晶片托架制造技术

在运输、贮存和加工过程中支撑和约束圆形的半导体晶片的组合式晶片托架，其包括用于放取晶片的顶部和底部开口，具有如Ｈ形杆的连接部的竖直前端件，竖直后端件和一对有从前端件向后端件延伸的竖直侧壁槽的侧壁件。各件中至少一个为分离塑成，在无紧固件下通过接合部与晶片托架的其它部件相连。晶片托架可搭锁在一起。在后端件上有分离的第二连接件以便允许托架与设备连接使晶片顶边向上或倒转。分离形成的部件可使用不同材料或不同成分的相同基料制造以改变静电耗散性。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】这是1997年4月16日的美国申请08／843，464部分的继续。本专利技术涉及一种组合的晶片托架，其用于集成电路元件生产的半导体晶片的运输、贮存和加工过程。把晶片加工成集成电路片的工艺经常包括几个步骤，在这个过程中，晶片被反复处理、贮存和运输。由于晶片易损的本性和极端的昂贵，所以在这一过程中正确地保护它是很重要的。晶片托架的一个目的是提供这种保护。此外，由于晶片经常被自动地处理，对于晶片的自动移动和插入，晶片需要相对于加工设备准确地定位。晶片托架的第二目的是在运输过程中可靠地支撑晶片。一般的晶片托架是一个单个的塑模零件，一般包括具有一H形杆连接部分的前端，具有平板形式的后端和带有槽及与晶片的曲线相符的向下弯曲或下降部的侧壁，及一开口顶部和一开口底部。这些设计在通用性和制造上都存在一些问题。当需要对一单个的塑模托架的规格进行一个调整时，旧的塑模或它的一部分被典型地修改或报废，并且一新的塑模或它的一部分被加工。托架的各不更换部分不能被分离地塑成和贮存以便用于将来的装配。此外，大体积和更复杂的塑模零件增加了弯曲或其它结构问题产生的可能性，以致影响产品的质量和稳定性。所以单个塑模整体晶片托架存在本质的缺陷。晶片托架的特点希望变化包括塑料的类型、装置的连接、静电耗散性、及晶片的定位和间距。本专利技术利用分离的塑模零件来形成组合的H形杆晶片托架。这个设计减少了与单个塑模H形杆托架相连的结构和通用性问题。首先，通过减少塑模零件的体积尺寸，象弯曲那样的结构问题减少了，而且提高了质量、准确性和晶片托架制造的稳定性。而且本设计通过简单地重新设计侧壁或其它元件而不是整个晶片托架能够获得各种规格提高了通用性。所以本专利技术比以前的单个塑模设计更有效。本专利技术的一个实施例是一个H形杆晶片托架，它利用接合侧壁的分离的塑模晶片插入塑模晶片托架框。这个晶片托架框具有一前端件，一相对的后端件和侧支撑件或在前端和后端之间延伸的横跨件，为支持侧壁就位提供固定装置。在托架内每一侧壁有许多用于在运输和贮存过程中支撑和约束晶片的槽。前端元件具有一H形杆用于与加工设备连接来保证与晶片的自动插入和移动精确对准。此外，一第二装置连接件设置在后端件上。本专利技术的一个特点是提高了晶片托架的制造效率。不用再设计一个整个的晶片托架和加工一个新的塑模，一个晶片托架的规格可以通过设计新的侧壁和把它们插入一通用的晶片托架框，很容易地获得。本专利技术的另一特点是实际上提高晶片托架的通用性来降低成本和材料的浪废。比较贵的材料如聚酮醚(PEEK)，理论上适用于托架的与晶片接合的部分，侧壁可以用其它一般的材料如聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸丁二酯(PBT)，而聚四氟乙烯(PTFE)可用于托架框。总之，一旦一组规格被终止，不会报废整个晶片托架，可以不改变托架框模重新设计侧壁来获得新的规格。本专利技术的另一个特点是通过大大地降低与由单模制成的晶片托架而导致的弯曲和其它问题，对托架之间质量的一致性提供了很大的保证。本专利技术的另一个特点是在检验新侧壁材料和设计上提供了很大的灵活性。检验只通过更换侧壁来完成不需要重塑一个整个的晶片托架。本专利技术的另一个特点是提高了晶片托架的结构准确性。通过分离地塑模侧壁，制造者能够更准确和一致地获得需要的规格。是对于特定的实施例，本专利技术的另一个特点是在修理晶片托架过程中提供了更大的便利。通过更换侧壁或其它部分可以修理或重做晶片托架。本专利技术的另一个特点是侧壁插入件很容易塑成最小弯曲。在托架框架上有一些弯曲，如在框架周边侧壁上的插孔，由侧壁插孔提供的结构支撑适合所说的弯曲。本专利技术的另一个特点是另外的机器连接件或带把手的法兰可以固定或变换到晶片托架的后端。带有第二相对机器连接件的晶片托架可放在设备上用于通过晶片从顶边向上或倒转将晶片取回。本专利技术实施例中的其它特点和好处是装配的晶片托架在分离的元件的交界处只有一个接触点或线。此外，对于托架的装配不需要额外的紧固件。附图说明图1是装配的组合晶片托架的示意图；图2是带有与加工设备连接的第一端的晶片托架的正视图；图3是根据本专利技术一个通用晶片托架框架的示意图；图4是根据本专利技术另一个通用晶片托架框架的示意图；图5是根据本专利技术一较佳实施例的侧壁的示意图；图6是根据本专利技术另一较佳实施例的侧壁的顶部的前侧示意图；图7是根据本专利技术另一较佳实施例的侧壁的底部的前侧示意图；图8是根据本专利技术一较佳实施例的侧壁的示意图；图9是根据本专利技术另一较佳实施例的侧壁的顶部的后侧示意图；图10是根据本专利技术另一较佳实施例的侧壁的底部的示意图；图11是根据本专利技术一较佳实施例的侧壁的示意图；图12是根据本专利技术一较佳实施例的侧壁的顶部的后侧示意图；图13是根据本专利技术一较佳实施例的侧壁的底部的后侧示意图；图14是沿图15的14-14线的横截面图；图15是装配的组合晶片托架的侧视图；图16是沿图17的16-16线的横截面图；图17是装配的组合晶片托架的侧视图；图18是根据本专利技术一较佳实施例的装配的组合晶片托架的示意图；图19是后端件的示意图20是前端件的示意图；图21是侧壁的示意图；图22是一变化的框架的示意图；图23是另一实施例的示意图；图24是图23实施例的分解图；图25是第二设备连接件的前视图；图26是图27的法兰或机器连接件的示意图；图27是适于固定到图23和24的晶片托架上的法兰或设备连接件的后视图；图28是沿图26的线28-28的横截面图。参见图1和2，示出了一个组合晶片托架的例子，通常设计为30，用于运输和贮存电路半导体晶片晶片W。装置30有几个一般的特征，它主要包括一具有设备连接部分34的第一或H形杆的直立的前端件32，一具有平板38构造的中部区域的第二或直立的后端件36，和带有用于支撑晶片W的槽46的侧壁40。槽46适于在贮存、输送和组合晶片托架30的自动处理过程中支撑和约束晶片晶片W。托架30具有用于容纳晶片的顶部开口42和底部开口44。图2示出了与加工设备47连接的组合晶片托架30。晶片晶片W插入第一位置槽461和侧壁40的槽461。槽的数量n、槽距s、第一位置槽461相对于基准面A的位置d和侧壁40的最后的槽46n的位置必须适应加工设备47和加工设备连接件48的要求。再参见图1和2，晶片托架30还包括一通用的与侧壁插入件41构成整体的托架框架60，并且通常设计成62固定装置在框架60内锁定接合侧壁插入件41。通用托架框架60最好由注模塑料制成，例如普遍使用的在工业中公知的用于晶片托架的聚丙烯。侧壁插入件41可由不同于用于形成通用托架框架60的材料制成。所以，组合晶片托架30可适合各种类型的加工设备，要求不同的第一槽位置461、槽的数量n、槽间距s，简单地通过使用合适的侧壁插入件来获得合适的规格。侧壁插入件的各种组合、托架框架的构造和具体固定装置可用来形成组合晶片托架30。参见图3，表示了对应图1所示整个托架的通用托架框架60，框架60包括具有H形杆64的前端件32，具有端板38的后端件，第一和第二上侧支撑件66，67，第一和第二下侧支撑件68，69，顶部开口42和底部开口44。框架接合部分经常设计成固定装置62的70′，其为槽形。H形杆64用于连接加工设备。上侧支撑件66，67从前端32的左部50和右部51延伸到后端36的左部52的右部53。下本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有基本上水平延伸轴线的圆形晶片的晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口并且包括：一竖直的具有左前部和右前部的前端件和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架可向前旋转以便使设备连接件压在 设备上并使排列的晶片轴线定在基本竖直方向的位置上；一对侧壁件从前端件向后延伸，一个从前部，一个从右前部，每一侧壁具有一基本上直立的上部和一收敛下部以及许多从上部延伸的基本上竖直的槽；用于支撑和约束晶片的下部；一在两侧壁间延伸的中 部具有平板的竖直后端件；并且至少分离形成一个竖直的前端件，一对侧壁和与晶片托架的后端件，并且通过一对相应的锁定接合部装配入晶片托架。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 1998-4-10 058137;US 1997-4-16 8434641．用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有基本上水平延伸轴线的圆形晶片的晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口并且包括一竖直的具有左前部和右前部的前端件和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架可向前旋转以便使设备连接件压在设备上并使排列的晶片轴线定在基本竖直方向的位置上；一对侧壁件从前端件向后延伸，一个从前部，一个从右前部，每一侧壁具有一基本上直立的上部和一收敛下部以及许多从上部延伸的基本上竖直的槽；用于支撑和约束晶片的下部；一在两侧壁间延伸的中部具有平板的竖直后端件；并且至少分离形成一个竖直的前端件，一对侧壁和与晶片托架的后端件，并且通过一对相应的锁定接合部装配入晶片托架。2．如权利要求1所述的晶片托架，其特征在于前端件的第一设备连接件是一在左前部和右前部之间延伸的H形杆。3．如权利要求1所述的晶片托架，其特征在于侧壁件是侧壁插入件，还包括一对从前端件的左前部和右前部延伸到后端件的横跨件，每一横跨件分别沿一侧壁插入件延伸。4．如权利要求3所述的晶片托架，其特征在于每一侧壁插入件具有一对对应的接合部之一，每一相应的横跨件具有另外的对应接合部，每一对对应的接合部可以在没有外部紧固件的情况下固定在一起。5．如权利要求1所述的晶片托架，其特征在于竖直的后端件进一步包括一第二设备连接件，在那里晶片托架可以向后旋转以便使第二设备连接件压在设备上。6．如权利要求1所述的晶片托架，还包括一第二机器连接件，它在第二机器连接件上具有一对对应的接合件之一且另一对应的接合件在后端件上。7．如权利要求6所...

【专利技术属性】
技术研发人员：SM布哈特，SD埃古姆，WC奥尔森，
申请(专利权)人：诚实公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]