晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构，其中晶圆翻转装置包括晶圆固定机构，晶圆固定机构包括一供晶圆进出的通道，且还包括：外壳，晶圆固定机构设置于外壳内，且外壳对应通道的至少一端设置有用于供晶圆进出的开口。本实用新型专利技术通过设置在晶圆翻转装置内的晶圆固定机构实现对晶圆的固定，从而便于晶圆在水平状态和垂直状态之间转换，进一步地，晶圆固定机构通过水平支撑机构和周向夹持机构配合实现晶圆在水平状态或垂直状态的固定，并便于与其他设备协作完成晶圆转移。并便于与其他设备协作完成晶圆转移。并便于与其他设备协作完成晶圆转移。

【技术实现步骤摘要】
晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构。

技术介绍

[0002]在半导体行业内，多片晶圆(片)在晶圆盒内是正面(芯片面)一致朝上，上下依次水平存放的，特别是目前的12寸晶圆，水平存放在FOUP(前开式晶圆盒)。然而在某些制程工艺中，尤其是批量清洗工艺，不但需要晶圆从水平方向载具更换到垂直方向载具；还需要单数位置(或者是双数位置)的晶圆在垂直方向上旋转180度，使得垂直排列的多片晶圆形成以正面面对面的存放形式，避免正面在工艺制造过程中受到晶圆背面(机器人手臂的接触面)的微尘污染。
[0003]现有技术里，一般利用单臂单爪机器人手臂，将晶圆从晶圆盒内一片一片取出后，机器人手臂直接将手上从单数槽(或者双数槽)取出的晶圆旋转90度(或者
‑
90度)，其它晶圆反方向旋转90度后，一片一片的按照次序放入垂直方向载具，完成晶圆正反方向翻转和水平垂直方向转动需求。此设计的最大问题是单片传输耗时太多，无法满足批量生产设备的产能要求。
>[0004]因此，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括晶圆固定机构，所述晶圆固定机构包括一供所述晶圆(1)进出的通道，且还包括：外壳(630)，所述晶圆固定机构设置于所述外壳(630)内，且所述外壳(630)对应所述通道的至少一端设置有用于供所述晶圆(1)进出的开口。2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述外壳(630)与所述驱动机构的执行端连接，并在其驱动下绕平行于水平面且垂直于所述通道的轴线旋转，以使所述通道平行或垂直于水平面。3.一种晶圆翻转系统，其特征在于，包括权利要求1或2所述的晶圆翻转装置(600)。4.根据权利要求3所述的晶圆翻转系统，其特征在于，还包括晶圆承载装置(700)，所述晶圆承载装置(700)用于承载由所述晶圆翻转装置(600)翻转为垂直状态的晶圆(1)。5.根据权利要求4所述的晶圆翻转系统，其特征在于，所述晶圆承载装置(700)包括：至少两组嵌套设置的承载晶圆梳组，且至少一组所述承载晶圆梳组能够相对其他所述承载晶圆梳组升降，所述承载晶圆梳组包括相对设置的两承载晶圆梳(731)，以分别夹持垂直状态的所述晶圆(1)的相对两侧边缘，并配合承载所述晶圆(1)。6.一种晶圆固定机构，其特征在于，包括：水平支撑机构，所述水平支撑机构包括两个相对设置的支撑梳柱(610)，以配合支撑水平状态的晶圆(1)，且两所述支撑梳柱(610)之间形成供所述晶圆(1)进出的通道；周向夹持机构，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少两个夹持梳柱(620)，至少两个所述夹持梳柱(620)与所述支撑梳柱(610)相配合，以夹持位于所述支撑梳柱(610)上的所述晶圆(1)。7.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的两个夹持梳柱(620)，且两个所述夹持梳柱(620)的中心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置相适配。8.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少三个夹持梳柱(620)，且至少三个所述夹持梳柱(620)所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置相适配。9.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括两两分设于所述通道两端的四个夹持梳柱(620)，四个所述夹持梳柱(620)所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置重合。10.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述支撑梳柱(610)包括多个支撑板(613)，多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴功，李国勇，郑英杰，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技有限公司，
类型：新型
国别省市：