用于制造平板显示器件的方法和设备技术

一种制造平板显示器件的方法，包括：在薄膜上涂布抗蚀剂；形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模；对所述凸起的端面进行处理；将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分开；以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平板显示器件，具体涉及用于制造平板显示器件的方法和设备。
技术介绍
近几年，显示视觉信息的显示设备的重要性逐渐提高。过去，阴极射线管使用非常广泛。但是，阴极射线管重量和体积都太大。液晶显示(LCD)器件、场致发射显示(FED)器件、等离子显示板(PDP)和电致发光(EL)器件都是市场上能够得到的薄型平板显示器件。液晶显示器件很轻而且其大规模生产能力在不断提高。因此，液晶显示器件在很多领域很快取代了阴极射线管。利用薄膜晶体管(以下称为“TFT”)来驱动液晶单元的有源矩阵型液晶显示器件具有很好的画质和较低的功耗。有源矩阵型液晶显示器件很快发展成了大尺寸和高分辨率。另外，大规模制造技术也提高了这种液晶显示器件的成品率。参考图1，有源矩阵型液晶显示器件包括滤色器阵列基板22和TFT阵列基板23。在TFT阵列基板23的底面上贴有偏振片17。在滤色器阵列基板22和TFT阵列基板23之间有液晶层15。图1示出的液晶显示器件只表示有源矩阵型液晶显示器件的一部分。在滤色器阵列基板22中，在上玻璃基板12的底面上形成有滤色器单元13和公共电极14。在上玻璃基板12的上表面上贴有偏振片1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造平板显示器件的方法，包括：在薄膜上涂布抗蚀剂；形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模；对所述凸起的端面进行处理；将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图 案分开；以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。

【技术特征摘要】
KR 2003-12-27 10-2003-00981221.一种制造平板显示器件的方法，包括在薄膜上涂布抗蚀剂；形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模；对所述凸起的端面进行处理；将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案；将所述软模与所述抗蚀剂图案分开；以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。2.根据权利要求1所述的方法，其中对所述软模进行的处理包括对所述凸起的端面进行曝光；向曝光的凸起端面供应臭氧O3；以及将被供应了臭氧的凸起的端面暴露于自组材料中。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述凸起的端面根据所述自组材料的端基而具有亲水性和疏水性中的一种。4.根据权利要求3所述的方法，其中所述的端基包括-OH、-COOH或-COH中的至少一种，并且所述凸起的端面是亲水性的。5.根据权利要求3所述的方法，其中所述凸起的端面是疏水性的，并且所述端基包括-Cl、-F、-I和-CH3中的至少一种。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述平板显示器件包括液晶显示(LCD)器件、场致发射显示(FED)器件、等离子显示板(PDP)和电致发光(EL)器件中的任意一种。7.根据权利要求1所述的方法，还包括在将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案时对所述抗蚀剂进行烘烤。8.根据权利要求1所述的方法，还包括在刻蚀所述薄膜图案之后剥离所述抗蚀剂图案。9.根据权利要求1所述的方法，其中对所述端面的处理在所述端面上形成了排斥层，该排斥层具有对所述抗蚀剂的斥力。10.根据权利要求1所述的方法，其中形成软模包括使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚氨酯以及交联酚醛树...

【专利技术属性】
技术研发人员：金珍郁，
申请(专利权)人：LG菲利浦LCD株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]