下载化学机械研磨机台的夹钳用锁环螺接结构的技术资料

文档序号:3240629

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本实用新型公示了一种化学机械研磨机台的夹钳用锁环螺接结构,包括螺轴、螺帽及垫片,其所涉及的夹钳开口具有固定延伸臂及活动延伸臂,并且活动延伸臂上开设有穿孔,所述螺轴一端定位连接在固定延伸臂上,另一端穿过活动延伸臂的穿孔后顺次套设垫片、拧紧螺帽...
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