成膜源、成膜装置及方法、有机EL面板及其制造方法制造方法及图纸

一种成膜源、成膜装置及方法、有机ＥＬ面板及其制造方法。成膜源（１０）具有：排出口（１１），配置在成膜室（２）内，其开口朝向基板（３）的被成膜面（３Ａ）；材料收容部（１２），配置在成膜室（２）外面，具有可以更换的材料容器（１２Ａ↓［１］、１２Ａ↓［２］）；加热装置（１３），用于加热材料容器内的成膜材料；排出通道（１４↓［１］、１４↓［２］）和旁路通道（１５↓［１］、１５↓［２］），并且，至少在排出通道（１４↓［１］、１４↓［２］）的分支点的下游侧和旁路通道（１５↓［１］、１５↓［２］）上，设置了对成膜材料的流通进行切断或打开、或者可变调整的流通限制阀门（Ｖ１～Ｖ４）。由此，能够以所期望的状态长时间地连续进行确保优质成膜的成膜工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及成膜源、成膜装置、成膜方法、有机EL面板的制造方法和有机EL面板。
技术介绍
在基板上形成固体材料薄膜的成膜装置，一般具有下述结构，在真空或减压状态下的成膜室(成膜仓)内配备收容有成膜材料的成膜源，将基板的被成膜面配置成面对该成膜源的材料排出口。以真空蒸镀装置为例，具有下述结构，将设置在真空仓内的蒸镀源加热，使从该蒸镀源的蒸发口排出的蒸镀材料形成于被配置在同一真空仓内的基板上。在这种成膜装置或成膜源的构成中，由于在每次向成膜源供给成膜材料时，需要破坏成膜仓内的真空状态，所以存在着在再次开始成膜作业时，为了使成膜仓内部返回所要求的气氛需要花费一定的时间，不能高效地进行成膜作业的问题。另一方面，关于在显示器和照明领域中最近倍受关注的有机EL面板的制造，目前的情况是，具有在基板上形成第1电极、在其上形成由有机化合物构成的有机材料层薄膜、再在其上形成第2电极的工序，在形成该有机材料层或电极层的工序中，由于是进行使用所述成膜装置的成膜工序，所以，在从实现该有机EL面板的量产化的方面考虑，向所述成膜源的材料供给成为了瓶颈，因此不能确保良好的生产性。并且，作为有机EL面板的构成要素的有机EL元件，有利用功能不同的多层膜形成有机材料层的情况，另外，在多颜色显示的有机EL面板中，由于在一个基板上形成由不同发光材料构成的有机EL元件，所以需要对单一基板利用不同材料进行成膜，但是根据上述的成膜装置或成膜源，现实中在形成不同材料的薄膜时共用一个成膜仓是很困难的事情，所以必然并列设置多个成膜仓，因而存在着设备大型化、并且生产工序复杂的问题。对此，下述专利文献1公开的蒸镀装置，在成膜仓外面配置一个或一个以上可以拆下的蒸镀源，在成膜仓内配置具有蒸发口的蒸气分配器，将包括阀门的蒸气输送装置连接在各蒸镀源和蒸气分配器之间。这样，在向蒸镀源供给或更换材料时，不需要每次破坏成膜仓内的真空状态，所以能够缩短作业时间，并且只要把蒸镀源切换为不同材料，可以在同一成膜仓中进行不同材料的成膜。特开2003-317957号公报但是，在采用上述现有技术的情况下，如果追求成膜工序的作业性和作业精度的提高、或者有机EL面板的生产性和成品率的提高，则存在以下问题。即，在通过加热使成膜材料升华或蒸发并排出的成膜源中，不能在开始加热后马上以所期望的状态排出成膜材料，在能够获得所期望的排出状态之前需要一定时间。并且，在已停止加热的情况下，不能马上停止成膜材料的排出，需要经过规定的时间逐渐停止排出。另外，在成膜源中收容的材料剩余减少的情况下，排出材料的速率降低，不能保持所期望的排出状态。即使想通过加热来控制成膜材料的排出状态，如上所述，在所加热的材料升华或蒸发并排出之前花费时间，形成包括较大的时间常数的控制系统，所以很难仅利用加热状态来有效控制成膜材料的排出状态。对此，在上述的现有技术中，在成膜材料的材料输送装置设置阀门，通过节制该阀门来调整排出状态。但是，在把从配置在成膜室外面的成膜源排出的成膜材料引导到成膜室内的排出口的气密输送装置设置阀门的情况下，即使在节制阀门的同时降低加热程度，材料的升华或蒸发的状态也不会马上降低，所以通过节制阀门，成膜源内的压力上升，所收容的材料因分解等产生变质，不能形成优质的薄膜，并且压力超过可以控制的范围，不能进行良好速率的控制。即，在上述的现有技术中，在利用阀门进行排出状态的控制(速率控制等)时，由于成膜源内的材料品质的降低和控制压力范围的超出，存在不能进行优质的成膜的问题。并且，根据成膜状况，有时必须紧急停止供给从成膜源向作为被成膜对象的基板输送的材料，在该情况下，如果单纯地切断阀门，则成膜源内的压力上升，成膜源内的材料变质，超出控制压力范围，如果使用该成膜源再次开始成膜，则不能进行优质的成膜。为了避免这种情况，认为可以在排出口和被成膜对象之间设置关闭部件(闸门)，但是这样一来，大量的成膜材料附着在关闭部件上，不仅不能够再次顺畅地开始运转，而且存在着难以回收所附着的成膜材料的问题。由于形成有机EL面板的有机材料层的成膜材料昂贵，所以提高未被提供到成膜上的成膜材料的回收率，在降低生产成本方面成为重要事项。另一方面，在上述的现有技术中，在不利用阀门切断输送装置的状态下，进行配置在成膜室外面的成膜源的更换的情况下，虽然是等到成膜源中的成膜材料已被排空时，才把成膜源更换为新的成膜源，但是如上所述，由于在更换前后不能获得所期望的排出状态，并且成膜作业被临时中断，所以虽然能够进行成膜源的更换，但不能在长时间连续保持所期望的成膜状态的同时持续进行成膜作业。如果把具有这种问题的以往的成膜装置或成膜源用于有机EL面板的制造中，则由于不能连续地长时间保持所期望的成膜状态来进行作业，所以制约了面板制造的生产性的提高。并且，如果采用这种现有技术进行长时间的成膜，则由于不能持续保持优质的成膜材料的排出状态，所以存在着不能获得高品质的有机EL面板的问题。
技术实现思路
本专利技术将解决这种问题作为一个课题。即，本专利技术的目的在于，可以在所期望的状态下长时间地连续进行能够获得优质的成膜的成膜工序，并且在供给或更换成膜材料时和控制成膜材料的排出状态时，不会造成成膜材料的品质降低，提高有机EL面板制造的生产性，并且通过提高成膜精度提高产品成品率，等等。为了达到上述目的，本专利技术至少包括以下的方案。提供一种在把室内设置成真空或减压状态的成膜室内、将升华或蒸发的成膜材料成膜于基板的被成膜面上的成膜装置的成膜源，其特征在于，具有排出口，配置在所述成膜室内，朝向所述基板的被成膜面排出所述成膜材料；材料收容部，配置在所述成膜室的外面，具有收容所述成膜材料的材料容器；加热单元，加热所述材料容器内的成膜材料；排出通道，将所述排出口和所述材料收容部气密连通；旁路通道，从该排出通道分支，把朝向所述排出口的成膜材料引导向其他方向，并且至少在所述排出通道的所述分支点的下游侧和所述旁路通道上设有对成膜材料的流通进行切断或打开、或者可变调整的流通限制单元。提供一种成膜方法，使排出口面对被配置在把室内设置成真空或减压状态的成膜室内的基板的被成膜面，使在配置于所述成膜室外面的材料收容部被加热而升华或蒸发的成膜材料经由排出通道从所述排出口排出，在所述被成膜面上形成膜，其特征在于，设置从所述排出通道分支、把朝向所述排出口的成膜材料引导到其他方向的旁路通道，在所述排出通道的所述分支的下游侧切断或限制成膜材料的流通时，使所述旁路通道开始流通。附图说明图1是表示本专利技术的一个实施方式的成膜源或采用该成膜源的成膜装置的基本结构的说明图。图2是说明本专利技术的实施方式的成膜源或采用该成膜源的成膜装置的说明图，表示所述实施方式的具体示例。图3是说明本专利技术的其他实施方式的成膜源或采用该成膜源的成膜装置的说明图。图4是表示本专利技术的实施方式的有机EL面板的示例说明图。图中1成膜装置；2成膜室；3基板；3A被成膜面；4a、4b检测器(检测单元)；5控制部(控制单元)；10成膜源；11排出口；12材料收容部；12A、12A1、12A2材料容器；13加热装置(加热单元)；14、141、142排出通道；15、151、152旁路通道；14P、15P检测口；16成膜材料收集单元；V1、V2、V3、V4流通限制阀门(流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜源，是一种在把室内设置成真空或减压状态的成膜室内、将升华或蒸发的成膜材料成膜于基板的被成膜面上的成膜装置的成膜源，其特征在于，具有：排出口，配置在所述成膜室内，朝向所述基板的被成膜面排出所述成膜材料；材料收容部，配置 在所述成膜室的外面，具有收容所述成膜材料的材料容器；加热单元，加热所述材料容器内的成膜材料；排出通道，将所述排出口和所述材料收容部气密连通；旁路通道，从该排出通道分支，把朝向所述排出口的成膜材料引导向其他方向，　 　并且，至少在所述排出通道的所述分支点的下游侧和所述旁路通道上设有对成膜材料的流通进行切断或打开、或者可变调整的流通限制单元。

【技术特征摘要】
JP 2004-3-30 JP2004-0999441.一种成膜源，是一种在把室内设置成真空或减压状态的成膜室内、将升华或蒸发的成膜材料成膜于基板的被成膜面上的成膜装置的成膜源，其特征在于，具有排出口，配置在所述成膜室内，朝向所述基板的被成膜面排出所述成膜材料；材料收容部，配置在所述成膜室的外面，具有收容所述成膜材料的材料容器；加热单元，加热所述材料容器内的成膜材料；排出通道，将所述排出口和所述材料收容部气密连通；旁路通道，从该排出通道分支，把朝向所述排出口的成膜材料引导向其他方向，并且，至少在所述排出通道的所述分支点的下游侧和所述旁路通道上设有对成膜材料的流通进行切断或打开、或者可变调整的流通限制单元。2.根据权利要求1所述的成膜源，其特征在于，在所述旁路通道的末端设有成膜材料收集单元。3.根据权利要求2所述的成膜源，其特征在于，所述成膜材料收集单元被设置在所述成膜室的外面。4.根据权利要求1～3中任一项所述的成膜源，其特征在于，所述材料收容部具有可以拆下或更换的多个材料容器，所述排出通道设有对应该每个材料容器的多个通道，该多个排出通道与同一个所述排出口连通。5.根据权利要求1～4中任一项所述的成膜源，其特征在于，在所述排出通道和所述旁路通道的一方或双方设有检测成膜材料的流通状态的检测口，并且设有检测从该检测口排出的成膜材料的检测单元。6.根据权利要求5所述的成膜源，其特征在于，具有控制所述流通限制单元的控制单元，该控制单元根据所述检测单元的检测结果控制所述流通限制单元。7.一种成膜装置，其特征在于，具有权利要求1～6中任一项所述的成膜源，和能够把室内设置成真空或减压状态的所述成膜室。8.一种成膜方法，使排出口面对被配置在把室内设置成真空或减压状态的成膜室内的基板的被成膜面，使在配置于所述成膜室外面的材料收容部被加热而升华或蒸发的成膜材料经由排出通道从所述排出口排出，在所述被成膜面上形成膜，其特征在于，设置从所述排出通道分支、把朝向所述排出口的成膜材料引导到其他方向的旁路通道，在所述排出通道的所述分支的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：安彦浩志，增田大辅，梅津茂裕，
申请(专利权)人：日本东北先锋公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]