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本实用新型公开了夹持机构以及具有其的暂存装置和晶圆盒开盒系统，其中用于夹持晶圆盒顶端的连接头的夹持机构，其特征在于，包括：安装座；设置于安装座上的顶爪；至少两相对设置的下爪，下爪沿顶爪周向设置；以及，设置于安装座上的驱动件，驱动件用于驱动至...
该专利属于上海大族富创得科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海大族富创得科技有限公司授权不得商用。

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