【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体装置、电子设备、电子仪器、半导体装置的制造方法和电子设备的制造方法,特别适用于半导体封装等的层叠结构上的技术。
技术介绍
在以往的半导体装置中,为了谋求节省半导体芯片安装时的空间,例如有,在专利文献1中所公开那样,通过载体基板三维安装半导体芯片的方法。专利文献特开平10-284683号公报然而,在通过载体基板三维安装半导体芯片的方法中,存在着发生载体基板的翘曲、降低三维安装时的连接可靠性的同时,很难层叠不同种类芯片等的问题。
技术实现思路
因此,本专利技术的目的是提供一种不降低连接可靠性的同时,可以层叠不同种类芯片三维安装的半导体装置、电子设备、电子仪器、半导体装置的制造方法和电子设备的制造方法。为了解决所述问题,根据本专利技术之一的半导体装置,其特征在于,包括第1载体基板;装载在所述第1载体基板上的第1半导体芯片;第2载体基板;装载在第2载体基板上的第2半导体芯片;突出电极,其连接所述第2载体基板和所述第1载体基板,以使所述第2载体基板保持在所述第1半导体芯片上;以包含所述突出电极的布置区域的形态,密封所述第2半导体芯片的密封部件。由此,密封 ...
【技术保护点】
一种半导体装置,其特征在于,包括:第1载体基板;装载在所述第1载体基板上的第1半导体芯片;第2载体基板;装载在第2载体基板上的第2半导体芯片;突出电极,其连接所述第2载体基板和所述第1载体基板,以使所 述第2载体基板保持在所述第1半导体芯片上;和密封部件,其以包含所述突出电极的布置区域的形态,密封所述第2半导体芯片。
【技术特征摘要】
JP 2003-3-18 2003-0742181.一种半导体装置,其特征在于,包括第1载体基板;装载在所述第1载体基板上的第1半导体芯片;第2载体基板;装载在第2载体基板上的第2半导体芯片;突出电极,其连接所述第2载体基板和所述第1载体基板,以使所述第2载体基板保持在所述第1半导体芯片上;和密封部件,其以包含所述突出电极的布置区域的形态,密封所述第2半导体芯片。2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于所述第2载体基板固定在第1载体基板上,使之横跨所述第1半导体芯片。3.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于所述密封部件是成模树脂。4.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于所述密封部件的侧壁和所述第2载体基板的侧壁的位置一致。5.根据权利要求1~4中的任意1项所述的半导体装置,其特征在于所述第1半导体芯片是倒装式安装在所述第1载体基板上。6.根据权利要求1~5中的任意1项所述的半导体装置,其特征在于多个所述第1半导体芯片是并列设在所述第1载体基板上。7.根据权利要求6所述的半导体装置,其特征在于所述第1半导体芯片是压焊接合方法接合在所述第1载体基板。8.根据权利要求1~7中的任意1项所述的半导体装置,其特征在于包含所述第1载体基板和装载在所述第1载体基板的所述第1半导体芯片的半导体装置,和包含所述第2载体基板和装载在所述第2载体基板的所述第2半导体芯片的半导体装置,在相同的温度下具有不同的弹性模量。9.根据权利要求1~8中的任意1项所述的半导体装置,其特征在于装载所述第1半导体芯片的第1载体基板是倒装式安装的球栅阵列;装载所述第2半导体芯片的第2载体基板是成模密封的球栅阵列或芯片尺寸封装。10.一种半导体装置,其特征在于,包括载体基板;装载在所述载体基板上的第1半导体芯片;装载在所述载体基板上的第2半导体芯片;突出电极,其连接所述第2半导体芯片和所述第1载体基板,以使所述第2半导体芯片保持在所述第1半导体芯片上;和密封部件,其以包含所述突出电极的布置区域的形态,密封所述第2半导体芯片。11.根据权利要求1所述的半导...
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