【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种处理微电子基片的系统,该系统包括: 工艺室,在处理过程中可在其中放置一个或多个微电子基片; 流体输送路径,流体可通过其分配到放置于工艺室内的基片上; 与流体输送路径流体相连的流体脱除路径,其连接方式使得在流体输送路径内的至少部分残余液体可以从流体输送路径中抽出,而不会将至少所述残余液体部分直接吹扫到一个或多个基片上。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:AC本森,ED奥尔森,DS斯佩思,
申请(专利权)人:FSI国际公司,
类型:发明
国别省市:US[美国]
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