温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供一种单晶炉用新型中排气热场及单晶炉,所述中排气热场包括坩埚、导流筒、保温筒、加热器和石墨电极,其中:所述加热器的底端设有用于连接所述石墨电极的加热器脚,所述中排气组件的进气端位于所述石墨电极的上方,出气端连接所述抽气泵。本技术通过...该专利属于内蒙古中环晶体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古中环晶体材料有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本技术提供一种单晶炉用新型中排气热场及单晶炉,所述中排气热场包括坩埚、导流筒、保温筒、加热器和石墨电极,其中:所述加热器的底端设有用于连接所述石墨电极的加热器脚,所述中排气组件的进气端位于所述石墨电极的上方,出气端连接所述抽气泵。本技术通过...