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一种应用于单晶炉的炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体设有炉盖腔体和可供单晶棒通过的炉盖开口，所述炉盖本体还包括外壳和内壳，所述外壳和内壳之间形成换热空间，所述换热空间用于对所述炉盖腔体进行冷却，所述换热空间内设有弹性密封水道结构，所述弹性密封...
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