本专利技术一实施例的晶圆棒粘接的示意图。
[0022]图中：
[0023]10、晶圆棒
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20、模板
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21、投影点
[0024]22、图形界面
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23、弧形面
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30、垫片
具体实施方式
[0025]下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细说明。
[0026]本实施例提出一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，如图1所示，包括与晶圆棒10端部横截面相同的模板20，在模板20的径面上配设有若干垫片30，垫片30能够在晶圆棒10粘接固化时缓冲从晶圆棒10最外两端面沿晶圆棒10的轴向朝拼缝处对顶抵固的顶力，防止晶圆棒10的拼缝处磕损，且不影响晶圆棒10的对接固定。
[0027]优选地，垫片10沿模板20径面均匀设置，且垫片10位于晶圆棒10在模板20的投影区域中的非连接棱线的位置处。因为在棱线位置处，其受力点较脆，受力易裂，且若垫片10设置在棱线位置处时，阻挡开方时切割，造成切割入刀点质量不合格，直接影响后续切割。而且也不易于设置在棱线的连接线上，因为在开方切割时，是沿着棱线的连接线所切割，若垫片10在任一棱线的连接线上，都会影响开方的切割质量。
[0028]优选地，垫片30位于连接晶圆棒10的棱线在模板20中的投影点21即棱线点所围成的图形界面22之外，因为设置在图形界面22之外，即是开方去除掉的面积，也即是位于弧形面23中，在这一位置中，垫片20不会影响开方切割路线，而且还可保证开方后的晶方棒的端面全面都是胶液粘接，保证粘接质量。还有，由于采用从晶圆棒10最外两端面沿晶圆棒10的轴向朝拼缝处对顶抵固的顶力，这些顶力不仅沿晶圆棒10的外边缘设置，而且还有从晶圆棒10的中心轴线上顶固，则，对于边缘处的顶力受力更多，设置垫片30在弧形面23位置处，更能避免晶圆棒10受顶力导致晶圆棒10外边缘磕损。
[0029]进一步的，为了防止挤压晶圆棒10的拼缝时胶液受垫板30的挤兑而外流至晶圆棒10的外壁面或使图形界面22中的胶液有堆积，要求垫片30均至模板20的外圆和连接晶圆棒10棱线在模板20的投影点21所围成的图形界面22有一定距离。
[0030]优选地，垫片30越靠近模板10的外圆设置越好，并其至模板20外圆的最小距离W为
2
‑
10mm，可避免开方切割时影响切割质量。
[0031]进一步的，垫片30的结构为圆形、正三角形或正多边形，具体地：
[0032]当垫片30的结构为圆形时，其直径与模板20的直径重叠设置且位于弧形面23中，结构如图2所示。
[0033]当垫片30为非圆形结构时，垫片30中任一边与连接晶圆棒10棱线在模板20投影点21所围成的图形界面22的边是平行设置，目的是保证设置垫片30的位置朝向时有统一的标准，就是以图形界面22的边为基准，以垫片30的边与图形界面22的边平行设置，从而可使垫片30的中线即对称线与模板20的直径重叠，以便于放置垫片30的位置于模板20上，且使各位置的垫片30中所有的缓冲力都相同。如图3所示，垫片30为正三角形结构，其顶点朝靠近模板20的外边缘设置，其一边与图形界面22的边平行设置。或如图1所示，垫片30为正方形结构，这种结构更易于加工，其一组两对边均与图形界面22的边平行设置。无论是何种结构的垫片30，在同一批次的粘接拼缝过程中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，其特征在于，包括与晶圆棒端部横截面相同的模板，在所述模板径面上配设有若干垫片，所述垫片能够在所述晶圆棒粘接固化时缓冲从所述晶圆棒最外两端面沿所述晶圆棒轴向朝拼缝处对顶抵固的顶力，防止所述晶圆棒拼缝处磕损。2.根据权利要求1所述的一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，其特征在于，所述垫片沿所述模板径面均匀设置，且所述垫片位于所述晶圆棒在所述模板投影区域中的非棱线位置处。3.根据权利要求2所述的一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，其特征在于，所述垫片位于连接所述晶圆棒棱线在所述模板投影点所围成的图形界面外。4.根据权利要求2或3所述的一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，其特征在于，所述垫片均至所述模板外圆和连接所述晶圆棒棱线在所述模板投影点所围成的图形界面有一定距离。5.根据权利要求4所述的一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，其特征在于，所述垫片靠近所述模板外圆设置，并至所述模板外圆的最小距离为2
‑
10mm。6.根据权利要求2
‑
3、5任一项所述的一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构，其特征在于，所述垫片结构为圆形、正三角形或正...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓鹏，梁志慧，李喜珍，贡艺强，王猛，石岩，杨树生，赵艳慧，常顺，林雪龙，李志剑，赵伟，尹琨，王光宇，
申请(专利权)人：内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司，
类型：发明
国别省市：