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本实用新型公开了一种晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构，其中晶圆翻转装置包括晶圆固定机构，晶圆固定机构包括一供晶圆进出的通道，且还包括：外壳，晶圆固定机构设置于外壳内，且外壳对应通道的至少一端设置有用于供晶圆进出的开口。本实用新型通过设置在...
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