固体摄像元件及其制造方法技术

技术编号:3237803 阅读:155 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种固体摄像元件,包括:半导体衬底,该半导体衬底具有包含P型杂质的衬底本体和设在该衬底本体上的包含N型杂质的第一N型半导体层,并且,在该第一N型半导体层的上述衬底本体侧设置有包含上述P型杂质的第一P型半导体层;多个光电转换部,这些光电转换部包括在上述第一N型半导体层的表层部彼此独立地在多个位置设置的第二N型半导体层;以及多个第二P型半导体层,这些第二P型半导体层分别包围上述各光电转换部,并沿着在上述第一N型半导体层的表层部的多个位置设置的元件隔离区域,从上述第一N型半导体层的表层部直到上述第一P型半导体层的表层部连续地设置。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种固体摄像元件,其特征在于,包括:半导体衬底,该半导体衬底具有包含P型杂质的衬底本体和设在该衬底本体上的包含N型杂质的第一N型半导体层,并且,在该第一N型半导体层的上述衬底本体侧设置有包含上述P型杂质的第一P型半导体层;多 个光电转换部,这些光电转换部包括在上述第一N型半导体层的表层部彼此独立地在多个位置设置的第二N型半导体层;以及多个第二P型半导体层,这些第二P型半导体层分别包围上述各光电转换部,并沿着在上述第一N型半导体层的表层部的多个位置设置的元 件隔离区域,从上述第一N型半导体层的表层部直到上述第一P型半导体层的表层部连续地设置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:山口铁也后藤浩成山下浩史井原久典井上郁子田中长孝
申请(专利权)人:株式会社东芝
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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