非挥发性存储器及其制造方法技术

技术编号:3236738 阅读:165 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种非挥发性存储器,由基底、多个主体层、多个控制栅极、多个浮置栅极与多个掺杂区所构成。基底表面具有一层绝缘层。主体层设置于基底上,主体层呈条状平行排列并往第一方向延伸。控制栅极设置于基底上,控制栅极呈条状平行排列,并往第二方向延伸,其中,第二方向与第一方向交错,且控制栅极填满主体层于第二方向上的间隙。浮置栅极设置于控制栅极与主体层之间。掺杂区则设置于控制栅极之间的主体层中。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种非挥发性存储器,包括:基底,该基底表面设置有绝缘层;多个主体层,设置于该基底上,该些主体层平行排列,并往第一方向延伸;多个控制栅极,设置于该基底上,该些控制栅极平行排列,并往第二方向延伸,该第二方向与该第一方向交错,且该些控制栅极填满该些主体层于该第二方向上的间隙;多个浮置栅极,设置于该些控制栅极与该些主体层之间;以及多个掺杂区,设置于该些控制栅极之间的该些主体层中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:赖亮全
申请(专利权)人:力晶半导体股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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