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固体摄像元件的制造方法技术
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文档序号:3209327
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一种固体摄像元件的制造方法,该固体摄像元件具有由彩色抗蚀剂构成的多色的滤色层,其特征在于: 在规定的膜的整个面上涂敷成为第1滤色层的彩色抗蚀剂, 对规定的位置照射曝光光束,通过显影形成上述第1滤色层, 在整个面上以覆盖上述...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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