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本技术提出了一种具有多级换热结构的单晶炉水冷热屏，通过第一工作腔与第二工作腔形成多级换热结构，通过优化换热通道设计，实现了热量的快速、均匀传递，优化了热交换路径和效率，并有效提高了拉晶速度，提高了水冷热屏的整体性能，能够满足大规格晶棒的生产...
该专利属于中山市汇创精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市汇创精密科技有限公司授权不得商用。

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