下载一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构、粘接方法的技术资料

文档序号:37972669

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本发明提供一种防止晶圆棒拼缝处磕损的模板结构及采用该模板结构的粘接方法,包括与晶圆棒端部横截面相同的模板,在所述模板径面上配设有若干垫片,所述垫片能够在所述晶圆棒粘接固化时缓冲从所述晶圆棒最外两端面沿所述晶圆棒轴向朝拼缝处对顶抵固的顶力,防...
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