【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光刻设备，它通过在曝光时切换多块掩模版，增加紫外环境中的多次曝光处理量。
技术介绍
光刻设备已经发展到能在晶片上形成越来越小装置的图形。正在发展利用多次曝光的光刻设备和方法。在多次曝光时，根据掩模版在成像当中的调换，按顺序使两块或更多掩模版成像。在极远紫外(EUV)成像中，多次曝光对克服不需要的低k1成像效应，特别有利。在现有的系统中，因为要调换的每一掩模版，就在曝光前，必须从常压转换为真空，所以掩模版的调换时间大大地压缩了处理量。遗憾的是，尚没有在真空中进行多次曝光又有效地存放多块掩模版的现成的光刻设备。因此，需要的是一种能夹持两块或更多掩模版的真空储藏室，使该真空储藏室与真空室连通。这样的配置能在多次曝光时，进行快速掩模版调换，从而提高处理量。
技术实现思路
本专利技术各实施例提供一种方法，该方法包括的步骤是在真空处理区处理从真空输入区接收的掩模版；把掩模版储藏在真空库中；把处理步骤中产生的信息，和每一块掩模版在真空库中的位置进行相关的数据，存储起来；最后，在存储数据步骤的基础上，从真空库检索请求用于在晶片上曝光的某一图形的掩模版。本专利技术...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种方法，包括的步骤有在真空处理区处理从真空输入区接收的掩模版；把掩模版储藏在真空库中；对储藏的掩模版加索引；和根据所述加索引步骤，从真空库检索请求用于在晶片上曝光的某一图形的掩模版。2.按照权利要求1的方法，其中所述处理步骤，包括识别每一掩模版的步骤，且其中在所述加索引步骤中存储的数据，包括在所述识别步骤中确定的标识。3.按照权利要求1的方法，其中所述处理步骤，包括检查每一掩模版的步骤，且其中在所述加索引步骤中存储的数据，包括在所述检查步骤中确定的检查信息。4.按照权利要求1的方法，其中所述处理步骤，包括测量每一掩模版厚度的步骤，且其中在所述加索引步骤中存储的数据，包括在所述测量步骤中确定的所述厚度。5.按照权利要求1的方法，其中所述处理步骤，包括清洁掩模版的步骤。6.按照权利要求1的方法，其中所述处理步骤，包括把掩模版与光刻设备初步对准的步骤。7.按照权利要求1的方法，其中所述处理步骤，至少包括对每一掩模版的识别、检查、测量厚度、清洁、和初步对准中的一种处理。8.按照权利要求1的方法，其中所述检索步骤，包括使用有多个夹持装置的机器人来检索请求的掩模版。9.按照权利要求8的方法，其中在所述检索步骤中，用有多个夹持装置的机器人，检索多于一块请求的掩模版，以便能在晶片上使多于一个图形曝光。10.按照权利要求1的方法，还包括在所述输入区中，把掩模版从大气压过渡到真空的步骤。11.按照权利要求1的方法，还包括在进行所述曝光之前，把请求的掩模版预先对准的步骤。12.按照权利要求1的方法，其中所述加索引步骤，包括把所述处理步骤中产生的信息，与每一掩模版储藏在真空库中的位置进行相关的数据，存储起来的步骤。13.一种方法，包括的步骤有设置有机器人的真空区；把真空输入区与该真空区连通，该真空输入区在掩模版被机器人送进真空区之前，接收掩模版；把第一真空夹持区与该真空区连通，该第一真空夹持区每次从机器人接收一块掩模版；把第二真空夹持区与该真空区连通，该第二真空夹持区同时夹持预定数量的从机器人接收的掩模版；和把曝光区与该真空区连通，该曝光区接收由机器人从第一或第二真空夹持区之一运送的掩模版。14.按照权利要求13的方法，还包括如下步骤用机器人同时夹持多块掩模版，供从第二真空夹持区到曝光区的所述运送。15.按照权利要求14的方法，还包括用机器人运送多块掩模版，在曝光区中按顺序使晶片曝光的步骤。16.按照权利要求13的方法，还包括在第一真空夹持区中初步对准掩模版的步骤。17.按照权利要求13的方法，还包括在第一真空夹持区中，收集有关掩模版信息的步骤。18.按照权利要求17的方法，其中所述收集步骤，是用条码阅读器进行的。19.按照权利要求17的方法，其中所述收集步骤，是用摄像机进行的。20.一种系统，包括主真空区；位于所述主真空区中的机器人；压力控制输入区，在所述机器人把掩模版送进所述主真空区之前，由该压力控制输入区接收掩模版；第一夹持区，该第一夹持区每次夹持一块从所述机器人接收的所述掩模版；与所述主真空区连通的第二夹持区，该第二夹持区同时夹持预定数量的从所述机器人接收的所述掩模版；和曝光区，该曝光区从所述机器人接收所述掩模版。21.按照权利要求20的系统，其中所述机器人有多个夹持装置，以便一次夹持多块掩模版，供从所述第二夹持区到所述曝光区的运送。22.按照权利要求20的系统，其中所述压力控制输入区，包括有预定压力的装入闸室装置。23.按...
【专利技术属性】
技术研发人员：圣第亚哥·戴尔·普尔图，玛库斯·F·A·欧林斯，
申请(专利权)人：ASML控股股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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