一种芯片拾取装置制造方法及图纸

技术编号:13542850 阅读:99 留言:0更新日期:2016-08-18 04:11
本发明专利技术提供了一种芯片拾取装置,其可以有效避免在拾取芯片时对芯片边缘敏感区域的划伤和压伤,从而提升芯片的性能和可靠性及产品良率,进一步提升产品的综合性价比,包括安装在机械手上的芯片吸嘴,所述芯片吸嘴的上端连接有吸气管道,所述吸气管道连接真空泵,其特征在于:在所述芯片吸嘴内部、对应所述芯片吸嘴与芯片的边沿的敏感区域接触的位置处设置有凹槽,使得所述芯片吸嘴与所述芯片的边沿的敏感区域之间相互分离,且所述芯片吸嘴能够吸起所述芯片。

【技术实现步骤摘要】
201610379339

【技术保护点】
一种芯片拾取装置,包括安装在机械手上的芯片吸嘴,所述芯片吸嘴的上端连接有吸气管道,所述吸气管道连接真空泵,其特征在于:在所述芯片吸嘴内部、对应所述芯片吸嘴与芯片的边沿的敏感区域接触的位置处设置有凹槽,使得所述芯片吸嘴与所述芯片的边沿的敏感区域之间相互分离,且所述芯片吸嘴能够吸起所述芯片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:唐晓
申请(专利权)人:爱普科斯科技无锡有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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