半导体生产设备管理系统技术方案

本发明专利技术是一种能实现半导体生产设备特色化管理的系统。该系统包括采集设备、故障、备品备件、采购信息外，该系统还有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析模块、快速实时获指定的设备管理参数。能在具有完备的设备相关数据条件下，运用通用软件工具，设计实现快速多层次的分析、计算、汇总、查询功能，从而使用户获得所要求的各类统计结果，并输出用户最终要求文件格式的报表。本系统通用性强，操作方便，投入使用后大大提高了设备的管理水平。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及生产设备的管理，适用于具有完备设备相关数据条件下，需要特色化管理的状况。
技术介绍
通常的设备管理系统一般都具备采集设备、故障、备品备件、采购信息等数据的功能。但在管理方面往往只能实现简单的统计以及通用性的分析功能，而不能实现多层次的分析计算汇总功能，且存在着横向查询比对困难、开发工具灵活性通用性差等问题。由于不同行业的生产设备，特色化管理项目繁多，分析计算方法复杂，因此只使用通常的设备管理系统往往不能全面有效地实施管理。
技术实现思路
在原管理系统的基础上，根据特色管理需要，建立数据传输通道，设计制作数据分析模块，快速实时地获取指定的设备管理参数。构成图参见图1。原管理系统主要是简单的履历保管，其查询方法烦琐，无法实现数据的横向比较和复杂的分析运算；运行耗时长，必须以用户登录界面方式进入，方可进行查询。新系统直接连接后台数据库，读取指定字段数据，并对数据进行分析处理获得所需分析结果，由于数据通道与原系统完全不同，使用只读方式进行后台登录，因此在完全不影响原系统工作的情况下，运行速度快5倍以上。本专利技术的目的是提供一种生产设备特色分析、查询管理系统，利用即存系统的数据库通过导出工具对需求数据进行导出，再进行各类复杂的分析处理及计算，获得设备管理所需要的统计结果；同时当数据库数据发生变化时，通过刷新随时获得最新的统计结果，达到及时、客观、有效的管理目的。本专利技术涉及的一种半导体生产设备管理系统，包括采集设备、故障、备品备件、采购信息步骤，该系统有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析模块、快速实时获指定的设备管理参数。所述的半导体生产设备管理系统，首先新建数据库查询并选择数据源，然后使用Microsoft ODBC for Oracle联结与数据源进行连接，选择需要的表和列设置指定列条件及排序方式。所述的半导体生产设备管理系统数据分析模包括工单及设备状态查询、备品查询、采购状态查询、设备资料查询、生产批管理查询。所述的半导体生产设备管理系统的多表查询，则要在Microsoft Query中添加表单并设定条件。在本专利技术中，实现了即存数据库数据导出及再处理功能，并能实现数据的及时刷新，随时获得最新的导出数据，进而利用再处理功能，迅速获得最新的处理结果。实现了信息的横向查询比对功能，可将客户要求的项目进行数据筛选、比对，与传统的档案式管理相比，操作直观且快速有效。实现了设备状态实时监控功能，能够根据设备故障状况，及时形象地显示发生故障的设备位置即相关信息。本专利技术具有报表统计功能，能够直接获得用户需求报表，且具有灵活的再处理能力，可进一步进行分析计算。此外还提供了智能分析功能，可根据历史数据预测今后可能出现的情况，为计划管理提供有效的帮助。附图说明图1是半导体生产设备管理分析查询系统基本构成图2是建立数据库连接的实施流程图3是分析查询系统文件结构图4是“日报”宏设计流程图5是“设备故障统计”文件及函数设计方案图6是针对“日报”中组立工序的处理宏程序具体实施例方式阅读以下本专利技术的详细叙述和附图，将会进一步了解本专利技术的实施方式及特点。下面将叙述本专利技术的一个应用于半导体生产设备管理分析查询系统的实施例。其基本构成分为数据传输通道，包括数据连接与半导体生产设备特色管理系统更新及分析查询系统模块，包括模块结构设计、函数运算设计、宏命令设计等参见图1。一、实施例系统首先需要数据传输通道实现基本数据的传输及更新功能。本专利技术使用了ODBC功能进行了据传输通道的设计ODBC(Open Database Connectivity)即开放式数据库连接，可提供对Oracle数据库的直接访问，获取需要字段的数据，并加以分析利用。本设计选择Microsoft ODBC forOracle作为数据导入工具。设置如下设定统一的数据源名及用户名以便使用者统一安装设定。建立数据库连接实现基础数据的导入。实施流程见图2。首先新建数据库查询并选择数据源，然后使用Microsoft ODBCfor Oracle联结与数据源进行连接，选择需要查询的表和列设置指定列条件及排序方式，若需多表查询，则还要在Microsoft Query中添加表单并设定条件，从而完成数据导入。对外部数据区域属性进行数据更新设置时，根据客户的需求设定不同类型的更新方式即显示格式。更新方式有定时更新、打开时自动更新、手动更新等。通过数据连接与更新，EXCEL可获取ORACLE数据库中最新的数据。二、实施例系统的主体部分是分析查询系统模块系统模块结构如图3所示，主要分为工单及设备状态查询、备品查询、采购状况查询、设备资料查询、生产批管理查询5个模块。各模块中设计制作了相关的分析查询模块(一)工单及设备状态查询模块1)现状工单当单击更新时，模块运行指定宏程，直观显示出现场设备状况及未完成工单情况，并提供各工单的具体信息，适用于现场保全及PC及时了解工作情况。2)早/晚班查询当单击更新时，模块运行指定宏程，直观显示当班期间，现场设备状况及全部工单列表，适用于保全、主管了解自身工作情况。3)日报当单击更新时，模块运行指定宏程，将当日早8:30前一天或多天内故障、品换、借用及维护情况，进行排版计算处理，最终作成当日设备日报格式供管理者使用。4)点检计划查询输入日期范围，表单自动更新，显示选定日期时间范围内所有点检计划的工单，供相关人员了解计划日程。5)设备故障统计输入日期范围，并单击更新，模块运行指定宏程，将表单自动更新，并进行各类计算，最终显示符合选定日期时间范围、选定故障时间条件的完成故障工单，可进行分工序分设备分故障大停/小停的统计，提供各台设备故障时间、件数、故障率MTBF、MTTR的动态计算结果，筛选设备故障件数、故障时间、故障率、废弃个数的动态图表，以及主要设备群的故障统计，并作成周/月报格式，适用于主管及报表统计人员及时了解设备的故障情况。6)完成工单输入日期范围，更新后显示选定日期时间范围内所有类型的完成工单，并进行时间、件数、MTBF、MTTR的计算，适用于主管及日报统计人员了解工单历史。7)工作量统计输入日期范围，更新后可统计设备科人员工作量，适用于各系主管使用。(二)备品查询模块1、基本数据查询备品备件动态清单输入库存编码特征值，更新后显示查询时刻备品备件的在库情况，适用于设备人员查找备品及实施相关统计。2、备品管理查询(1)备品关联设备、成本中心及产品显示查询备品与设备、成本中心及产品的关系，便于事务人员进行有针对性的统计。(2)入出库品成本中心及产品信息显示查询入出库品信息及其成本中心与产品信息，供库管员进行月末结账统计。(3)事务处理履历查询显示查询备品的操作历史，如发放与返回、接收与转移、调整，适用于库管员盘库。(4)备品备件费用统计及预测输入历史期间、预测天数以及历史与预测期设备开动状况，模块可通过计算分析历史数据，预测出预算期内备品备件费用情况，以供预算人员参考使用。(5)常用备品重订货管理输入历史期间、预测天数等信息，模块可通过计算分析历史数据及库存情况，计算预测期间备品是否不足，并显示不足报警，提示责任人进行备品购入。三、设备资料查询模块(1)设备清单显示后工序所有设备及相关信息，以便进行各类查询与统计。(2)设备用力参数显示后工序本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体生产设备管理系统，包括采集设备、故障、备品备件、采购信息步骤：其特征在于：该系统有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析模块、快速实时获指定的设备管理参数。

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产设备管理系统，包括采集设备、故障、备品备件、采购信息步骤其特征在于该系统有一个实现建立数据传输通道、设计制作数据分析模块、快速实时获指定的设备管理参数。2.如权利要求1所述的半导体生产设备管理系统，其特征在于首先新建数据库查询并选择数据源，然后使用Mi crosoft ODBC for Oracle联结与...

【专利技术属性】
技术研发人员：高华，
申请(专利权)人：首钢日电电子有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]