【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体涉及流体密封件。更具体地,本公开的实施方式涉及用于在临界流体 管理中所使用的诸如液体过滤装置、阀和传感器的操作性流体装置的无0形圈流体密封联 接件。
技术介绍
众多工业和许多应用都使用金属管、配件和用于处理和控制临界流体流的多种其 它的“管道工程”部件。这种部件可由金属一诸如铜、不锈钢或钢一制成。常规流体密封 件包括弹性材料的0形圈或衬垫。虽然这些密封件相对便宜,且在大多数情况下都能有效 密封,但是这种密封件并不是对所有的环境都是有效的。在特殊的应用中,诸如半导体工艺 中,所包含的流体与金属部件、常规衬垫或弹性材料的0形圈起反应和/或会被其污染。因 此,在这种工业中,管道部件由高惰性材料--诸如含氟聚合物--制成。作为示例,在存在于微电子工艺流体的液体过滤中的苛刻的化学环境下,必须使 用由耐化学品的材料(例如,KALREZ )制成的ο形圈。但是,这些ο形圈是昂贵的, 并且通常需要频繁地进行更换。此外,在工艺流体易于结晶化的应用中,径向密封式或表面密封式0形圈周围的 小体积的死区会引起工艺流体结晶,从而导致在密封处的泄漏或对工艺流体造成其它不良 影响 ...
【技术保护点】
一种流体操作装置,包括聚合物体部和聚合物容纳部,所述聚合物体部与所述聚合物容纳部在流体密封连接部处相互接合,所述体部包括一对流体流动管道,并且操作部至少部分地容纳在用于容纳流体且由具有公共轴线的所述体部与所述容纳部所限定的内部中,所述操作部提供流体控制、流体调节和流体测量中的至少一种,所述体部限定出第一筒形内壁部和处于流体紧密密封部处的第一筒形壁表面部,所述容纳部限定出第二筒形内壁部和处于流体紧密密封部处的第二筒形内壁表面部,所述第一内壁部和第二内壁部设置成与流体接触,所述流体紧密密封部包括:与所述体部成一体的第一配合部、与所述容纳部成一体的第二配合部,所述第一配合部具有邻 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒂莫西W托尔,道格拉斯D诺里斯,
申请(专利权)人:诚实公司,
类型:发明
国别省市:US
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