一种可提升热交换率的水冷结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种可提升热交换率的水冷结构，包括筒状本体，所述筒状本体包括外壁和内壁，所述外壁和内壁之间设有水冷管路，用于冷却水循环，所述水冷管路沿所述筒状本体的高度上下往复设置在所述筒状本体的周向。本实用新型专利技术的有益效果是提升了水冷结构的热交换率，有效的保证了水冷效果，提高了单晶的生长拉速，提升了单晶炉的产能。提升了单晶炉的产能。提升了单晶炉的产能。

【技术实现步骤摘要】
一种可提升热交换率的水冷结构


[0001]本技术属于单晶炉
，尤其是涉及一种可提升热交换率的水冷结构。

技术介绍

[0002]随着直拉法制造单晶硅的各项工艺技术日益完善，硅片市场需求量日益增加，对单晶炉的产能提出更高的要求。单晶的生长拉速是限制单晶炉产能的主要因素。单晶炉内的水冷结构用于对自动上升的单晶硅棒进行冷却，吸收硅棒表面的热量，使硅棒内应力及时释放，以提高单晶的生长拉速。
[0003]现有的水冷结构如图1所示，水冷管路1为螺旋形，冷却水从进水口2进入水冷结构底部然后螺旋上升从出水口3流出。由于冷却水由底部流向顶部，当冷却水到达水冷结构上部时，带走的热量较少，整体的水冷效果不佳，热交换率较低，影响了单晶的生长拉速，制约单晶炉产能的提升。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术提供一种可提升热交换率的水冷结构，有效的解决了现有水冷结构热交换率较低，影响单晶生长拉速的问题，克服了现有技术的不足。
[0005]本技术采用的技术方案是：一种可提升热交换率的水冷结构，包括筒状本体，所述筒状本体包括外壁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可提升热交换率的水冷结构，包括筒状本体，所述筒状本体包括外壁和内壁，其特征在于：所述外壁和内壁之间设有水冷管路，用于冷却水循环，所述水冷管路沿所述筒状本体的高度上下往复设置在所述筒状本体的周向。2.根据权利要求1所述的一种可提升热交换率的水冷结构，其特征在于：所述水冷管路的数量设有多条。3.根据权利要求2所述的一种可提升热交换率的水冷结构，其特征在于：多条所述水冷管路沿所述筒状本体的周向设置。4.根据权利要求3所述的一种可提升热交换率的水冷结构，其特征在于：多条所述水冷管路的形状和长度相同。5.根据权利要求2所述的一种可提升热交换率的水冷结构，其特征在于：多条所述水冷管路沿所述筒状本体的径向设置。6.根据权利要求5所述的一种可提升...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩鹏，张文霞，郭谦，王胜利，康学兵，周彦杰，巩名扬，周建辉，王伟，陈永亮，乔金良，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：