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一种制造平板显示器件的方法,包括:在薄膜上涂布抗蚀剂;形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模;对所述凸起的端面进行处理;将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案;将所述软模与所述抗蚀剂图案分开;以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜...该专利属于LG.菲利浦LCD株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过LG.菲利浦LCD株式会社授权不得商用。
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一种制造平板显示器件的方法,包括:在薄膜上涂布抗蚀剂;形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模;对所述凸起的端面进行处理;将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案;将所述软模与所述抗蚀剂图案分开;以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜...