The invention discloses a method for chemical mechanical polishing pad trimmer of a large diamond single crystal with manufacturing, to provide a temporary base, the base comprises a temporary adhesion layer of the plane is a plane and a rigid template is arranged on the rigid template on the large diamond; plural abrasive particles implanted in the the adhesive layer, a large diamond grinding abrasive particles with the end inserted into the adhesive layer and is abutted on the plane, the diamond abrasive particles having a particle size of not less than 300 microns; then, remove the rigid template, and through a polymer binder and a grinding base combination and get a dressing tool.
【技术实现步骤摘要】
制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法
本专利技术涉及一种制造化学机械研磨垫修整器之方法,尤指一种制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法。
技术介绍
在半导体工业中,特别在目前线宽越来越小的发展趋势下,晶圆表面的平坦化步骤更为关键,目前高阶制程已全面使用化学机械研磨技术来达到全面平坦化效果。但在化学机械研磨制程中因为抛光垫会不断的和晶圆产生摩擦,使得抛光垫上的沟纹逐渐消失,且化学机械研磨制程中产生的切削、反应生成物等都会渐渐积存在抛光垫表面的细微沟槽中,容易造成抛光垫钝化、堵塞,导致抛光垫表面劣化,容易对晶圆产生缺陷,因此,研磨垫修整器(paddresser)遂成为化学机械研磨(CMP)制程维持晶圆平坦性、均匀性的关键,用以适度的修整抛光垫,好让抛光垫可以恢复原本的表面特性。
技术实现思路
为了达成上述目的,本专利技术提供一种制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一暂时基座,该暂时基座包含一具有一平面的刚性模板以及一设置于该刚性模板的该平面上的黏着层;将复数大钻石研磨颗粒布植于该黏着层,令该大钻石研磨颗粒具有的一研磨端插入该黏着层而抵触该平面,该大钻石研磨颗粒具有一不小于300微米的粒径;以及移除该刚性模板,并透过一高分子结合剂与一研磨基座结合而得到一修整工具。因此,相较于习知技术的化学机械研磨垫修整器,本专利技术采用了粒径不小于300微米的大钻石研磨颗粒,相较于习知粒径较小的钻石研磨颗粒的修整器,本专利技术的大钻石研磨颗粒的突出量可以更多,且尖锐端的体积更多,研磨颗粒埋入该基板的深度也更多,故可以大幅延 ...
【技术保护点】
一种制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一暂时基座,该暂时基座包含一具有一平面的刚性模板以及一设置于该刚性模板的该平面上的黏着层;将复数大钻石研磨颗粒布植于该黏着层,令该大钻石研磨颗粒具有的一研磨端插入该黏着层而抵触该平面,该大钻石研磨颗粒具有一不小于300微米的粒径;以及移除该刚性模板,并透过一高分子结合剂与一研磨基座结合而得到一修整工具。
【技术特征摘要】
1.一种制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一暂时基座,该暂时基座包含一具有一平面的刚性模板以及一设置于该刚性模板的该平面上的黏着层;将复数大钻石研磨颗粒布植于该黏着层,令该大钻石研磨颗粒具有的一研磨端插入该黏着层而抵触该平面,该大钻石研磨颗粒具有一不小于300微米的粒径;以及移除该刚性模板,并透过一高分子结合剂与一研磨基座结合而得到一修整工具。2.如权利要求1所述的制造具有大钻石单晶的化学机械研磨垫修整器之方法,其特征在于,利用一具有复数个定位孔洞的网板将该大钻石研磨颗粒布植于该黏着层。3.如权利要求1所述的制造具有大钻石单晶的化学机械研磨...
【专利技术属性】
技术研发人员:张荣德,宋健民,
申请(专利权)人:北京清烯科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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