【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体光元件的制造方法,包括如下步骤,对包括半导体层叠结构的半导体晶片进行解理,使半导体层叠结构的解理面露出,该半导体层叠结构为如下结构:在GaN系的半导体衬底上,依次层叠分别由GaN系材料形成的第一导电型的第一半导体层、包含量子阱结构的活性层、以及第二导电型的第二半导体层;在露出的解理面上形成电介质膜,利用基于预定的热处理的Ga空位扩散,使活性层的量子阱结构无序化。
【技术特征摘要】
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