单片式半导体激光器及其制造方法技术

技术编号:3317853 阅读:160 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供一种单片式半导体激光器及其制造方法,使条带构造的相对的位置,即,发光点之间的相对的位置变成恒定。该单片式半导体激光器包含发光波长不同的多个半导体激光器,且包括:半导体衬底;在半导体衬底上的第1区域中形成的、从上下用第1包层把第1活性层夹在中间的第1双异质结构;在半导体衬底上的第2区域中形成的、从上下用第2包层把第2活性层夹在中间的第2双异质结构;第1和第2活性层由彼此不同的半导体材料构成。此外,第1活性层上下的第1包层由基本相同的半导体材料构成,而且,第2活性层上下的第2包层由基本相同的半导体材料构成。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及,特别是涉及具有条带构造(电流狭窄构造)的。
技术介绍
在DVD、CD的信息读取/存储装置等中,使用在同一衬底上形成有发光波长不同的多个半导体激光器的单片式半导体激光器。在这样的单片式半导体激光器中,在同一衬底上要形成例如发光波长650nm的半导体激光器、和发光波长780nm的半导体激光器。在单片式半导体激光器中,首先,在衬底上形成了一个半导体激光器之后,用设置在衬底上的对准标记进行另一个半导体激光器的定位和制作(例如非专利文献1)。K.Nemoto and K.Miura“A Laser Coupler forDVD/CD Playback Using a Monolithic-integrated Two-wavelengthLaser Diode”,JSAP International,No.3,pp.9-14(January 2001)
技术实现思路
在DVD、CD的信息读取装置中,把单片式半导体激光器与透镜等的部件一起组装起来形成光学系统。但是,在用现有的制造方法制造的单片式半导体激光器中,两个半导体激光器的发光点之间的距离,如上所述,依赖于位置对准的精度。为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单片式半导体激光器,包含发光波长不同的多个半导体激光器,其特征在于包括:半导体衬底;在该半导体衬底上的第1区域中形成的、用第1包层从上下把第1活性层夹在中间的第1双异质结构;在该半导体衬底上的第2区域中形成的、用 第2包层从上下把第2活性层夹在中间的第2双异质结构,该第1和第2活性层由彼此不同的半导体材料构成,且该第1活性层上下的第1包层由基本相同的半导体材料构成,且该第2活性层上下的第2包层由基本相同的半导体材料构成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:西田武弘宮下宗治山口勉
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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