【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及化学机械研磨制程中一种夹 钳部件的锁环螺接结构。
技术介绍
在半导体制程中，用于化学机械研磨的机台，由于其研磨机械头长期用 于研磨容易损耗，为保持性能的稳定性需要定期或不定期更换，而为了节省 这种更换作业耗费的工时， 一般均采用锁环螺接结构来实现快速更换研磨机 械头。这种锁环螺接结构是用一根螺轴和两端镂空的螺帽构成的，如图1、图2、图3所示的现有技术螺帽的各向视图，由图可见，该螺帽5具有圆管 状的本体51，其内壁设有螺纹54，并且该螺帽本体51两侧分别具有正对螺 轴进行螺合的开口 53以及便于拧启的正六面体末端52，其中螺帽末端52具 有镂孔55。然而，如此的设计在使用中容易出现螺纹碎屑和结晶的研磨浆掉落，污 染机台内的产品，造成产品表面刮伤，影响产品的良率。面对这样的局面， 研究寻求一种保护半成品免受刮伤，提高产品良率的途径，便成为该领域技 术人员攻关的一个重点。
技术实现思路
本技术的目的旨在提供一种化学机械研磨机台的夹钳用锁环螺接结 构，通过改进防止夹钳的螺接紧固作业时由螺纹碎屑和结晶的研磨浆掉落而污染机台内产品的情况发生，解...
【技术保护点】
化学机械研磨机台的夹钳用锁环螺接结构，包括螺轴、螺帽及垫片，其所涉及的夹钳开口具有固定延伸臂及活动延伸臂，并且活动延伸臂上开设有穿孔，所述螺轴一端定位连接在固定延伸臂上，另一端穿过活动延伸臂的穿孔后顺次套设垫片、拧紧螺帽，其特征在于：所述螺帽前端为开口，而螺帽末端为密封设计。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周曙华，杨亮，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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