芯片夹心装置之互连及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术系关于一种芯片夹心结构之互连，藉此芯片可被电及机械地面对面地连接彼此，及系关于一种其制造方法。本发明专利技术意欲产生更省成本地及更有效地制造的互连。此可凭借针或套筒形式的接触组件（３）被排列于该芯片（１、２）间的事实，此接触组件产生该半导体芯片（１、２）的接触垫（４、５）间的电及机械互连及被焊接至半导体芯片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术系关于一种芯片夹心结构之互连，藉此芯片可被电及机械地面对面地连接彼此，及系关于一种其制造方法。
技术介绍
已发现紧密掌上装置如小型个人计算机、可携式卫星导航系统、数据库、电话等，之需求固定地持续增加。这些产品需要具高储存容量的特别小内存及必须实现增加的切换频率及功率密度而不会引起其它问题。为能够符合这些要求，近来利用一般称的”芯片夹心结构”。在此种芯片夹心结构的情况下，在晶圆位准的芯片被堆栈以形成3-D芯片系统及较佳为由在个别芯片及平面之间产生布线架桥接触连接彼此，一个此种实例揭示于日本专利2002164499 A。这些习知布线具高损失的缺点及所以非常不合适用于具高时脉频率的新一代芯片。而且，该布线连结技术为技术上不合适用于3-D芯片系统因为产生布线架桥的费用为可观的及当接触密度增加时在布线架桥间短路的风险增加。同时，芯片夹心结构已知在于芯片被面对面地堆栈，在芯片间直接连接的制造为相当复杂的。为进行此目的，首先具厚度约5微米的铜层被施用于要连接彼此的该表面，之后，该铜层藉由标准光微影技术图样化，在两芯片间的中间连接的位置被定义，之后，具数微米的相当小层厚度之焊剂被施用及两个表面接着彼此相压及在温度作用下彼此连接(INFINEON Galaxy，No.6，十二月2002，14页”ChipSandwich revolutioniert Halbleitertechnologie”)。以此方式，可实现在芯片间较短的中间连接，由此使得时脉频率超过200GHz。然而，实现这些中间连接的费用因为所需的光微影而为可观的。因而必须发展新颖的连接技术以能够更省成本地及更有效地产生芯片夹心装置间的互连。
技术实现思路
本专利技术因而系基于避免先前技艺所具有的缺点之目的。本专利技术所基于目的系凭借针或套筒形式的接触组件被排列于芯片间的事实而达到，此接触组件产生半导体芯片的接触垫间的电及机械互连及被焊接至半导体芯片。该针或套筒形式的接触组件确保在芯片间的最短可能连接及同时使机械固定芯片夹心组合可被产生，且完全地不需光微影地产生该接触组件。为简化该装设，嵌入该接触组件于挠性基板，其包括如挠性聚合物基板。本专利技术进一步细节提供该接触组件以一种类似于要被接触连接彼此的该芯片的FBGA结构之方式排列于该接触垫的间距。为达到该接触组件的重新布线及/或使得至该外围单元如印刷电路板的电接触连接被进行，更提供嵌入铜传导轨于挠性聚合物基板，至少一些接触组件电连接至该导轨。具该铜传导轨的挠性聚合物基板因而被用做挠性印刷电路板以电连接至外部组合。本专利技术特别细节提供该挠性基板以牺牲层形成，此表示该牺牲层可在生芯片夹心完成后移除。本专利技术的特别特征为在于该接触组件被垂直地或是在芯片间不会造成任何问题地倾斜地排列。此使得其可能补偿要彼此连接的该接触的些微位置偏差。本专利技术要基于的目的更进一步由一种方法达到，其特征在于微通孔被引入在芯片结合垫的间距的挠性基板内，在于该微通孔接着以电传导材料填充，至少该微通孔的壁被涂覆，形成针或套筒形式的接触组件。产生该接触组件的方法可被非常省成本地进行且不需任何光微影。在本专利技术发展中，该挠性基板由在两侧蚀刻而薄化，故该接触组件在两侧自该挠性基板突出。该基板藉由相关于该接触组件为选择性的电浆蚀刻而薄化。在进一步细节中，该挠性基板在芯片间的电及机械连接制造后由焊接移除，在此情况下，在芯片间的空间可接着以适当抗蚀物质填充。该空间有利地由使用毛细管力填充。本专利技术的进一步细节提供藉由光微影及电浆蚀刻引入微通孔于该挠性基板。做为替代方案，该微通孔亦由压制被机械地引入。在进一步有利发展中，该挠性基板为挠性印刷电路板，其铜传导轨在该微通孔的金属化期间接触连接。此使得其可以简单方式达到芯片接触的重新布线及亦进行外围装置的连接。根据本专利技术接触组件的特别优点在于它们可以低费用及以习知技术制造，及在于可免除铜的化学沉积，其可由电解直接金属化取代，该微通孔可由电浆蚀刻同时简单地制造。附图说明本专利技术将使用示例具体实施例详细解释于下文，在相关图示中第1图显示藉由根据本专利技术接触组件芯片电及机械地连接彼此的芯片夹心装置，该接触组件被部分嵌入于挠性基板中；及第2图显示根据第1图的芯片夹心装置其中该挠性基板被移除。具体实施例方式第1图说明在面对面装置的两个芯片1、2间的根据本专利技术互连，其藉由针或套筒形式的接触组件3彼此连接。为进行此目的，该接触组件3被焊接至在该芯片1、2的接触垫4、5，由此产生在该芯片的接触垫4、5之电及机械中间连接。该针或套筒形式的接触组件3确保在该芯片1、2间的最短可能连接及同时产生机械固定复合物以形成芯片夹心6。为简化该装设，该接触组件3被嵌入于挠性基板7，其包括如挠性聚合物基板。在此情况下，该接触组件3以一种类似于要被接触连接彼此的该芯片的FBGA结构之方式排列于该接触垫4、5的间距。铜传导轨8亦被嵌入于该挠性聚合物基板7以使得至该外围组件如印刷电路板的电接触连接被进行，该铜传导轨8电连接至相对应接触组件3。具该铜传导轨8的挠性聚合物基板7因而被用做挠性印刷电路板以电连接至外部组合。该挠性基板7亦以牺牲层使用，其中该牺牲层可在该芯片夹心6完成后移除。特别特征为在于该接触组件3被垂直地或是在该芯片1、2间没有任何问题地倾斜地而排列。此使得其可能补偿要彼此连接的该接触的些微位置偏差。此种情况发生于若来自不同制造商的芯片1、2，如内存及控制器芯片，意欲被连接彼此。为产生根据本专利技术接触组件3，微通孔被引入在该芯片1、2接触垫4、5的间距的挠性基板7内，该微通孔接着以电传导材料填充，至少该微通孔的壁被涂覆，其结果为产生针或套筒形式的接触组件3。该微通孔系藉由光微影及电浆蚀刻被引入于该挠性基板7，该微通孔亦由压制被机械地产生。该挠性基板7系以一种方式由选择电浆蚀刻后续于两侧薄化使得该接触组件3在两侧自该挠性基板7突出，该接触组件3接着与在该芯片1、2间与该挠性基板7定位置及接着被焊锡。在该芯片1、2间的电及机械连接制造后可移除该挠性基板7，在此情况下，在该芯片1、2间的空间可接着利用毛细管力以适当抗蚀物质填充。该挠性基板7亦可被用作挠性印刷电路板，其铜传导轨在该微通孔的金属化期间接触连接。至外围装置的连接可以更简单方式进行。参考符号清单1芯片2芯片3接触组件4接触垫5接触垫6芯片夹心7挠性基板8铜传导轨权利要求1.一种芯片夹心结构之互连，藉此该芯片可被电及机械地面对面地连接彼此，其特征在于针或套筒形式的接触组件(3)被排列于该芯片(1、2)之间，此接触组件产生该半导体芯片(1、2)的接触垫(4、5)间的电及机械互连及被焊接至该半导体芯片。2.根据权利要求第1项的互连，其特征在于该接触组件(3)被嵌入于挠性基板(7)。3.根据权利要求第2项的互连，其特征在于该挠性基板(7)包括挠性聚合物基板。4.根据权利要求第1至3项其中一项的互连，其特征在于该接触组件(3)被排列于要彼此接触连接的该芯片(1、2)的接触垫(4、5)的间距。5.根据权利要求第1至4项其中一项的互连，其特征在于铜传导轨(8)被嵌入于该挠性聚合物基板(7)，至少一些该接触组件(3)电连接至该导轨。6.根据权利要求第5项的互连，其特征在于具该铜传导轨(8)的挠性聚合物基板(7)被本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种芯片夹心结构之互连，藉此该芯片可被电及机械地面对面地连接彼此，其特征在于针或套筒形式的接触组件（３）被排列于该芯片（１、２）之间，此接触组件产生该半导体芯片（１、２）的接触垫（４、５）间的电及机械互连及被焊接至该半导体芯片。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：A汉科，
申请(专利权)人：因芬尼昂技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]