固体摄像元件的制造方法技术

一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具有由彩色抗蚀剂构成的多色的滤色层，其特征在于：　　　　在规定的膜的整个面上涂敷成为第１滤色层的彩色抗蚀剂，　　　　对规定的位置照射曝光光束，通过显影形成上述第１滤色层，　　　　在整个面上以覆盖上述第１滤色层的方式涂敷成为第２滤色层的彩色抗蚀剂，　　　　在上述第１滤色层所包围区域的内侧区域中形成照射曝光光束的区域与不照射曝光光束的区域之间的边界，通过显影形成上述第２滤色层。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有对彩色图像进行摄像用的滤色层的。
技术介绍
以往，作为在彩色摄像机或彩色数码相机等中使用的固体摄像元件，已知有图8中示出的结构。图8是示出现有的固体摄像元件的结构的侧剖面图。如图8中所示，固体摄像元件在半导体衬底100的表面附近具备产生与入射光量对应的信号电荷的光电变换部110而构成。在以栅格状排列的多个像素中分别设置了光电变换部110。形成了在各像素中生成与在光电变换部110中已产生的信号电荷对应的像素信号并按照来自在固体摄像元件的边缘设置的垂直扫描电路(未图示)的控制信号对水平扫描电路(未图示)传送该像素信号用的驱动电路。如图8中所示，在半导体衬底100上形成构成上述驱动电路的晶体管的栅电极109，在其上根据驱动电路的电路结构形成了多个布线层。再有，在图8中示出了形成2个布线层105、107的结构例。此外，在栅电极下的半导体衬底中形成了成为晶体管的源漏的未图示的扩散层。在布线层中形成了使用铝(Al)等构图为所希望的形状的布线，在各布线层间例如用由SiO2构成的层间绝缘膜106、108进行了绝缘。此外，在最上层布线层105上以覆盖该布线的方式形成了例如由丙烯酸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具有由彩色抗蚀剂构成的多色的滤色层，其特征在于在规定的膜的整个面上涂敷成为第1滤色层的彩色抗蚀剂，对规定的位置照射曝光光束，通过显影形成上述第1滤色层，在整个面上以覆盖上述第1滤色层的方式涂敷成为第2滤色层的彩色抗蚀剂，在上述第1滤色层所包围区域的内侧区域中形成照射曝光光束的区域与不照射曝光光束的区域之间的边界，通过显影形成上述第2滤色层。2.如权利要求1中所述的固体摄像元件的制造方法，其特征在于上述彩色抗蚀剂是负型的。3.如权利要求1中所述的固体摄像元件的制造方法，其特征在于在上述第2滤色层形成时曝光区域的边缘处，进行比标准的曝光条件过分的曝光。4.如权利要求1中所述的固体摄像元件的制造方法，其特征在于在上述第1滤色层形成时曝光区域的边缘处或在上述第2滤色层形成时曝光区域的边缘处的至少某一方，使曝光对比度比标准的曝光条件小。5.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：关根康弘，森茂树，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：