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光刻录制作主光栅尺，将在与主光栅尺平移方向垂直的线性方向划分多个编码区，每一编码区按2的N次方确定N条编码码道，在各编码区内按不重复编码方式编制二进码，任意选定一编码区为基准编码区并规定为1区，在基准编码区的各条码道上按二进制编码，在与主光...
该专利属于叶秋诗;叶宏;严石所有，仅供学习研究参考，未经过叶秋诗;叶宏;严石授权不得商用。

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