一种应用于单晶炉的磁环换热器制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉辅助设备的技术领域，具体是一种应用于单晶炉的磁环换热器，包括分别位于硅液面上侧的内壳和外壳，内壳和外壳之间设有换热空间，内壳上设有分别与换热空间连通的冷却液入口和冷却液出口，换热空间设有环形结构的磁性装置，外壳的底部设有向周侧延伸的凸起部，磁性装置位于换热空间的底部且靠近硅液面，磁性装置为铁磁件。本实用新型专利技术将磁性装置设置在换热空间内不占用空间，环形结构的磁性装置位于换热空间的底部且靠近硅液面，磁性装置的磁力线范围随着外壳底部面积增加而增大，其磁力线范围能够覆盖坩埚中硅溶液，利用冷却液对换热空间进行循环冷却，避免硅溶液的高温导致磁性装置消磁或者损坏，提高磁性装置的使用寿命。磁性装置的使用寿命。磁性装置的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于单晶炉的磁环换热器


[0001]本技术涉及单晶炉辅助设备的
，具体是一种应用于单晶炉的磁环换热器。

技术介绍

[0002]近年来，光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求。单晶硅片通常由单晶硅棒进行切片处理得到，单晶硅棒则可以由硅液生长拉制而成。
[0003]直拉法，也叫切克劳斯基(Czochralski)法(简称CZ法)，是制造单晶硅的重要方法。在直拉法生长硅单晶时，为了提高晶体生长速度，通常会在炉体内设置单晶炉辅助设备，如换热器，以通过换热器将单晶硅棒结晶时释放的热量快速的带出炉外。然而，换热器在带走热量的同时，也会降低固液界面处的温度，加剧硅液内部的温差，由于温度梯度、重力、坩埚和晶棒转动等，坩埚内硅熔体存在着复杂的对流，将硅液内的含氧化合物带到固液界面并进入单晶硅棒，这些不稳定的热对流会严重影响硅单晶的完整性、均匀性和氧含量等指标，使得单晶硅棒中氧含量分布不均匀甚至出现缺陷，降低产品良率。现有的技术中，为了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于单晶炉的磁环换热器，包括分别位于硅液面上侧的内壳(1)和外壳(2)，其特征在于：所述内壳(1)和所述外壳(2)之间设有换热空间(3)，所述内壳(1)上设有分别与所述换热空间(3)连通的冷却液入口(4)和冷却液出口(5)，所述换热空间(3)设有环形结构的磁性装置(6)，所述外壳(2)的底部设有向周侧延伸的凸起部(20)，所述磁性装置(6)位于所述换热空间(3)的底部且靠近硅液面，所述磁性装置(6)为铁磁件。2.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的磁环换热器，其特征在于：所述磁性装置(6)为一体成型结构。3.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的磁环换热器，其特征在于：所述换热空间(3)设有容纳所述磁性装置(6)的容置腔(31)，所述容置腔(31)位于所述凸起部(20)的内壁与所述内壳(1)的外壁之间。4.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的磁环换热器，其特征在于：所述内壳(1)由上向下设有内倾斜段(11)和内恒定段(12)，所述外壳(2)由上向下设有第一外恒定段(21)、外倾斜段(22)和第二外恒定段(23)，所述凸起部(20)位于所述第二外恒定段(23)的下侧，所述凸起部(20)的外径大于所述第二外恒定段(23)的外径，所述磁性装置(6)位于所述凸起部(20)的外壁与所述内恒定段(12)之间。5.根据权利要求4所述的一种应用于单晶炉的磁环换热器，其特征在于：所述磁性装置(6)的环宽大于所述内恒定段(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：林龙强，牛明华，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：