【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏生产，尤其是涉及一种单晶炉用新型中排气热场及单晶炉。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的生产工艺流程一般如下：先将一定量的多晶硅原料放入坩埚中，加热至熔化，在拉杆下端装夹籽晶，沉浸到熔化的晶体原料中，将拉杆缓缓向上提拉，同时缓慢旋转，最终生长出圆柱体形状的单晶硅棒。
2、单晶炉的热场一般包括坩埚、导流筒、保温筒、加热器、石墨电极及其他辅助结构等，并通常采用下排气方式，即：在热场的正下方设置排气竖管，利用排气竖管将单晶炉中的热气排出，但是热气沿加热器向下流动而进入排气管的过程中，由于流动路径较长，流速较慢，热气中的部分氧化物会沉积在加热器上，而当热气流经加热器脚时，热气中的部分氧化物会附着于加热器脚与电极柱之间，导致电极柱打火异常，缩短加热器的使用寿命、增大其检修成本。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种单晶炉用新型中排气热场及单晶炉，以解决上述背景中的问题。
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【技术保护点】
1.一种单晶炉用新型中排气热场，包括坩埚、导流筒、保温筒、加热器和石墨电极，其特征在于，还包括中排气组件和抽气泵，所述加热器的底端设有用于连接所述石墨电极的加热器脚，所述中排气组件的进气端位于所述石墨电极的上方，出气端连接所述抽气泵。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用新型中排气热场，其特征在于，所述中排气组件包括汇流管、进气管和出气管，所述汇流管与所述加热器同向延伸，所述进气管沿所述汇流管的轴向分布有若干个，至少部分所述进气管的轴线与所述汇流管的轴线成锐角，所述出气管位于所述汇流管的底部，远离所述汇流管的一端连接所述抽气泵。
3.根据权利要求2...
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用新型中排气热场，包括坩埚、导流筒、保温筒、加热器和石墨电极，其特征在于，还包括中排气组件和抽气泵，所述加热器的底端设有用于连接所述石墨电极的加热器脚，所述中排气组件的进气端位于所述石墨电极的上方，出气端连接所述抽气泵。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用新型中排气热场，其特征在于，所述中排气组件包括汇流管、进气管和出气管，所述汇流管与所述加热器同向延伸，所述进气管沿所述汇流管的轴向分布有若干个，至少部分所述进气管的轴线与所述汇流管的轴线成锐角，所述出气管位于所述汇流管的底部，远离所述汇流管的一端连接所述抽气泵。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用新型中排气热场，其特征在于，位于所述汇流管顶端的所述进气管，其水平延伸、顶部与所述加热器的底缘相齐；其他所述进气管沿所述汇流管的轴向等距分布，其顶端朝向所述加热器，底端朝向所述汇流管。
4.根据权利要求2或3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李晓东，许建，安磊，王建龙，李鹏飞，高芳，
申请(专利权)人：内蒙古中环晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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