负载锁定室组件和晶片传送设备制造技术

一种负载锁定室组件，包括负载锁定室、可拆卸地固定到该负载锁定室上的子室以及在子室内的具有初级枢轴的第一自动臂，其中第一自动臂可将衬底从大致负载锁定室中心的位置移动到负载锁定室外部的位置。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空传送设备，特别涉及一种用于在两个具有不同压力的区域之间传送衬底而且基本上不会影响每个区域的压力的工艺和设备。
技术介绍
半导体刻蚀、清洗和淀积工艺通常采用希望在减压下例如在被排气(真空)室中进行的等离子体中间工艺。保持室内的压力在特殊预定范围内是非常重要的，以便避免半导体晶片制造工艺中的昂贵延迟和使制造的半导体晶片产品的质量的不希望的变化最小化。保持压力在预定范围内是很困难的，因为在器件制造期间，在连续或批量处理中从在大气条件下工作的外部源向处理室中连续地馈送衬底。为输送到处理室内的每个衬底或批量衬底控制和校准室压力所需要的时间大大增加了处理时间。由于控制和重新校准压力导致的产量减小提高了总器件成本。室辅助操作时间(overhead time)定义为涉及处理室的任何操作但不包括实际晶片处理时间所需要的时间。处理室辅助操作时间通常包括在交换每个晶片之后用于将处理室内的压力减小到所希望的处理压力，将晶片加热到预定温度，给处理室排气以便允许交换晶片和晶片本身交换的时间周期。使辅助操作时间最小将会提高生产率和降低总器件成本。用于将半导体晶片送进或送出用于连续处理的处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种负载锁定室组件，包括：负载锁定室；和与负载锁定室连通的子室，其中子室包括具有在子室中的初级枢轴的第一自动臂，其中第一自动臂可以将衬底从大致负载锁定室中心的位置移动到负载锁定室外部的位置。

【技术特征摘要】
US 2001-7-13 09/905,0311.一种负载锁定室组件，包括负载锁定室；和与负载锁定室连通的子室，其中子室包括具有在子室中的初级枢轴的第一自动臂，其中第一自动臂可以将衬底从大致负载锁定室中心的位置移动到负载锁定室外部的位置。2.根据权利要求1的负载锁定室组件，其中第一自动臂包括用于保持衬底的第一端效应器。3.根据权利要求1的负载锁定室组件，其中第一自动臂安装到可旋转轴套上，并包括包括细长外壳的第一连杆臂，该外壳具有第一端和第二端，其中第一连杆臂包括设置在外壳内的第一凸轮和连接到第一凸轮的第一四杆连杆机构，其中第一凸轮牢固地连接到同心地安装在第一轴套内的轴上，该轴限定自动臂的初级枢轴；和第一转换臂，它可旋转地连接到第一连杆臂的第二端并具有固定到该转换臂端部的第一端效应器，其中第一连杆臂围绕该轴的旋转使第一四杆连杆机构与第一凸轮配合，并围绕次级枢轴可旋转地移动第一转换臂。4.根据权利要求3的负载锁定室组件，其中第一连杆臂和第一转换臂完全装配在于室中。5.根据权利要求3的负载锁定室组件，其中第一四杆连杆机构包括连接到第一连杆臂主体和第一驱动器连杆并被第一凸轮驱动的第一凸轮跟随器连杆，连接到第一凸轮跟随器连杆的第一驱动器连杆，连接到第一驱动器连杆和第一连杆臂外壳的第一摇臂连杆。6.根据权利要求5的负载锁定室组件，其中第一摇臂连杆包括弹簧，其中该弹簧在第一凸轮跟随器连杆和第一凸轮之间保持压缩和接触。7.根据权利要求1的负载锁定室组件，还包括用于沿着垂直平面平移第一自动臂的第一电机。8.根据权利要求1的负载锁定室组件，还包括用于围绕初级枢轴旋转第一自动臂的第二电机。9.根据权利要求1的负载锁定室组件，还包括大致设置在负载锁定室中心的冷板。10.根据权利要求9的负载锁定室组件，其中冷板是温控的。11.根据权利要求1的负载锁定室组件，还包括可围绕初级枢轴旋转的第二自动臂。12.根据权利要求11的负载锁定室组件，还包括用于围绕初级枢轴移动第二自动臂的第三电机。13.根据权利要求11的负载锁定室组件，其中第一和第二自动臂可以彼此独立地旋转。14.根据权利要求11的负载锁定室组件，其中第一和第二自动臂连续从处理室取出第一衬底并将第二衬底放进处理室中。15.根据权利要求11的负载锁定室组件，其中第二自动臂包括包括细长外壳的第二连杆臂，所述外壳具有第一端和第二端，其中第二连杆臂包括设置在外壳内的第二凸轮和连接到第二凸轮的第二四杆连接机构，其中第二凸轮牢固地连接到第二轴套上，该第二轴套同轴地安装在第三轴套内，其中第三轴套的旋转限定了第二自动臂的初级枢轴；和可旋转地连接到第一连杆臂的第二端并具有固定到转换臂端部的第二端效应器的第二转换臂，其中第二连杆臂围绕第三轴套的旋转使第二四杆连杆机构与第二凸轮配合，并使第二转换臂围绕第三枢轴可旋转地移动。16.根据权利要求15的负载锁定室组件，其中第一和第二连杆臂以及第一和第二转换臂完全装配在子室中。17.根据权利要求11的负载锁定室组件，还包括用于使第一和第二臂沿着初级枢轴垂直地移动的第一电机、用于使第一自动臂围绕初级枢轴旋转的第二电机以及用于使第二自动臂围绕初级枢轴旋转的第三电机。18.一种自动臂组件，包括第一连杆臂，包括具有第一端和第二端的细长外壳、在第一端设置在外壳内的不回转的第一凸轮和可配合地连接到第一凸轮的第一四杆连杆机构，其中第一凸轮牢固地连接到同轴地安装在第一旋转轴套内的不回转的轴上，第一连杆臂连接到该第一轴套上并与该第一轴套可围绕限定初级枢轴的轴旋转；第一转换臂，其可旋转地连接到第一连杆臂的第二端并由四杆连杆机构可旋转地配合；和连接到该转换臂的第一端效应器，其中第一连杆臂和轴套围绕该轴的旋转使第一凸轮与第一四杆连杆机构机械地配合，并且使该转换臂围绕次级枢轴可旋转地移动。19.根据权利要求18的自动臂组件，其中第一四杆连杆机构包括连杆臂外壳；第一凸轮跟随器连杆组件，其包括可旋转地连接到细长外壳的部分，其中该连杆组件包括与第一凸轮接触的轴承；第一驱动器连杆，其在一端可旋转地连接到第一凸轮跟随器连杆并在另一端可旋转地连接到第一摇臂；和第一摇臂。20.根据权利要求18的自动臂组件，其中第一凸轮、第一凸轮跟随器连杆、第一驱动器连杆和第一摇臂连杆设置在第一连杆臂的外壳内。21.根据权利要求21的自动臂组件，其中第一摇臂连杆包括摇臂和弹簧，其中该弹簧连接到第一连杆臂的外壳和摇臂上，并且该摇臂可调节地连接到驱动器连杆上。22.根据权利要求21的自动臂组件，其中所述弹簧适于给该驱动器连杆提供拉力负载，用于保持第一凸轮跟随器连杆和第一凸轮之间的恒定接触。23.根据权利要求21的自动臂组件，其中所述弹簧适用于被伸长，以便允许第一凸轮跟随器连杆组件被旋转脱离与第一凸轮的机械接触。24.根据权利要求18的自动臂组件，还包括用于在垂直方向移动第一连杆臂的第一电机。25.根据权利要求18的自动臂组件，其中自动臂组件可基本上使衬底从大致负载锁定室中心的位置线性移动到负载锁定室外部的位置。26.根据权利要求18的自动臂组件，还包括第二连杆臂，包括具有第一端和第二端的细长外壳、在第一端设置在外壳内的不回转的第二凸轮和由第二凸轮驱动的第二四杆连杆机构，其中第二凸轮牢固地连接到同轴地围绕可旋转的第一轴套和轴安装的不回转的第二轴套上，其中该第二连杆臂连接到围绕该第二轴套设置的可旋转的第三轴套；第二转换臂，可旋转地连接到第二连杆臂的第二端并可旋转地与第二四杆连杆机构配合；和连接到第二转换臂的第二端效应器，其中第二连杆臂围绕(第二)轴的旋转使第二凸轮与第二四杆连杆机构配合，并使第二转换臂可旋转地围绕次级枢轴移动。27.根据权利要求26的自动臂组件，其中第一和第二连杆臂可围绕初级枢轴独立地旋转。28.根据权利要求26的自动臂组件，其中第二四杆连杆机构包括第二连杆臂外壳；第二凸轮跟随器连杆组件，其包括可旋转地连接到所述外壳上的部分，其中该第二连杆组件包括与第二凸轮接触的轴承；第二驱动器连杆，其在一端可旋转地连接到第二凸轮跟随器连杆并在另一端可旋转地连接到第二摇臂；和第二摇臂。29.根据权利要求26的自动臂组件，其中第二凸轮、第二凸轮跟随器组件、第二驱动器连杆和第二摇臂连杆设置在第二连杆臂的外壳内。30.根据权利要求26的自动臂组件，还包括适于在垂直方向平移第一连杆臂和第二连杆臂的第一电机。31.根据权利要求26的自动臂组件，其中第二电机可旋转地配合到第一轴套，以便接合用于传送第一晶片的第一端效应器，其中第三电机可旋转地配合到第三轴套，以便接合用于连续传送第二晶片的第二端效应器。32.一种晶片传送设备，用于在具有不同压力的两个区域之间传送衬底，而基本上不会影响每个区域的压力，该晶片传送设备包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：D金纳，D理查森，
申请(专利权)人：艾克塞利斯技术公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]