曝光装置和曝光方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种曝光装置和曝光方法，通过设置：光源装置（５）；放置基板Ｋ的平台（３）；可对平台以匀速度进行相对移动来设置，且在平台的上部，被配置成俯视图为对相对移动的方向（Ｘ）形成格外倾斜的列，被构成为用激光将由各ＤＭＤ（７２）形成的标记显示（７２Ｍ）照射在基板上的多个曝光单元（７）；以及平台与曝光单元每相对移动从相邻的曝光单元中的一个曝光单元的曝光结束位置（Ｐ０）至另一曝光单元的曝光开始位置（Ｐ１）的距离（Ｄ１），按照从最初通过基板上的曝光单元（７Ａ）朝向最后通过基板上的曝光单元（７Ｃ）的顺序，转换各曝光单元照射在基板上的激光的转换装置（６５、７５），以短节拍时间和低成本的装置构成实现品质优良的曝光像。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在光致抗蚀剂涂敷基板上用激光进行曝光的。特别是，涉及不设置掩模进行曝光，即所谓无掩模的。
技术介绍
液晶面板制造工序和半导体制造工序中有一道曝光工序。例如，在液晶面板制造的曝光工序中，在涂敷了光致抗蚀剂的玻璃基板上，进行图形曝光、标记曝光和周边曝光等。在图形曝光中，由图形曝光装置对电路图形进行曝光。在标记曝光中，由识别曝光装置对用于履历管理或品质管理等的基板识别码或面板识别码等进行曝光。在周边曝光中，由周边曝光装置对基板周边部的不需要的抗蚀剂部分进行曝光。在这些各种曝光结束后，将玻璃基板运至由显影装置进行显影处理的显影工序中。以往，作为进行标记曝光的方法和装置的专利技术，本申请人例如提出专利第3547418号公报中所述的专利技术。在上述现有的专利技术中，如图11(A)所示，在沿X方向移动的平台31上的玻璃基板上进行标记曝光时，用光束分离器等分支装置34将从光源32发出的激光33分支成多束，通过用照射装置35照射进行了分支的激光33来曝光。因此，为了增加形成标记像36的部位，在增加激光33的照射数时，由于增加分支数，减弱了每一条激光33的强度。因此，存在需要或者增大光源32的输出，或者增加光源32的数目，从而增高了装置成本的问题。作为不增加光源32的输出或数目，并实现向更多的标记部位曝光的方法，例如考虑图11(B)所示的方法。即，这是用光纤光缆41连接光源32与各照射装置35，用转换器42依次按时间序列转换供给各照射装置35的激光的方法。可是，在采用该方法时，由于在从各照射装置35输出激光的定时中产生偏移，故如果仍使平台31移动，则在玻璃基板上形成的标记像36在Y方向并不排成一列，而是倾斜地排列。因此，通过每当从各照射装置35照射激光时使平台31停止，可使这样的不良情形消失，但又产生节拍时间加长这样的其它问题。另外，在上述现有的专利技术中，由于使激光在Y方向扫描，以点单位进行标记像的曝光，故曝光位置产生分散性，无法形成清晰的标记像。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的问题进行的，作为课题，提供了一种可用短节拍时间且低成本的装置构成实现品质优越的曝光像的。为了解决上述课题，如图7所示，实施方式一的曝光装置的特征在于，包括生成曝光用的激光的光源装置5；用于放置被曝光基板K的平台3；在可对上述平台3以匀速度进行相对移动来设置的同时，在上述平台3的上部，被配置成俯视图为对上述相对移动的方向X形成格外倾斜的列，被构成为用上述激光将由各数字微镜装置72形成的标记显示72M照射在上述被曝光基板K上的多个标记用曝光单元7；以及上述平台3与上述多个标记用曝光单元7每相对移动从相邻的标记用曝光单元7A、7B中的一个标记用曝光单元7A的曝光结束位置P1至另一标记用曝光单元7B的曝光开始位置P2的距离D1，按照从最初通过上述被曝光基板K上的标记用曝光单元7A朝向最后通过上述被曝光基板K上的标记用曝光单元7C的顺序，转换各标记用曝光单元7A～7C照射在上述被曝光基板K上的激光的转换装置65、75。如图3所示，实施方式二的曝光装置具有第1电流镜(galvano mirror)74和驱动该电流镜74的第1电流镜驱动装置75，上述第1电流镜74形成为可将上述数字微镜装置72上所形成的标记显示72M投影在上述被曝光基板K上作为标记像MZ的配置，上述第1电流镜驱动装置75驱动上述第1电流镜74，使得上述标记像MZ沿上述相对移动的方向X移动。在实施方式三的曝光装置中，如图3所示，上述第1电流镜驱动装置75驱动上述第1电流镜74，使得上述标记像MZ沿上述相对移动的方向X以与该相对移动的速度相同的速度移动。在实施方式四的曝光装置中，如图6所示，上述数字微镜装置72转换上述标记显示72M并使之显示，使得上述标记像MZ沿上述相对移动的方向X以与该相对移动的速度相同的速度移动。如图5所示，实施方式五的曝光装置具有第2电流镜74Y和驱动该第2电流镜74Y的第2电流镜驱动装置75Y，上述第2电流镜驱动装置75Y驱动上述第2电流镜74Y，使得上述标记像MZ沿与上述相对移动的方向X正交的方向Y移动。实施方式六的曝光装置包括在可对上述平台3以匀速度进行相对移动来设置的同时、设置在上述平台3的上部的周边曝光用曝光单元9。按照实施方式七的曝光方法，由光源装置5生成曝光用的激光，将被曝光基板K放置在平台3上，将多个标记用曝光单元7设置成可对上述平台3以匀速度进行相对移动的同时，将其配置在上述平台3的上部，使俯视图为对上述相对移动的方向X形成格外倾斜的列，上述平台3与上述多个标记用曝光单元7每相对移动从相邻的标记用曝光单元7中的一个标记用曝光单元7A的曝光结束位置P1至另一标记用曝光单元7B的曝光开始位置P2的距离D1，按照从最初通过上述被曝光基板K上的标记用曝光单元7A朝向最后通过上述被曝光基板K上的标记用曝光单元7C的顺序，通过转换各标记用曝光单元7照射在上述被曝光基板K上的激光，将由各自的标记用曝光单元7中的数字微镜装置72所形成的标记显示72M导至上述被曝光基板K上。按照实施方式八的曝光方法，用电流镜74将在上述数字微镜装置72中所形成的标记显示72M作为标记像MZ导至上述被曝光基板K上，驱动上述电流镜74，使得上述标记像MZ沿上述相对移动的方向X移动。按照实施方式九的曝光方法，驱动上述第1电流镜74，使得上述标记像MZ沿上述相对移动的方向X以与该相对移动的速度相同的速度移动。按照实施方式十的曝光方法，上述数字微镜装置72转换上述标记显示72M并使之显示，使得上述标记像MZ沿上述相对移动的方向X以与该相对移动的速度相同的速度移动。按照实施方式十一的曝光方法，驱动上述第2电流镜74Y，使得上述标记像MZ沿与上述相对移动的方向X正交的方向Y移动。按照实施方式十二的曝光方法，通过在可对上述平台3以匀速度进行相对移动来设置的同时、设置在上述平台3的上部的周边曝光用曝光单元9，对上述被曝光基板K进行周边曝光。按照实施方式一、七的专利技术，当平台3移动从相邻的曝光单元7A、7B中的一个曝光单元7A的曝光结束位置P1至另一曝光单元7B的曝光开始位置P2的距离D1结束时，从另一曝光单元7B照射激光。由于相邻的曝光单元7A、7B形成从曝光结束位置P1至曝光开始位置P2具有距离D1的配置，故由一个曝光单元7A形成的标记像MZA和由另一曝光单元7B形成的标记像MZB沿Y方向形成为1列。从各曝光单元7照射的激光按时间序列被转换。从而，即使在增加激光的照射数目的情况下，无需或增大光源装置5的输出，或增加光源装置5的数目，可实现装置的低成本化。另外，由于用DMD72对面单位的标记显示72M进行曝光，故与以往那样以点单位进行曝光的情况不同，曝光位置不产生分散性，可形成清晰的标记像。而且，不停止上述相对移动即可进行曝光。这样，能够以短节拍时间且低成本的装置构成来实现品质优良的曝光像。按照实施方式二、八的专利技术，由于激光与平台3的相对速度之差减小，故能够减小可因平台3与激光的相对速度的偏移而产生的标记像的伸长或渗出。按照实施方式三、四、九、十的专利技术，由于激光与平台3的相对速度为零，故能够防止可因平台3与激光的相对速度的偏移而产生的标记像MZ的伸长或渗出，可形成清晰的标记像MZ。特别是，按照实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置，其特征在于，包括：光源装置，生成曝光用的激光；平台，用于放置被曝光基板；多个标记用曝光单元，在可对所述平台以匀速度进行相对移动来设置的同时，在所述平台的上部，被配置成俯视图为对所述相对移动的方向形成格外倾斜的列，被构成 为用所述激光将由各数字微镜装置形成的标记显示照射在所述被曝光基板上；以及转换装置，所述平台与所述多个标记用曝光单元每相对移动从相邻的标记用曝光单元中的一个标记用曝光单元的曝光结束位置至另一标记用曝光单元的曝光开始位置的距离，所述转换装置按照从最初通过所述被曝光基板上的标记用曝光单元朝向最后通过所述被曝光基板上的标记用曝光单元的顺序，转换各标记用曝光单元照射在所述被曝光基板上的激光。

【技术特征摘要】
JP 2005-3-18 2005-0794251.一种曝光装置，其特征在于，包括光源装置，生成曝光用的激光；平台，用于放置被曝光基板；多个标记用曝光单元，在可对所述平台以匀速度进行相对移动来设置的同时，在所述平台的上部，被配置成俯视图为对所述相对移动的方向形成格外倾斜的列，被构成为用所述激光将由各数字微镜装置形成的标记显示照射在所述被曝光基板上；以及转换装置，所述平台与所述多个标记用曝光单元每相对移动从相邻的标记用曝光单元中的一个标记用曝光单元的曝光结束位置至另一标记用曝光单元的曝光开始位置的距离，所述转换装置按照从最初通过所述被曝光基板上的标记用曝光单元朝向最后通过所述被曝光基板上的标记用曝光单元的顺序，转换各标记用曝光单元照射在所述被曝光基板上的激光。2.按照权利要求1所述的曝光装置，其特征在于具有第1电流镜和驱动该第1电流镜的第1电流镜驱动装置，所述第1电流镜的配置被形成为可将所述数字微镜装置上所形成的标记显示投影在所述被曝光基板上作为标记像，所述第1电流镜驱动装置驱动所述第1电流镜，使得所述标记像沿所述相对移动的方向移动。3.按照权利要求2所述的曝光装置，其特征在于所述第1电流镜驱动装置驱动所述第1电流镜，使得所述标记像沿所述相对移动的方向以与该相对移动的速度相同的速度移动。4.按照权利要求1所述的曝光装置，其特征在于所述数字微镜装置转换所述标记显示并使之显示，使得所述标记像沿所述相对移动的方向以与该相对移动的速度相同的速度移动。5.按照权利要求2或权利要求3所述的曝光装置，其特征在于具有第2电流镜和驱动该第2电流镜的第2电流镜驱动装置，所述第2电流镜驱动装置驱动所述第2电流镜，使得所述标记像沿与所述相对移动的方向正交的方向移动。6.按照权利要求1至...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷川央树，常吉豪，田尾正则，伊藤徹，泉田信也，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]