【技术实现步骤摘要】
【】本技术属于单晶炉换热器领域，具体的说是一种分体可拆换的水冷热屏。
技术介绍
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技术介绍
1、水冷热屏具有快速冷却、高效散热、节能环保等优点，被广泛应用于单晶炉的制造和使用过程中，来保证炉体的正常运行和单晶硅生长的质量，水冷热屏长期处在高温环境下使用，会造成其使用寿命有限，需要定期更换，跟换时需要将在运行的单晶炉停下，再将水冷热屏整个拆下换新，整个过程耗时耗力。
2、通过对水冷热屏观察，但是水冷热屏各部分受热温度高低存在差异，对应的使用寿命也各有不同，上半部分温度没那么高，会比较耐用越接近热源处使用寿命越低，特别的以水冷热屏底部使用的寿命即代表了水冷热屏的使用寿命。
技术实现思路
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技术实现思路
1、为解决上述的问题，本技术提出了一种分体可拆换的水冷热屏，通过将水冷热屏一分为二，可拆卸连接，使最接近热源的替换件便于拆卸和安装，每次对单晶炉内水冷热屏进行更换或者维护时，仅需更换更近接热源的替换件即可完成，极其有效的降低维护时间和节省成本，提高生产
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【技术保护点】
1.一种分体可拆换的水冷热屏，包括设于单晶炉(200)中的水冷热屏本体(100)，其特征在于，所述水冷热屏本体(100)包括有固定件(1)和与所述固定件(1)可拆卸连接的替换件(2)，所述替换件(2)顶端开口处设有与固定件匹配并用于拆卸连接的第一连接结构(20)，所述替换件(2)还设有用于供单晶(400)穿过的容腔(23)，所述替换件(2)与固定件(1)匹配连接后，所述容腔(23)的下端开口位于坩埚(300)上方接近硅液(301)液面。
2.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏，其特征在于，所述第一连接结构(20)为内壁带螺纹的环形凹槽，其位于替换...
【技术特征摘要】
1.一种分体可拆换的水冷热屏，包括设于单晶炉(200)中的水冷热屏本体(100)，其特征在于，所述水冷热屏本体(100)包括有固定件(1)和与所述固定件(1)可拆卸连接的替换件(2)，所述替换件(2)顶端开口处设有与固定件匹配并用于拆卸连接的第一连接结构(20)，所述替换件(2)还设有用于供单晶(400)穿过的容腔(23)，所述替换件(2)与固定件(1)匹配连接后，所述容腔(23)的下端开口位于坩埚(300)上方接近硅液(301)液面。
2.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏，其特征在于，所述第一连接结构(20)为内壁带螺纹的环形凹槽，其位于替换件(2)顶端上，所述固定件(1)底端开口处设有与第一连接结构(20)匹配连接的第二连接结构(10)，所述第二连接结构(10)为外壁带螺纹的环形凸起，该凸起可嵌入至环形凹槽内并通过螺纹连接使所述第一连接结构(20)和第二连接结构(10)连接。
3.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏，其特征在于，所述固定件(1)和替换件(2)螺纹连接接口处包括有起密封作用的第一密封圈(6)和第二密封圈(7)。
4.根据权利要求1所述的一种分体可拆换的水冷热屏，其特征在于，所述替换件(2)由连接成一体且上端开口的第一内壳(21)和第一外壳(22)组成，所述替换件(2)还包括位于所述第一内壳(21)和第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛明华，梁家宝，马云龙，郑继祥，张志增，张贤芸，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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