一种增加相机观察视野的炉盖制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉辅助设备技术领域，具体是一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上设有观察窗，所述观察窗设有凹陷设置在所述炉盖本体上的安装腔，所述安装腔的底部设有安装腔观察口、以及位于所述安装腔观察口上侧的观察窗组件。本实用新型专利技术的安装腔通过凹陷设置在炉盖本体上，避免观察窗向上凸出从而阻挡观察视线，凹陷设置的安装腔能够增加相机在同一高度的摆动角度，进一步使得观察视角的广角度增大，操作者能够更加准确地观察单晶炉内部晶棒生成过程，便于及时处理异常。异常。异常。

【技术实现步骤摘要】
一种增加相机观察视野的炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉辅助设备
，具体是一种增加相机观察视野的炉盖。

技术介绍

[0002]直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]对于具有高压内腔的单晶炉来说，观察窗是相对于炉体独立的结构，观察窗需要承受很大的压力，为了保证晶棒的品质，对观察窗的密闭性、安全及可靠性均有极高的要求。
[0004]单晶炉晶体生长自动控制系统大多采用CCD(ChargeCoupledDevices)相机，利用视觉图像采集与处理技术，来实现晶体生长过程的自动控制；炉盖上设置的观察窗的位置是固定的，CCD相机通过支架安装在单晶炉的炉盖上，相机以一定倾斜角度通过观察窗观察拉晶状态，可通过调节支架来对相机方位进行调节，用于观测炉内实时得晶棒直径、液口距、液面亮度等，为了达到最佳控制效果，CCD相机相对于炉体观察窗的位置需要不断调整。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体(1)，其特征在于：所述炉盖本体(1)上设有观察窗(2)，所述观察窗(2)设有凹陷设置在所述炉盖本体(1)上的安装腔(3)，所述安装腔(3)的底部设有安装腔观察口(31)、以及位于所述安装腔观察口(31)上侧的观察窗组件(4)；所述炉盖本体(1)为弧形结构；所述观察窗(2)倾斜设置在所述炉盖本体(1)上；所述炉盖本体(1)设有上盖体(11)、以及位于所述上盖体(11)下侧的下盖体(12)，所述上盖体(11)设有上盖体开口(111)，所述下盖体(12)上设有下盖体开口(121)，所述观察窗(2)由所述上盖体开口(111)延伸至所述下盖体开口(121)；上盖体(11)与下盖体(12)均为弧形结构。2.根据权利要求1所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述观察窗组件(4)包括压板(41)、与所述压板(41)连接的玻璃(42)，所述压板(41)设有压板开口(411)，所述安装腔观察口(31)的边沿形成支撑部(311)用于支撑所述玻璃(42)。3.根据权利要求2所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述压板(41)设有压板容置腔(412)，所述压板容置腔(412)用于容置所述玻璃(42)。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛明华，邹逸杰，张志增，蒙程道，张贤芸，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：