一种应用于单晶炉的炉盖制造技术

一种应用于单晶炉的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体设有炉盖腔体和可供单晶棒通过的炉盖开口，所述炉盖本体还包括外壳和内壳，所述外壳和内壳之间形成换热空间，所述换热空间用于对所述炉盖腔体进行冷却，所述换热空间内设有弹性密封水道结构，所述弹性密封水道结构和所述换热空间围合形成循环水道，所述弹性密封水道结构的一侧与所述内壳连接，所述弹性密封水道结构的另一侧与所述外壳连接，所述弹性密封水道结构用于使所述外壳和所述内壳紧密连接。本实用新型专利技术设置的弹性密封组件，使得炉盖本体的外壳和内壳紧密相连，避免了窜水现象的发生，能够保证换热效率，提高单晶炉炉盖的使用寿命。的使用寿命。的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于单晶炉的炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉的辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的炉盖。

技术介绍

[0002]直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。在现有技术中，由于单晶炉炉盖的外壳与内壳连接不够紧密，容易使冷却介质通过单晶炉炉盖的外壳与水道隔板之间的间隙就近回水，发生窜水现象，使得冷却介质不能通过循环水道均匀地分布在单晶炉炉盖的壳体内，导致单晶炉炉盖对晶棒的冷却不均匀；并且在单晶炉工作的时候，工作温度高并且温度反复变化，单晶炉炉盖的内外壳及水道隔板因反复的热胀冷缩会加大外壳与水道隔板之间的间隙，加重窜水现象，进一步加剧了单晶炉炉盖壳体与水道隔板之间因窜水现象而没有冷却介质流经的部位的形变，进一步降低单晶炉炉盖的换热效率，降低单晶的结晶效率，降低晶棒的产能和质量，进而影响单晶炉的生产效益，从而降低单晶炉炉盖的使用寿命。

技术实现思路

[0003]针对上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于单晶炉的炉盖，包括炉盖本体(1)，所述炉盖本体(1)设有炉盖腔体(2)和可供单晶棒通过的炉盖开口(3)，其特征在于：所述炉盖本体(1)还包括外壳(4)和内壳(5)，所述外壳(4)和内壳(5)之间形成换热空间(6)，所述换热空间(6)用于对所述炉盖腔体(2)进行冷却，所述换热空间(6)内设有弹性密封水道结构(7)，所述弹性密封水道结构(7)和所述换热空间(6)围合形成循环水道(8)，所述弹性密封水道结构(7)的一侧与所述内壳(5)连接，所述弹性密封水道结构(7)的另一侧与所述外壳(4)连接，所述弹性密封水道结构(7)用于使所述外壳(4)和所述内壳(5)紧密连接。2.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉盖，其特征在于：所述弹性密封水道结构(7)包括一侧的连接边A(71)以及另一侧的连接边B(72)，所述连接边A(71)的外侧与所述内壳(5)连接，所述连接边B(72)的外侧与所述外壳(4)连接，所述连接边A(71)与连接边B(72)之间连接有弹性部(73)，所述连接边A(71)设有连接边A自由端(711)，所述连接边B(72)设有连接边B自由端(721)，所述连接边A自由端(711)与所述连接边B自由端(721)之间设有压紧间隙(74)，所述压紧间隙(74)供所述弹性密封水道结构(7)被所述外壳(4)和所述内壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：林龙强，梁家宝，刘智嘉，郑继祥，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：