一种增加相机观察视野的炉盖制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉辅助设备技术领域，具体是一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上设有观察窗，所述观察窗设有凹陷设置在所述炉盖本体上的安装腔，所述安装腔的底部设有安装腔观察口、以及位于所述安装腔观察口上侧的观察窗组件。本实用新型专利技术的安装腔通过凹陷设置在炉盖本体上，避免观察窗向上凸出从而阻挡观察视线，凹陷设置的安装腔能够增加相机在同一高度的摆动角度，进一步使得观察视角的广角度增大，操作者能够更加准确地观察单晶炉内部晶棒生成过程，便于及时处理异常。异常。异常。

【技术实现步骤摘要】
一种增加相机观察视野的炉盖


[0001]本技术涉及单晶炉辅助设备
，具体是一种增加相机观察视野的炉盖。

技术介绍

[0002]直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]对于具有高压内腔的单晶炉来说，观察窗是相对于炉体独立的结构，观察窗需要承受很大的压力，为了保证晶棒的品质，对观察窗的密闭性、安全及可靠性均有极高的要求。
[0004]单晶炉晶体生长自动控制系统大多采用CCD(ChargeCoupledDevices)相机，利用视觉图像采集与处理技术，来实现晶体生长过程的自动控制；炉盖上设置的观察窗的位置是固定的，CCD相机通过支架安装在单晶炉的炉盖上，相机以一定倾斜角度通过观察窗观察拉晶状态，可通过调节支架来对相机方位进行调节，用于观测炉内实时得晶棒直径、液口距、液面亮度等，为了达到最佳控制效果，CCD相机相对于炉体观察窗的位置需要不断调整。
[0005]如中国专利文献CN217104137U公开的一种应用于单晶炉的炉盖，该专利的观察窗向上侧凸出，其凸出的部分会影响到相机的观察视野，当凸出的部分越高，相机在同一高度的摆动角度越窄，由于观察视角缩窄，操作者观察受限导致不能准确地通过CCD相机观察单晶炉内部晶棒生成过程，遇到异常时不能及时做成处理。
[0006]因此，需要对炉盖进行改良，以更好地提高其观察视野。

技术实现思路

[0007]针对上述提到现有的炉盖观察视野较差的技术问题，本技术解决其技术问题采用的技术方案是：
[0008]一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上设有观察窗，所述观察窗设有凹陷设置在所述炉盖本体上的安装腔，所述安装腔的底部设有安装腔观察口、以及位于所述安装腔观察口上侧的观察窗组件。
[0009]进一步地，所述炉盖本体设有上盖体、以及位于所述上盖体下侧的下盖体，所述上盖体设有上盖体开口，所述下盖体上设有下盖体开口，所述观察窗由所述上盖体开口延伸至所述下盖体开口。
[0010]进一步地，所述炉盖本体为弧形结构。
[0011]进一步地，所述观察窗倾斜设置在所述炉盖本体上。
[0012]为了提高观察窗组件的稳定性，所述观察窗组件包括压板、与所述压板连接的玻璃，所述压板设有压板开口，所述安装腔观察口的边沿形成支撑部用于支撑所述玻璃。
[0013]为了提高压板与玻璃之间的稳定性，所述压板设有压板容置腔，所述压板容置腔
用于容置所述玻璃。
[0014]为了提高玻璃的稳定性，所述观察窗组件还包括与所述玻璃连接的密封件，所述安装腔设有容置所述密封件的安装腔凹槽。
[0015]为了提高观察窗的冷却效果，所述上盖体与下盖体之间形成换热通道，所述换热通道上设有第一水道和第二水道，所述观察窗位于所述第一水道和所述第二水道之间。
[0016]为了提高观察窗的冷却效果，所述观察窗的外侧设有冷却台，所述观察窗与所述冷却台之间设有冷却腔，所述冷却腔与所述第一水道和所述第二水道连通，所述冷却台设有与所述安装腔观察口连通的冷却台观察口。
[0017]为了提高观察窗的冷却效果，所述安装腔观察口的内壁设有安装腔延伸部，所述安装腔延伸部与所述冷却台观察口的内壁连接，所述冷却腔包括位于所述观察窗侧面的第一冷却腔、以及位于所述观察窗底部与所述冷却台底部之间的第二冷却腔。
[0018]本技术的有益效果如下：
[0019]1、本技术的安装腔通过凹陷设置在炉盖本体上，避免观察窗向上凸出从而阻挡观察视线，凹陷设置的安装腔能够增加相机在同一高度的摆动角度，进一步使得观察视角的广角度增大，操作者能够更加准确地观察单晶炉内部晶棒生成过程，便于及时处理异常。
[0020]2、本技术的换热通道能够对伸入炉盖本体内的安装腔进行冷却，进一步对观察窗组件进行冷却降温，避免单晶炉内的高压高温条件，对观察窗组件的寿命造成影响。
附图说明
[0021]图1为本技术的一种增加相机观察视野的炉盖的示意图。
[0022]图2为图1的A
‑
A剖视图。
[0023]图3为本技术的观察窗俯视图。
[0024]图4为图3的B
‑
B剖视图。
[0025]图5为图4的爆炸图。
[0026]图6为本技术的一种增加相机观察视野的炉盖的爆炸图。
[0027]图7为现有技术的炉盖。
[0028]图8为图7的C
‑
C剖视图。
[0029]图9为图1的A
‑
A剖视图。
[0030]图10为图7的C
‑
C剖视图。
[0031]图11为图1的A
‑
A剖视图。
具体实施方式
[0032]下面结合附图对本技术的实施方式作详细说明。
[0033]如图1至图6所示的一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体1，所述炉盖本体1上设有观察窗2，所述观察窗2设有凹陷设置在所述炉盖本体1上的安装腔3，所述安装腔3的底部设有安装腔观察口31、以及位于所述安装腔观察口31上侧的观察窗组件4。
[0034]如图2和图9所示，由于相机设置在观察窗的上侧且相机倾斜设置，因此，相机通过观察窗的观察视线与单晶硅生长液面的中轴线形成夹角。
[0035]在本技术中，当相机由上向下观察时，相机从观察窗位于远离单晶硅生长液面的中轴线的一侧的上端面，倾斜向下观察到单晶硅生长情况，此时的观察视线与单晶硅生长液面的中轴线形成的夹角α，相机在同一高度摆动一定角度后，相机从安装腔观察口位于靠近单晶硅生长液面的中轴线的一侧的内侧，倾斜向下观察到单晶硅生长液面，此时的观察视线与单晶硅生长液面的中轴线形成的夹角γ，夹角α与夹角γ的差值为M，即本技术在同一高度的可摆动角度。
[0036]如图7和图8所示的现有技术的炉盖，其观察窗向上侧凸出，其凸出的部分会影响到相机的观察视野，当凸出的部分越高，或者凸出的部分向观察视线方向靠近时，会造成相机在同一高度的摆动角度越窄，由于观察视角缩窄，操作者观察受限导致不能准确地观察单晶炉内部晶棒生成过程，遇到异常时不能及时处理。
[0037]具体地，现有技术中，当相机由上向下观察时，相机从观察窗凸出的部分位于远离单晶硅生长液面的中轴线的一侧的上端面，倾斜向下观察到单晶硅生长情况，此时的观察视线与单晶硅生长液面的中轴线形成的夹角β，相机在同一高度摆动一定角度后，从安装腔观察口位于靠近单晶硅生长液面的中轴线的一侧的内侧，倾斜向下观察到单晶硅生长液面，此时的观察视线与单晶硅生长液面的中轴线形成的夹角γ，夹角β与夹角γ的差值为N，即本现有技术在同一高度的可摆动角度。
[0038]由图8和图9可知，夹角α与夹角本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种增加相机观察视野的炉盖，包括炉盖本体(1)，其特征在于：所述炉盖本体(1)上设有观察窗(2)，所述观察窗(2)设有凹陷设置在所述炉盖本体(1)上的安装腔(3)，所述安装腔(3)的底部设有安装腔观察口(31)、以及位于所述安装腔观察口(31)上侧的观察窗组件(4)；所述炉盖本体(1)为弧形结构；所述观察窗(2)倾斜设置在所述炉盖本体(1)上；所述炉盖本体(1)设有上盖体(11)、以及位于所述上盖体(11)下侧的下盖体(12)，所述上盖体(11)设有上盖体开口(111)，所述下盖体(12)上设有下盖体开口(121)，所述观察窗(2)由所述上盖体开口(111)延伸至所述下盖体开口(121)；上盖体(11)与下盖体(12)均为弧形结构。2.根据权利要求1所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述观察窗组件(4)包括压板(41)、与所述压板(41)连接的玻璃(42)，所述压板(41)设有压板开口(411)，所述安装腔观察口(31)的边沿形成支撑部(311)用于支撑所述玻璃(42)。3.根据权利要求2所述的一种增加相机观察视野的炉盖，其特征在于：所述压板(41)设有压板容置腔(412)，所述压板容置腔(412)用于容置所述玻璃(42)。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛明华，邹逸杰，张志增，蒙程道，张贤芸，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：