液晶显示器图案形成方法及制造TFT阵列基板的方法技术

液晶显示器图案形成方法及制造ＴＦＴ阵列基板的方法。液晶显示器图案形成方法用于通过使用微转印形成图案来减少掩模数，并且该方法包括：提供一其上形成有待构图的层的基板；提供具有对应于希望图案的凹版部分的主基板；将有机材料填入位于所述主基板的第一侧的所述凹版部分中；使所述主基板与所述基板接触；通过从所述主基板的第二侧照射光来使所述有机材料硬化；通过将所述主基板与所述基板分开，来将硬化的有机膜图案转印到所述待构图的层的表面上；以及通过使用所述有机膜图案作为掩模，对所述待构图的层进行刻蚀。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于形成液晶显示器的图案的方法，更具体来说，涉及用于使用微转印(microtransfer)方法(一种非光刻方法)来形成液晶显示器的图案的方法，以及使用其制造液晶显示器的薄膜晶体管(TFT)阵列基板的方法。
技术介绍
随着对信息显示的关注和对便携式信息介质的需求增加，对于替代作为现有显示器的阴极射线管(CRT)的光平板显示器(FPD)的研究正在蓬勃开展。具体来说，这种平板显示器中的液晶显示器是用于使用液晶的光学各向异性来显示图像的装置，并且由于其优良的分辩率、彩色显示和图像质量而正被积极地用于笔记本计算机或台式监视器。一般的液晶显示器通过使用电场控制液晶的透光率来显示图像。为此，液晶显示器主要包括滤色器基板、阵列基板以及形成在滤色器基板与阵列基板之间的液晶材料层。图1是用于根据现有技术的液晶显示器的阵列基板的部分平面图。在图1中，阵列基板10包括在像素区上形成的像素电极18；在基板10上纵横布置的选通线16和数据线17；以及薄膜晶体管(TFT)20，其是在选通线16与数据线17的交叉点处形成的开关元件。薄膜晶体管20包括连接到选通线16的栅电极21、连接到数据线1 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于形成液晶显示器的图案的方法，包括：提供一基板，其上形成有待构图的层；提供具有对应于希望图案的凹版部分的主基板；将有机材料填入位于所述主基板的第一侧的所述凹版部分中；使所述主基板与所述基板接触； 通过从所述主基板的第二侧照射光来使所述有机材料硬化；通过将所述主基板与所述基板分开，将硬化的有机膜图案转印到所述待构图的层的表面上；以及通过使用所述有机膜图案作为掩模，对所述待构图的层进行刻蚀。

【技术特征摘要】
KR 2003-9-8 10-2003-00627481.一种用于形成液晶显示器的图案的方法，包括提供一基板，其上形成有待构图的层；提供具有对应于希望图案的凹版部分的主基板；将有机材料填入位于所述主基板的第一侧的所述凹版部分中；使所述主基板与所述基板接触；通过从所述主基板的第二侧照射光来使所述有机材料硬化；通过将所述主基板与所述基板分开，将硬化的有机膜图案转印到所述待构图的层的表面上；以及通过使用所述有机膜图案作为掩模，对所述待构图的层进行刻蚀。2.如权利要求1所述的方法，其中所述主基板包括一具有凹版部分的铸模。3.如权利要求2所述的方法，其中所述铸模由透明弹性树脂制成。4.如权利要求3所述的方法，其中所述透明弹性树脂是聚二甲基硅氧烷。5.如权利要求1所述的方法，其中所述有机材料是感光材料。6.如权利要求5所述的方法，其中所述感光材料是光刻胶。7.如权利要求1所述的方法，其中所述待构图的层是绝缘层、半导体层或金属层。8.如权利要求1所述的方法，其中所述主基板的第二侧是所述第一侧的相对侧。9.如权利要求1所述的方法，其中通过旋涂法来进行所述有机材料的填充。10.如权利要求1所述的方法，其中通过喷墨印刷法进行所述有机材料的填充。11.如权利要求1所述的方法，其中通过刀喷法进行所述有机材料的填充。12.一种用于制造液晶显示器的薄膜晶体管阵列基板的方法，包括提供第一基板；在所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：金珍郁，
申请(专利权)人：LG菲利浦LCD株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]