真空机械手制造技术

本发明专利技术涉及半导体刻蚀设备传输系统中的真空传输段的真空机械手，包括两个由固定铰链连接的伸缩臂，两伸缩臂各自包括固定臂、第二手臂、第三手臂和第四手臂和第五手臂，各手臂之间依次通过铰链结构连接，在第五手臂的自由端设置有托载晶片的终端受动器，所述终端受动器的中心和第四手臂的中心轴位于同一直线上，并垂直于固定臂和工艺腔室的中心。该机械手与目前通常使用的机械手相比，运动路径得到了优化，因而节省了传输时间，在工艺时间较短的情况下，提高了机械手的传输效率以及系统的产出率，同时采用正方形的传输腔室减少了占地面积；另外，该技术方案同时可以实现２００ｍｍ晶片和３００ｍｍ晶片加工的兼容性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子体刻蚀装置，特别是一种石英盖结构有改进的等离子体刻蚀装置。
技术介绍
在刻蚀设备的传输系统中，晶片的路径是通过大气机械手传送到定位器件上，经过该器件的定位后，再经过真空机械手搬运到刻蚀的工艺腔室中进行工艺操作。通常情况下，为了节省空间和维修方便，真空传输腔室的外形都为放射状的多边形结构，真空机械手为单臂或者双臂结构。真空机械手在进行搬运晶片时，通常是真空机械手首先在数值方向上降低几个毫米(一般竖直运动的距离都在35mm以内)，将机械手前端的终端受动器伸入到定位元件支撑晶片的部件的底部，然后沿竖直方向上提升真空机械手，这样真空机械手就从定位元件上抓取了一片晶片，然后根据工艺需要，通过软件进行控制，将真空机械手上的晶片放置到所需要的工艺腔室中，其动作步骤与上述类似。在传输系统中，影响产出率的因素有很多，其中真空机械手部分往往是整个系统产出率的瓶颈，因而如何提高真空传输部分的真空机械手的产出率显得尤为重要，它影响到整个刻蚀工艺的产出率。图6是目前300mm半导体刻蚀设备传输系统中大多数采用的传输腔室8和真空机械手7的外形。真空机械手从前端晶片定位机构中取出晶片，其手本文档来自技高网...

【技术保护点】
真空机械手，其特征是包括通过铰链结构固定在电动机驱动轴上的固定臂（１），在固定臂（１）的两端对称地鱼贯设置有第二手臂（２）、第三手臂（３）和第四手臂（４），各臂之间通过铰链结构连接，在第四手臂（４）的自由端设置有托载晶片的终端受动器（５），所述终端受动器的中心和第四手臂（４）的中心轴位于同一直线上，并垂直于固定臂（１）和工艺腔室（９）的中心。

【技术特征摘要】
1.真空机械手，其特征是包括通过铰链结构固定在电动机驱动轴上的固定臂(1)，在固定臂(1)的两端对称地鱼贯设置有第二手臂(2)、第三手臂(3)和第四手臂(4)，各臂之间通过铰链结构连接，在第四手臂(4)的自由端设置有托载晶片的终端受动器(5)，所述终端受动器的中心和第四手臂(4)的中心轴位于同一直线上，并垂直于固定臂(1)和工艺腔室(9)的中心...

【专利技术属性】
技术研发人员：董博宇，
申请(专利权)人：北京圆合电子技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]