显示装置用布线基板及其制造方法制造方法及图纸

半透过型液晶显示装置及其制造方法中，提供一种不产生连接不良等并可以降低工程负担和制造成本的装置及其方法。在形成厚型树脂膜５和贯通该厚型树脂膜５的上层接触孔５１之后，在一个保护层图形８下汇总进行贯通栅极绝缘膜１５的下层接触孔４１的作成，用于形成透明像素电极的ＩＴＯ膜的构图。具体说来，堆积ＩＴＯ膜之后设置保护层图形８时，在焊盘用布线１４ａ的端部中，在上层接触孔５１的内缘的内侧设置直径小侧蚀刻尺寸和余量部分的开口８１。接着，进行（１）沿着保护层图形８的ＩＴＯ膜的构图、（２）利用缓冲氟酸等蚀刻液的下层接触孔４１的作成、以及（３）去除ＩＴＯ膜的“帽檐状部分”６ａ的３阶段蚀刻。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于液晶显示装置等显示装置的布线基板及其制造方法。特别是涉及具有厚型树脂膜的布线基板。
技术介绍
近年，作为代替CRT显示器的显示装置，大量开发了平面型显示装置，其中液晶显示装置因轻、薄、耗电低等优点而受关注。特别是对各像素电极电连接开关元件而构成的有源矩阵型液晶显示装置由于可以实现邻接像素间没有串扰的良好的显示图象，所以成为液晶显示装置的主流。以下，说明各TFT(Thin Film Transistor)作为开关元件的透光型有源矩阵型液晶显示装置的例子。有源矩阵型液晶显示装置是在阵列基板和对置基板间经取向膜保持液晶层而构成的。阵列基板中，在玻璃或石英基板等透明绝缘基板上经绝缘膜将多根信号线和多根扫描线配置成格子状，在相当于格子的各块的区域配置ITO(Indiμm-Tin-Oxide)等透明导电材料构成的像素电极。另外，在格子的各交点部分配置作为电分离导通像素和断开像素、并且对导通像素具有保持图像信号的功能的开关元件的TFT。TFT的栅极与扫描线电连接，漏极与信号线电连接，源极与像素电极电连接。对置电极构成为在玻璃等透明绝缘基板上配置ITO构成的对置电极，若是实现彩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置用布线基板，其特征在于，具有在基板上形成的第１导电层图形；配置在上述第１导电层图形上、在对应上述图形的位置具有开口的第１绝缘膜；具有直径比上述第１绝缘膜的开口大、其内壁由第２导电层覆盖的接触孔的第２绝缘膜；以及 在上述第２导电层上形成、经上述接触孔与上述第１导电层连接的第３导电层，上述第１绝缘膜的开口上端的形状和上述第２导电层的开口的形状实质上大致相同。

【技术特征摘要】
JP 2002-3-27 2002-089731;JP 2002-3-27 2002-0897321.一种显示装置用布线基板，其特征在于，具有在基板上形成的第1导电层图形；配置在上述第1导电层图形上、在对应上述图形的位置具有开口的第1绝缘膜；具有直径比上述第1绝缘膜的开口大、其内壁由第2导电层覆盖的接触孔的第2绝缘膜；以及在上述第2导电层上形成、经上述接触孔与上述第1导电层连接的第3导电层，上述第1绝缘膜的开口上端的形状和上述第2导电层的开口的形状实质上大致相同。2.如权利要求1所述的显示装置用布线基板，其特征在于，上述第2绝缘膜为膜厚大于1μm的绝缘性树脂膜。3.如权利要求1所述的显示装置用布线基板，其特征在于，上述显示装置用布线基板具有呈矩阵状的由与上述第2导电层和上述第3导电层中的至少一个相同的导电材料构成的像素电极。4.如权利要求3所述的显示装置用布线基板，其特征在于，上述像素电极由上述第2导电层和上述第3导电层构成，其一方由透光性导电膜构成，另一方由反光性导电膜构成。5.如权利要求4所述的显示装置用布线基板，其特征在于，上述显示装置用布线基板用于半透过型液晶显示装置。6.如权利要求4所述的显示装置用布线基板，其特征在于，在位于与上述反光性导电膜构成的上述像素电极对应的位置的上述第2绝缘膜具有凹凸图形。7.如权利要求4所述的显示装置用布线基板，其特征在于，上述第2绝缘膜具有在与上述透光性导电膜构成的上述像素电极对应的位置被切开的开口。8.如权利要求1所述的显示装置用布线基板，其特征在于，上述显示装置用布线基板用于有机EL显示装置。9.如权利要求8所述的显示装置用布线基板，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：滋野博誉，
申请(专利权)人：体埃弗皮迪株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]