垂直型电接触器及其制造方法技术

提供了一种连接至电接触器的凸块的垂直型电接触器。所述垂直型电接触器包括：与所述凸块垂直结合的支承梁，其中，至少两个弹性部分相互间隔；设置于所述支承梁的底部末端的固定部分，其用于固定所述支承梁；以及设置于所述固定部分的底部末端的齿棱部分，所述齿棱部分和所述固定部分为一体的。根据所述垂直型电接触器，在不损坏垂直型电接触器的情况下，将在齿棱部分产生的反作用力有效地分布给了测试电装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于测试电子器件的设备。更具体地说，本专利技术涉及探针板的。
技术介绍
近年来，半导体器件的容量已经发展到了255M DRAM和1GDRAM。随着半导体器件容量的增大，封装技术引入了C4(受控损坏芯片连接)而不是SOC(芯片上系统)。因而，晶片级(WaferLevel)封装技术被广泛用于封装半导体器件。这种晶片级封装技术对用于测试布置在矩阵中的球形焊盘的探针板的垂直型电接触器的开发提出了要求。如图1(a)所示，常规垂直型电接触器包括方柱形主体2和形成于主体2的底部的多个突出的齿棱1。每一齿棱1为棱锥状或斜截棱锥状，齿棱1和主体2为一体的(single body)。主体2和齿棱1均由诸如镍或镍合金的导电材料构成。如图1(b)所示，可以提供圆柱体3。图2示出了采用此类常规垂直型电接触器的例子。通常，通过预定物理力将垂直型电接触器垂直固定到探针板上，使之接触诸如半导体器件的球形焊盘4的待测物质的测试部分。之后，向焊盘4施加电信号，以测试所述半导体器件是否正常。假设通过常规垂直型电接触器测试半导体器件，那么主体2或3是无弹性的或者说是脆性的。无法通过主体2或3的形状获得足够的过驱动(O/D)值。此外，当探头齿棱1接触焊盘4时，难以有效地分布探头齿棱1处产生的反作用力，以确保探针板所需的足够的O/D值。
技术实现思路
技术问题本专利技术的示范性实施例涉及一种，所述垂直型电接触器能够在其齿棱与焊盘接触时有效分布反作用力，并确保足够的O/D值。技术方案本专利技术的示范性实施例提供了一种连接至电接触器的凸块的垂直型电接触器。所述垂直型电接触器包括与所述凸块垂直结合的支承梁，其中，至少两个弹性部分相互间隔规则距离；设置于所述支承梁的底部末端的固定部分，其用于固定所述支承梁；以及设置于所述固定部分的底部末端的齿棱部分，所述齿棱部分和所述固定部分为一体的。本专利技术的示范性实施例提供了一种制造连接至电构件的凸块的垂直型电接触器的方法。所述方法包括在牺牲衬底上形成第一保护图案；采用所述第一保护图案作为蚀刻掩模执行蚀刻工艺，从而在所述牺牲衬底上形成开口；去除所述第一保护图案；形成额外的提供空间的保护图案；采用导电金属材料填充所述开口和所述空间，以形成具有预定形状的齿棱部分和具有预定的形状的固定部分，所述齿棱部分和所述固定部分为一体的；在所述固定部分上形成支承梁，所述支承梁具有至少两个弯曲的弹性部分；在所述支承梁上形成具有预定形状的主体；将所述主体与所述电构件的所述凸块结合；以及去除所述牺牲层，以暴露所述齿棱部分。有益效果根据所述垂直型电接触器，提供了至少两个弹性部分，从而使支承梁通过外力施加弹力。因此，有效地分布了齿棱与焊盘接触时在垂直型电接触器的齿棱处产生的反作用力，以确保垂直型电接触器所需的足够的O/D值。附图说明图1示出了常规垂直型电接触器的支承梁和齿棱部分。图2示出了采用常规垂直型电接触器测试焊盘的例子。图3示出了根据本专利技术的垂直型电接触器。图4是具有各种形状的垂直型电接触器的透视图。图5示出了具有 形的弹性部分的支承梁。图6示出了具有 形弹性部分的支承梁。图7示出了带有各种形状的齿棱的垂直型电接触器。图8示出了支承梁与固定部分叠置的垂直型电接触器。图9和图10示出了采用根据本专利技术的垂直型电接触器的焊盘测试的实施例。图11和图12是用于说明具有 形弹性部分的垂直型电接触器的制造方法的流程图。具体实施例方式图3示出了根据本专利技术的垂直型电接触器90的构造。垂直型电接触器90包括依次与电构件10的凸块20连接的主体30、支承梁40、固定部分50和齿棱部分60。电构件10包括至少一个连接端子和用于向待测电子元件(例如，平板显示屏、半导体器件、显示器驱动集成电路等)施加电信号的互连。凸块20具有预定形状，其设置于电构件10的连接端子上。主体30具有预定形状，其通过诸如倒装芯片结合的结合法与凸块20的底部末端连接。就所述结合而言，凸块20和主体30具有相同的形状，例如多角柱(例如，三棱柱和方柱)形或圆柱形。或者，凸块20和主体30可以具有诸如实体柱或空心柱的相同形状。图4示出了图3所示的主体30的各种形状。具体而言，图4(a)、图4(b)和图4(c)示出了三棱柱主体30a、方柱主体30b和圆柱主体30c。但是，可以提供空心三棱柱主体、空心方柱主体和空心圆柱主体。在各个主体30a、30b和30c的底部末端上设置作为最能体现本专利技术的特征的元件的支承梁40。支承梁40具有多个弹性部分41，在施加外力时其收缩，在不施加外力时其伸展。弹性部分41之间具有规则间隔，并且将其沿径向布置。每一弹性部分41可以具有 或 形状。图5示出了包括具有 形弹性部分的支承梁的垂直型电接触器。参考图5(a)，垂直型电接触器90包括具有多个 形弹性部分41′的支承梁40′。因此，垂直型电接触器90可以通过外力施加弹性作用。优选提供两个到四个 形弹性部分41′。如果仅提供一个弹性部分41′，垂直型电接触器90就难以施加平衡的弹性作用。同时，如果至少提供五个弹性部分41′，就会给支承梁的制造带来困难，并对弹性的生成造成障碍。图5(b)、图5(c)和图5(d)分别示出了具有三个 形弹性部分41′的支承梁40′、具有两个 形弹性部分41′的支承梁40′和具有四个 形弹性部分41′的支承梁40′。如图所示，通过提供两个到四个弹性部分产生适当的弹性并克服制造困难。如图6(a)所示，垂直型电接触器90可以包括具有至少两个 形弹性部分41″的支承梁40″，所述弹性部分41″间隔规则距离，并沿径向布置。与图5所示的支承梁40′类似，支承梁40″具有两个到四个 形弹性部分41″。具体而言，图6(b)、图6(c)和图6(d)分别示出了带有三个弹性部分41″的支承梁40″、带有两个弹性部分41″的支承梁40″和带有四个弹性部分41″的支承梁40″。如图所示，通过提供两个到四个弹性部分产生适当的弹性并克服制造困难。将每一上述弹性部分41、41′和41″固定到其下方具有预定形状的固定部分50上。包括一个或多个齿棱的齿棱部分60被固定到固定部分50的底部末端上。如图6和图7所示，固定部分50可以具有圆形、四边形或三角形。此外，固定部分50可以具有实体柱或空心柱的形状。在固定部分50的底部末端上设置齿棱部分60的齿棱，从而使其间具有规则间隔，并沿径向布置。如图7(a)和图7(b)所示，设置于固定部分50的底部末端上的齿棱部分60可以包括棱锥状齿棱60a。或者，如图7(c)和图7(d)所示，齿棱部分60可以包括矩形齿棱60b。如上所述，垂直型电接触器90包括按所指出的顺序制造的齿棱部分60、固定部分50、支承梁40和主体30。可以提供至少两个带有弹性部分的支承梁，使之叠置。在这种情况下，可以在叠置的支承梁的弹性部分之间设置另一固定部分。也就是说，可以在齿棱部分60和固定部分50之间叠置至少一个固定部分和至少一个支承梁。图8示出了多叠置了一次固定部分和支承梁的垂直型电接触器90。垂直型电接触器90可以包括按照所指出的顺序叠置的齿棱部分60、固定部分50B、支承梁40B、固定部分50A、支承梁40A和主体30。图9示出了采用根据本专利技术的垂直型电接触器的焊盘测试的程序。具体而言，图9(a)和图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连接至电接触器的凸块的垂直型电接触器，包括：与所述凸块垂直结合的支承梁，其中，至少两个弹性部分相互间隔；设置于所述支承梁的底部末端的固定部分，其用于固定所述支承梁；以及设置于所述固定部分的底部末端的齿棱部分，所述 齿棱部分和所述固定部分为一体的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋炳学，郑文赫，
申请(专利权)人：飞而康公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]