本实用新型公开了一种双Z轴晶圆搬运机器人，属于半导体技术领域。针对在有限空间内实现大升降行程设计繁琐的问题，本实用新型提供双Z轴晶圆搬运机器人，包括由下到上依次设置的升降装置、旋转装置、机器人手臂和末端执行器，升降装置包括Z1轴升降装置...

本实用新型公开了一种具备惰性气体充填功能的晶圆片开合器，涉及晶圆片开合器技术领域,包括处理晶圆盒的机器本体，所述机器本体的前侧设置有安装座，所述安装座的顶部滑动安装有移动平台，所述移动平台上镶嵌安装有喷嘴浮动机构和锁紧机构，所述喷嘴浮动...

本发明公开了一种晶圆盒传送装载设备及传送装载方法，属于半导体技术领域。针对现有的低工艺设备对接口晶圆盒装载不便的问题，本发明提供晶圆盒传送装载设备，包括设备箱体；设置于设备箱体前方的装载台，装载台用于承载晶圆盒；设置于设备箱体内部的开合...

本实用新型公开了一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备，属于半导体技术领域。针对减小Mapping机构运行所需空间的问题，本实用新型提供旋转支架，包括电机，与电机的电机轴连接的转动块，转动块对称连接有两传动组件，且转动块...

本发明公开了一种能够兼容8寸和12寸晶圆盒的loadport，涉及晶圆装载技术领域,包括主体框架，所述主体框架的前侧设置有安装座，所述安装座上安装有移动平台，所述移动平台上设置有锁紧机构，所述安装座的底部内侧安装有平台驱动机构和锁紧驱动...

本发明公开了一种SMIF盒装载设备，属于半导体技术领域。针对转移稳定性较差的问题，本发明提供SMIF盒装载设备，包括设备框架，所述设备框架的前方设置有开合装置，所述开合装置用于承载以及开闭SMIF盒，所述设备框架的内部设置有机器人手臂，...

本发明的一种晶圆片厚度分选系统，包括厚度检测组件和分选组件，分选组件包括晶圆输入机构和晶圆片存储机构，厚度检测组件对晶圆片进行厚度检测后通过晶圆输入机构输送至分选组件，分选组件将不同厚度的晶圆片按照设置的分类规则放置到不同的存储机构，厚...

本发明涉及一种具有End effect的SCARA机器人手臂，包括吸盘本体、吸盘座、压缩气管接头、真空气管接头；吸盘座一端固定连接有吸盘本体、吸盘座另一端固定连接有压缩气管接头和真空气管接头；吸盘本体的内部设有压缩流道和真空流道；在吸盘...

本发明涉及一种光罩存储盒开合器，包括光罩存储盒、固定框架机构、开锁机构、升降机构。现有技术中的标准的光罩盒开锁机构大多采用电机旋转运动通过丝杠转换为直线运动，再通过滑槽机构使锁扣打开并锁定，或者通过直线步进马达直接驱动滑槽机构开锁并锁定...

本发明涉及一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器，该控制方法包括以下步骤：在SMIF开合器里增加一个DIO通讯板；E84收发器通过DIO通讯板与SMIF开合器中SMIF控制板连接；SMIF控制板通过通讯口将E84...

本实用新型公开了一种晶圆转移系统，包括：开盒单元，用于开闭晶圆盒；晶圆翻转单元，用于将晶圆在水平状态和垂直状态之间转换；晶圆转移单元，用于在开盒单元和晶圆翻转单元之间转移水平状态的晶圆。本实用新型通过开盒单元、晶圆转移单元以及晶圆翻转单...

本实用新型公开了晶圆水平承托装置以及晶圆转移机械臂，包括：至少一个托爪盘，托爪盘上设置有两个托爪组，两托爪组均包括至少一个托爪块，以形成用于容纳并承托晶圆的收容空间；驱动机构，驱动机构与至少一个托爪组连接，用于驱动一托爪组移动，以使收容...

本实用新型公开了一种晶圆寻边装置，包括：转动驱动机构，转动驱动机构包括主动辊和从动辊，主动辊和从动辊平行且间隔设置，以承载垂直状态的晶圆；阻挡杆，阻挡杆平行设置于主动辊和从动辊之间，且阻挡杆能够升降，以抬升位于主动辊和从动辊上的晶圆；以...

本实用新型公开了晶圆夹具以及晶圆转移机械臂，包括：至少一个托爪盘，托爪盘上设置有至少两个托爪块，以形成用于容纳并承托晶圆的收容空间；限位装置，限位装置包括推杆和驱动机构，驱动机构用于驱动推杆朝向收容空间移动，以使得位于收容空间内的晶圆边...

本实用新型公开了一种晶圆转移系统，包括：晶圆盒取放单元，晶圆盒取放单元包括装载台一，装载台一用于接收并承载晶圆盒；开盒单元，开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，晶圆盒开关器用于承载和开闭晶圆盒，夹持机构用于夹持并提升位于晶圆盒开关器上的...

本实用新型公开了夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统，其中用于夹持晶圆盒顶端的连接头的夹持机构，其特征在于，包括：安装座；设置于安装座上的顶爪；至少两相对设置的下爪，下爪沿顶爪周向设置；以及，设置于安装座上的驱动件，驱动件用于驱...

本实用新型公开了一种晶圆翻转装置、系统以及晶圆固定机构，其中晶圆翻转装置包括晶圆固定机构，晶圆固定机构包括一供晶圆进出的通道，且还包括：外壳，晶圆固定机构设置于外壳内，且外壳对应通道的至少一端设置有用于供晶圆进出的开口。本实用新型通过设...

本实用新型公开了一种晶圆承载装置，包括：至少两组嵌套设置的承载晶圆梳组，承载晶圆梳组包括相对设置的两承载晶圆梳，以分别夹持垂直状态的晶圆相对两侧边缘，并配合承载晶圆，且至少一组承载晶圆梳组能够相对其他承载晶圆梳组升降。本实用新型通过至少...

本发明公开了一种晶圆转移系统，包括：开盒单元，用于开闭晶圆盒；晶圆翻转单元，用于将晶圆在水平状态和垂直状态之间转换；晶圆转移单元，用于在开盒单元和晶圆翻转单元之间转移水平状态的晶圆。本发明通过开盒单元、晶圆转移单元以及晶圆翻转单元相配合...

本发明公开了一种晶圆盒开盒系统，包括：晶圆盒开关器，晶圆盒开关器包括装载台和开盒机构，装载台用于承载晶圆盒，开盒机构设置于装载台的侧边，并用于开闭晶圆盒；和，暂存装置，暂存装置靠近装载台设置，并用于将位于装载台上的晶圆盒提升至暂存位置，...