一种应用于单晶炉的炉盖制造技术

一种应用于单晶炉的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体设有炉盖腔体和可供单晶棒通过的炉盖开口，所述炉盖本体还包括外壳和内壳，所述外壳和内壳之间形成换热空间，所述换热空间用于对所述炉盖腔体进行冷却，所述换热空间内设有弹性密封水道结构，所述弹性密封水道结构和所述换热空间围合形成循环水道，所述弹性密封水道结构的一侧与所述内壳连接，所述弹性密封水道结构的另一侧与所述外壳连接，所述弹性密封水道结构用于使所述外壳和所述内壳紧密连接。本实用新型专利技术设置的弹性密封组件，使得炉盖本体的外壳和内壳紧密相连，避免了窜水现象的发生，能够保证换热效率，提高单晶炉炉盖的使用寿命。的使用寿命。的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于单晶炉的炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉的辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的炉盖。

技术介绍

[0002]直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。在现有技术中，由于单晶炉炉盖的外壳与内壳连接不够紧密，容易使冷却介质通过单晶炉炉盖的外壳与水道隔板之间的间隙就近回水，发生窜水现象，使得冷却介质不能通过循环水道均匀地分布在单晶炉炉盖的壳体内，导致单晶炉炉盖对晶棒的冷却不均匀；并且在单晶炉工作的时候，工作温度高并且温度反复变化，单晶炉炉盖的内外壳及水道隔板因反复的热胀冷缩会加大外壳与水道隔板之间的间隙，加重窜水现象，进一步加剧了单晶炉炉盖壳体与水道隔板之间因窜水现象而没有冷却介质流经的部位的形变，进一步降低单晶炉炉盖的换热效率，降低单晶的结晶效率，降低晶棒的产能和质量，进而影响单晶炉的生产效益，从而降低单晶炉炉盖的使用寿命。

技术实现思路

[0003]针对上述提到的现有技术单晶炉炉盖的内壳与外壳密封性不好，冷却介质对炉盖冷却不均匀，从而影响单晶炉炉盖使用寿命的技术问题，本技术解决其技术问题采用的技术方案是：
[0004]一种应用于单晶炉的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体设有炉盖腔体和可供单晶棒通过的炉盖开口，所述炉盖本体还包括外壳和内壳，所述外壳和内壳之间形成换热空间，所述换热空间用于对所述炉盖腔体进行冷却，所述换热空间内设有弹性密封水道结构，所述弹性密封水道结构和所述换热空间围合形成循环水道，所述弹性密封水道结构的一侧与所述内壳连接，所述弹性密封水道结构的另一侧与所述外壳连接，所述弹性密封水道结构用于使所述外壳和所述内壳紧密连接。
[0005]进一步地，所述弹性密封水道结构包括一侧的连接边A以及另一侧的连接边B，所述连接边A的外侧与所述内壳连接，所述连接边B的外侧与所述外壳连接，所述连接边A与连接边B之间连接有弹性部，所述连接边A设有连接边A自由端，所述连接边B设有连接边B自由端，所述连接边A自由端与所述连接边B自由端之间设有压紧间隙，所述压紧间隙供所述弹性密封水道结构被所述外壳和所述内壳压紧后变形。
[0006]进一步地，所述连接边A自由端与所述连接边B自由端分别位于所述弹性密封水道结构的下侧并向其中部靠近，且所述连接边A自由端与所述连接边B自由端相对设置。
[0007]进一步地，所述连接边A、所述连接边B和所述弹性部为一体弯折成型，其成型的所述弹性密封水道结构的截面形状呈“C”型状。
[0008]进一步地，所述连接边A的外侧与内壳焊接，所述连接边B的外侧与外壳抵接。
[0009]进一步地，所述弹性密封水道结构沿所述内壳呈螺旋线状连续缠绕设置。
[0010]进一步地，所述外壳上分别设有与所述水道连通的进水口和出水口。
[0011]进一步地，所述内壳上设有塞焊柱，所述塞焊柱有多个。
[0012]进一步地，所述内壳上还设有隔水板，所述隔水板相对所述弹性密封水道结构垂直设置。
[0013]本技术的有益效果如下：
[0014]1、本技术的单晶炉炉盖通过在换热空间内设置弹性密封水道结构，使得炉盖本体的外壳和内壳紧密相连，具有优异的密封效果，同时弹性密封水道结构与换热空间形成的循环水道能够顺利地对炉盖腔体进行有效冷却，避免了冷却介质通过单晶炉炉盖的间隙就近回水，发生窜水现象从而导致的炉盖本体表面受热不均匀的现象，保证换热效率，提高单晶硅的生长速度，也提高了单晶炉炉盖的使用寿命。
[0015]2、本技术通过改进的弹性密封水道结构，利用其自身的压紧间隙，在连接边A与内壳密封装配后，外壳直接压紧连接边B进行安装，外壳压在连接边B时施加的压力使性密封水道结构整体收缩，压紧间隙减少，而弹性密封水道结构自身的恢复弹性使得其连接边B能够保持压在外壳的内侧，从而使连接边B起到与外壳良好的密封配合，且即使在使用过程中，由于温度的变化导致炉盖本体热胀冷缩变形，弹性密封水道结构可依靠自身的弹性结构，作适应的变化自动调整间隙，保证密封性的同时具有结构简单、不占用空间的优点。
[0016]下面将结合附图和具体实施方式对本技术做进一步说明。
附图说明
[0017]图1为本技术的一种应用于单晶炉的炉盖(不含外壳)示意图。
[0018]图2为本技术的一种应用于单晶炉的炉盖示意图。
[0019]图3为本技术的弹性密封水道结构的示意图。
[0020]图4为本技术的一种应用于单晶炉的炉盖剖面图。
[0021]图5为图4的A部放大图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本技术的实施方式作详细说明。
[0023]如图1和图2所示的一种应用于单晶炉的炉盖，包括炉盖本体1，所述炉盖本体1设有炉盖腔体2和可供单晶棒通过的炉盖开口3，所述炉盖本体1还包括外壳4和内壳5，所述外壳4和内壳5之间形成换热空间6，所述换热空间6用于对所述炉盖腔体2进行冷却，所述换热空间6内设有弹性密封水道结构7，所述弹性密封水道结构7和所述换热空间6围合形成循环水道8，所述弹性密封水道结构7的一侧与所述内壳5连接，所述弹性密封水道结构7的另一侧与所述外壳4连接，所述弹性密封水道结构7用于使所述外壳4和所述内壳5紧密连接。本技术的单晶炉炉盖通过在换热空间内设置弹性密封水道结构，使得炉盖本体的外壳和内壳紧密相连，具有优异的密封效果，同时弹性密封水道结构与换热空间形成的水道能够顺利地对炉盖腔体进行有效冷却，避免了冷却介质通过单晶炉炉盖的间隙就近回水，发生窜水现象从而导致的炉盖本体表面受热不均匀的现象，保证换热效率，提高单晶硅的生长
速度，也提高了单晶炉炉盖的使用寿命。本技术通过改进的弹性密封水道结构，利用其自身的压紧间隙，在连接边A与内壳密封装配后，外壳直接压紧连接边B进行安装，外壳压在连接边B施加的压力使弹性密封水道结构整体收缩，压紧间隙减少，而弹性密封水道结构自身的恢复弹性使得其连接边B能够保持压在外壳的内侧，从而使连接边B起到与外壳良好的密封配合，且即使在使用过程中，由于温度的变化导致炉盖本体热胀冷缩变形，弹性密封水道结构可依靠自身的弹性结构，作适应的变化，自动调整间隙，保证密封性的同时具有结构简单、不占用空间的优点。
[0024]如图1、图3和图5所示的一种应用于单晶炉的炉盖，所述弹性密封水道结构7包括一侧的连接边A 71以及另一侧的连接边B 72，所述连接边A 71的外侧与所述内壳5连接，所述连接边B 72的外侧与所述外壳4连接，所述连接边A 71与连接边B 72之间连接有弹性部73，所述连接边A 71设有连接边A自由端711，所述连接边B 72设有连接边B自由端721，所述连接边A自由端711与所述连接边B自由端721之间设有压紧间隙74，所述压紧间隙74供所述弹性密封水道结构7被所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于单晶炉的炉盖，包括炉盖本体(1)，所述炉盖本体(1)设有炉盖腔体(2)和可供单晶棒通过的炉盖开口(3)，其特征在于：所述炉盖本体(1)还包括外壳(4)和内壳(5)，所述外壳(4)和内壳(5)之间形成换热空间(6)，所述换热空间(6)用于对所述炉盖腔体(2)进行冷却，所述换热空间(6)内设有弹性密封水道结构(7)，所述弹性密封水道结构(7)和所述换热空间(6)围合形成循环水道(8)，所述弹性密封水道结构(7)的一侧与所述内壳(5)连接，所述弹性密封水道结构(7)的另一侧与所述外壳(4)连接，所述弹性密封水道结构(7)用于使所述外壳(4)和所述内壳(5)紧密连接。2.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉盖，其特征在于：所述弹性密封水道结构(7)包括一侧的连接边A(71)以及另一侧的连接边B(72)，所述连接边A(71)的外侧与所述内壳(5)连接，所述连接边B(72)的外侧与所述外壳(4)连接，所述连接边A(71)与连接边B(72)之间连接有弹性部(73)，所述连接边A(71)设有连接边A自由端(711)，所述连接边B(72)设有连接边B自由端(721)，所述连接边A自由端(711)与所述连接边B自由端(721)之间设有压紧间隙(74)，所述压紧间隙(74)供所述弹性密封水道结构(7)被所述外壳(4)和所述内壳...

【专利技术属性】
技术研发人员：林龙强，梁家宝，刘智嘉，郑继祥，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：