一种具有多级换热结构的单晶炉水冷热屏制造技术

【技术特征摘要】

1.一种具有多级换热结构的单晶炉水冷热屏，包括工作腔（1）以及与所述工作腔（1）连接的换热通道（2），其特征在于：所述工作腔（1）包括有用于与单晶炉进行热交换的第一工作腔（11）以及用于提高拉晶速度的第二工作腔（12），所述第二工作腔（12）通过所述换热通道（2）与所述第一工作腔（11）连接。

2.根据权利要求1所述具有多级换热结构的单晶炉水冷热屏，其特征在于：所述第一工作腔（11）由用于传递热量的第一环形内壳（3）形成，所述第一环形内壳（3）外侧设有第一环形外壳（4），所述第一环形外壳（4）与所述第一环形内壳（3）形成用于与单晶炉进行热交换的第一换热空间（5）。

3.根据权利要求2所述具有多级换热结构的单晶炉水冷热屏，其特征在于：所述第二工作腔（12）由用于传递热量的第二环形内壳（6）形成，所述第二环形内壳（6）外侧设有第二环形外壳（7），所述第二环形外壳（7）与所述第二环形内壳（6）形成用于与单晶炉进行热交换的第二换热空间（8）。

4.根据权利要求3所述具有多级换热结构的单晶炉水冷热屏，其特征在于：所述换热通道（2）包括有用于连通所述第一换热空间（5）的进液...

【专利技术属性】
技术研发人员：林龙强，牛明华，梁家宝，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：