夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统，其中用于夹持晶圆盒顶端的连接头的夹持机构，其特征在于，包括：安装座；设置于安装座上的顶爪；至少两相对设置的下爪，下爪沿顶爪周向设置；以及，设置于安装座上的驱动件，驱动件用于驱动至少两相对设置的下爪向顶爪的中心方向移动，以将连接头夹持于下爪和顶爪之间。本实用新型专利技术的夹持机构通过顶爪和下爪的配合实现对连接头的稳定夹持，进而夹持晶圆盒；进一步地，通过在下爪设置倾斜抵靠面，实现对连接头渐进的夹紧，避免直接卡入连接头底部，造成连接头损害。造成连接头损害。造成连接头损害。

【技术实现步骤摘要】
夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统。

技术介绍

[0002]在半导体行业内，由于昂贵的净房造价和维护费用，每个工艺设备都配置了有限的晶圆盒开关器。因此在将晶圆搬进搬出工艺设备的同时，承载晶圆的晶圆盒的上料和下料所花费的时间，也是响应工艺设备产能的重要因素之一。无论是依靠自动化机构，或者是靠人工搬运，如何快速将晶圆已经进入工艺设备的晶圆盒(下文中简称空盒)移开，再将装满晶圆的晶圆盒(下文中简称满盒)放置在晶圆盒开关器上，进行不停的转换，也是增加设备产能的一个重要课题。如果是靠自动化搬运，按照上述的流程必须是机器人手臂先将空盒取走，安置妥当后，再从另外一个存储位将满盒取出放置在晶圆盒开关器上，完成一个转换流程(如果是从工艺设备取出晶圆，那么晶圆盒转换流程也是和上述类似的相反流程)。晶圆盒的转换流程需要花费相当的时间，而工艺设备内的晶圆上下料机械臂臂只能够在等待区内待机，直接影响了整个工艺设备的产量效率。
[0003]在12寸晶圆
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种夹持机构，用于夹持晶圆盒顶端的连接头，其特征在于，包括：安装座；设置于所述安装座上的顶爪；至少两相对设置的下爪，所述下爪沿所述顶爪周向设置；以及，设置于所述安装座上的驱动件，所述驱动件用于驱动至少两相对设置的所述下爪向所述顶爪的中心方向移动，以将连接头夹持于所述下爪和所述顶爪之间。2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述下爪包括用于与所述连接头的底面相抵靠的抵靠面，所述抵靠面为倾斜面，且其向靠近所述顶爪中心的方向逐渐降低。3.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述驱动件为滑轨型平行机械爪，所述驱动件的两滑块分别连接两相对设置的所述下爪。4.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，所述下爪和/或所述顶爪上设置有与所述连接头的凹口相适配的触压式传感器。5.根据权利要求4所述的夹持机构，其特征在于，所述触压式传感器设置于所述下爪的内侧，并位于所述抵靠面的上方，以朝向所述连接头的凹口。6.根据权利要求4所述的夹持机构，其特征在于，所述下爪和/或所述顶爪上开设有用于容纳所述触压式传感器的凹槽。7.根据权利要求6所述的夹持机构，其特征在于，所述凹槽尺寸大于所述触压式传感器的尺寸，以供所述触压式传感器在所述凹槽内调整方位。8.一种暂存装置，用于将位于装载台上的晶圆盒提升至暂存位置，其特征在于，包括：如权利要求1
‑
7任一所述的夹持机构；和，升降机构，所述升降机构用于带动所述夹持机构在所述装载台和所述暂存位置间移动。9.根据权利要求8所述暂存装置，其特征在于，所述升降机构包括垂直设置的导轨，所述夹持机构沿所述导轨升降。10.一种晶圆盒开盒系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴功，倪萌，李壮，
申请(专利权)人：上海大族富创得科技有限公司，
类型：新型
国别省市：