一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器技术方案

本发明专利技术涉及一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器，该控制方法包括以下步骤：在SMIF开合器里增加一个DIO通讯板；E84收发器通过DIO通讯板与SMIF开合器中SMIF控制板连接；SMIF控制板通过通讯口将E84收发器从主动端接收到的信号转发到主设备控制器；主设备控制器依据SEMI协议将回馈信号通过通讯口回传给SMIF控制器；再由SMIF控制器通过DIO通讯板传送到E84接发器，完成E84通讯功能。其优点在于：提供了具有对接功能的SMIF开合器，由SMIF开合器来代替或者辅助主设备控制器完成与自动搬送系统的E84交互对接；解决了现有机台不具有E84功能或者原厂商不配合升级E84功能的问题。E84功能的问题。E84功能的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器


[0001]本专利技术涉及半导体
，更具体地说，涉及一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器。

技术介绍

[0002]半导体制造工厂中，随着晶圆尺寸的扩大，载体重量增加以及制造工艺复杂化，有导入以AGV/OHT为代表的自动搬送系统(AMHS)的趋势。AMHS中，设备与OHV(天车)/AGV采用光感式(Photo)收发器(transponder)无线通信、来取得主动端(OHV、AGV)和被动端(设备)之间载体取放(Load和Unload)的同步。此Photo PI/O通信协议以国际半导体产业协会(SEMI)订定的E84为标准、规范了设备及OHV/AGV之间的通信控制。
[0003]当前新建立的晶圆厂，无论是8寸还是12寸晶圆厂，都开始导入OHV/AGV自动化系统，就是现有已运行多年的8寸晶圆厂，也开始导入自动搬运系统，提升搬运效率，节省人力；晶圆厂在引进新设备时，可以采购或者要求设备原厂商(Original Equipment Manufacturer)开发带有E84对接系统或者功能的设备；
[0004]目前，通过E84讯号的交互，让主动端传送系统(OHV/AGV)能够将晶圆载具(FOUP/POD)自动、高效、安全放置到被动端设备装载口。在半导体晶圆厂，设备装载口一般是8寸或者12寸的SMIF loadport。依据国际半导体产业协会(SEMI)订定的E84握手通讯协议，在取放货(Load/Unload)过程中主/被动两端讯号交握必须按照流程规范的顺序及时间，系统亦需即时监控，若有违反或逾时则必须发报错误信息并停止交握，必要时停止载具传送动作，确保人员及货物的安全。
[0005]如图3所示，其标准做法为被动端E84收发器直接接入主设备的控制器上，由主设备控制器完成与传送系统(OHT/AGV)的信号交互，SEMI标准严格规范了交互的顺序和时间；但是很多晶圆厂还会从国外产线购买闲置设备迁移进来，加上厂内现有机台也大多不具有E84功能或者原厂商不配合升级E84功能，甚至于新采购的机台本身也无E84功能等，从而导致主设备的控制器，无法直接和E84收发器连接。
[0006]前面的叙述在于提供一般的背景信息，并不一定构成现有技术。

技术实现思路

[0007]本专利技术的目的在于提供一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器，该控制方法在主设备不具备E84功能时，由SMIF开合器来替代或者辅助完成与自动搬送系统的E84交会对接。
[0008]本专利技术提供一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法，包括以下步骤：
[0009]S1：在SMIF开合器里增加一个DIO通讯板；
[0010]S2：E84收发器通过DIO通讯板与SMIF开合器中SMIF控制板连接；
[0011]S3：SMIF控制板通过通讯口将E84收发器从主动端接收到的信号转发到主设备控
制器；
[0012]S4：主设备控制器依据SEMI协议将回馈信号通过通讯口回传给SMIF控制器；
[0013]S5：再由SMIF控制器通过DIO通讯板传送到E84接发器，完成E84通讯功能。
[0014]进一步地，所述步骤S3中的通讯口为RS
‑
232或者TCP/IP。
[0015]进一步地，所述SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法还包括：
[0016]S11：在SMIF开合器里增加一个E84控制板，E84收发器通过DB25接口连接到E84控制板上；
[0017]S12：E84控制板通过DIO信号连接到SMIF开合器中SMIF控制板，将E84控制板状态通过PIO信号传送到SMIF控制器；
[0018]S13：SMIF控制器再通过通讯口将E84状态传送给主设备控制器；
[0019]S14：自动搬送系统收到指令运行到需要上下料的指定SMIF开合器位置，与被动端E84对接；
[0020]S15：E84控制板通过PIO信号从SMIF控制板获取SMIF上晶圆载具正确状态和SMIF机台安全互锁条件后，E84控制器开始按照SEMI标准规范的时序和主动端进行信号交互；
[0021]S16：被动端信号处理的逻辑置于E84控制板内，由E84控制板完成与主动端E84信号交互的处理；
[0022]S17：同时通过DIO ready/busy/error信号就E84通讯状态上传给SMIF控制板；
[0023]S18：E84信号交互顺利完成后，自动搬送系统就完成晶圆盒在SMIF上的装载和卸载的动作；
[0024]S19：E84控制板以ready信号通知SMIF控制器，完成E84物料传输的握手通讯协议全部流程。
[0025]进一步地，所述E84控制板为一块具有处理E84握手通讯协议的独立控制板。
[0026]进一步地，所述步骤S13中还包括将E84控制板状态通过DIO信号直接传送给主设备控制器。
[0027]进一步地，所述自动搬送系统为OHV或AGV。
[0028]本专利技术还提供一种SMIF开合器，通过上述的SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法实现所述SMIF开合器和所述自动搬送系统交互对接。
[0029]进一步地，所述SMIF开合器包括DIO通讯板、SMIF控制板，所述DIO通讯板、所述SMIF控制板安装于所述SMIF开合器中；所述DIO通讯板通过所述SMIF控制板的PIO板与所述SMIF控制板连接。
[0030]进一步地，所述SMIF开合器还包括E84控制板，所述E84控制板通过所述SMIF控制板的PIO板与所述SMIF控制板连接，将所述E84控制板状态通过DIO信号传送到SMIF控制板。
[0031]本专利技术提供的SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法，提供了具有对接功能的SMIF开合器，由SMIF开合器来代替或辅助主设备控制器完成与自动搬送系统的E84交互对接；解决了现有机台不具有E84功能或者原厂商不配合升级E84功能的问题。
附图说明
[0032]图1为本专利技术实施例1提供的SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法的流程示意图。
[0033]图2为本专利技术实施例2提供的SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法的流程示意图。
[0034]图3为现有技术中主设备的控制器和E84收发器信号交互模块示意图。
[0035]图4为本专利技术实施例1提供的SMIF开合器的模块示意图。
[0036]图5为本专利技术实施例2提供的SMIF开合器的模块示意图。
具体实施方式
[0037]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。
[0038]本专利技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：在SMIF开合器里增加一个DIO通讯板；S2：E84收发器通过DIO通讯板与SMIF开合器中SMIF控制板连接；S3：SMIF控制板通过通讯口将E84收发器从主动端接收到的信号转发到主设备控制器；S4：主设备控制器依据SEMI协议将回馈信号通过通讯口回传给SMIF控制器；S5：再由SMIF控制器通过DIO通讯板传送到E84接发器，完成E84通讯功能。2.根据权利要求1所述的SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法，其特征在于，所述步骤S3中的通讯口为RS
‑
232或者TCP/IP。3.根据权利要求1所述的SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法，其特征在于，所述SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法还包括：S11：在SMIF开合器里增加一个E84控制板，E84收发器通过DB25接口连接到E84控制板上；S12：E84控制板通过DIO信号连接到SMIF开合器中SMIF控制板，将E84控制板状态通过PIO信号传送到SMIF控制器；S13：SMIF控制器再通过通讯口将E84状态传送给主设备控制器；S14：自动搬送系统收到指令运行到需要上下料的指定SMIF开合器位置，与被动端E84对接；S15：E84控制板通过PIO信号从SMIF控制板获取SMIF上晶圆载具正确状态和SMIF机台安全互锁条件后，E84控制器开始按照SEMI标准规范的时序和主动端进行信号交互；S16：被动端信号处理的逻辑置于E84控制板内，由E84控制板完成与主动端E84信...

【专利技术属性】
技术研发人员：周锐，李宏伟，刘楠，何兆涛，曾潇凯，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技有限公司，
类型：发明
国别省市：