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一种光刻读技术的绝对光栅传感装置制造方法及图纸

技术编号:10316380 阅读:148 留言:0更新日期:2014-08-13 17:43
光刻录制作主光栅尺,将在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向划分多个编码区,每一编码区按2的N次方确定N条编码码道,在各编码区内按不重复编码方式编制二进码,任意选定一编码区为基准编码区并规定为1区,在基准编码区的各条码道上按二进制编码,在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向光刻二进制编码,按主光栅尺平移方向从N个0到N个1顺序重复光刻录,依据选定的基准编码1区,任选另一编码区为编码2区,同样按主光栅尺平移方向,依据基准编码1区的一个N个0到N个1所占物理宽度为一编码宽度,进行在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向光刻二进制编码,据此类推。规定的编码区号顺序,各编码区的光电接收光信号在主光栅尺的任一位置将是绝对不重复的唯一编码。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】光刻录制作主光栅尺,将在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向划分多个编码区,每一编码区按2的N次方确定N条编码码道,在各编码区内按不重复编码方式编制二进码,任意选定一编码区为基准编码区并规定为1区,在基准编码区的各条码道上按二进制编码,在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向光刻二进制编码,按主光栅尺平移方向从N个0到N个1顺序重复光刻录,依据选定的基准编码1区,任选另一编码区为编码2区,同样按主光栅尺平移方向,依据基准编码1区的一个N个0到N个1所占物理宽度为一编码宽度,进行在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向光刻二进制编码,据此类推。规定的编码区号顺序,各编码区的光电接收光信号在主光栅尺的任一位置将是绝对不重复的唯一编码。【专利说明】一种光刻读技术的绝对光栅传感装置所属
本专利技术涉及一种光刻读技术的绝对光栅传感装置,尤其是进行精密检测行程位置定位、转动角以及实现多维编码。
技术介绍
光栅在线检测位置状态是线性行程位置定位、转角位置定位和多维空间位置定位的常用检测方法。行程、位移检测,为防止检测过程中,光电信号失去、错码,被检测物发生移动或转动,就无法可靠准确地检测定位。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光刻读技术的绝对光栅传感装置,在热稳定性良好和膨胀系数极低的类似DVD或VCD光盘材质上,光刻录制作主光栅尺,将在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向划分多个编码区,每一编码区按2的N次方确定N条编码码道,在各编码区内按不重复编码方式编制二进码,任意选定一编码区为基准编码区并规定为1区,在基准编码区的各条码道上按二进制编码,在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向光刻二进制编码,按主光栅尺平移方向从N个0到N个1,再从N个0到N个1顺序重复光刻录,依据选定的基准编码1区,任选另一编码区为编码2区,同样按主光栅尺平移方向,依据基准编码1区的一个N个0到N个1所占物理宽度为一编码宽度,进行在与主光栅尺平...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:叶秋诗叶宏严石
申请(专利权)人:叶秋诗叶宏严石
类型:发明
国别省市:安徽;34

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