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一种分体可拆换的水冷热屏,包括设于单晶炉中的水冷热屏本体,所述水冷热屏本体包括有固定件和与所述固定件可拆卸连接的替换件,所述替换件顶端开口处设有与固定件匹配并用于拆卸连接的第一连接结构,所述替换件还设有用于供单晶穿过的容腔,所述替换件与固定...该专利属于中山市汇创精密科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山市汇创精密科技有限公司授权不得商用。
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