本发明提供了用于完成用于处理一个或多个微电子工件的工具中的工具表面清洗的清洗方法和组件。本发明可用于清洗结构，所述结构以如下方式位于正处理的工件的上方，即，部分地用作处理腔室上面的盖，同时也在工件上方限定出锥形流动通道。取代以产生过度的...

本发明提供用于在使用喷雾处理器工具处理微电子器件期间控制第一处理流体与第二处理流体之间的转变的方法及设备。

本发明提供一种用于处理微电子工件的系统，包括：容纳工件的处理室，所述处理室包括将工件与环境空气隔离的边界，边界的一部分包括流动气体的帘幕；可移动盖，其覆盖在工件上并限定处理室的至少一部分边界，所述盖包括第一状态和第二状态，在第一状态中，...

一种处理基材的方法，包括，一方面，将在其表面上具有物质的基材放入处理室内；导入液体处理组合物流股以冲击所述基材表面；和导入水蒸气流股以冲击所述基材表面和/或冲击所述液体处理组合物。本发明的优选方面为从基材上除去物质，优选除去光致抗蚀剂，...

本发明提供了用一种用于处理微电子工件的设备，其包括：a)处理腔室，在处理期间在所述处理腔室中布置有工件；b)遮挡结构，其包括在处理期间叠置在工件上方并且至少部分地覆盖工件的下表面，其中在所述遮挡结构的下表面和工件之间的距离沿着朝向所述遮...

通过包括以下步骤的方法从基材（１３）的表面上除去颗粒：使包含水和表面活性化合物的液体气溶胶液滴在足以从该表面上除去颗粒的力下接触该表面。

本发明提供了用于采用一种或多种处理材料来处理微电子工件的工具，所述处理材料包括液体、气体、流化固体、这些的组合物等。

一种工具，用于通过一种或多种处理材料（包括液体、气体、流化固体、分散物质、它们的组合以及类似物）来处理微电子工件。本发明提供了一种快速、高效漂洗润湿表面的方法，本发明在用于漂洗活动阻挡板结构的下表面时特别有利，该阻挡板结构例如阻挡板，它...

本发明提供了工具设计及其使用的策略，其中，工具可在关闭或打开操作模式中操作。工具根据需要在打开与关闭模式之间轻松地转换。根据一个总体策略，受环境控制的路径将环境与一个或多个处理室接合。处理室上游的空气放大能力允许根据需要将大量气流引入处...

一种处理基材的方法，包括，一方面，将在其表面上具有物质的基材放入处理室内；导入液体处理组合物流股以冲击所述基材表面；和导入水蒸气流股以冲击所述基材表面和／或冲击所述液体处理组合物。本发明的优选方面为从基材上除去物质，优选除去光致抗蚀剂，...

从基材（１８）除去材料优选光致抗蚀剂的方法包括：以有效基本上均匀涂覆该材料涂覆的基材的量将包含硫酸和／或其干燥物质和前体并具有不大于５∶１的水／硫酸摩尔比的液体硫酸组合物散布到该材料涂覆的基材上。优选地，在该液体硫酸组合物的散布之前、期...

本发明提供的系统和方法使得能够在宽的温度范围如０℃－３５０℃的温度曲线上迅速地轮转工件而无需在分离的烘烤和冷却机构之间举递工件。本发明部分基于在烘烤和冷却操作期间利用低热容的导热加热元件（２０）支撑工件，例如微电子器件，这一原理。把工件...

本发明提供的系统和方法使得能够在宽的温度范围如０℃～３５０℃的温度曲线上迅速地轮转工件而无需在分离的烘烤和冷却机构之间举递工件。本发明部分基于在烘烤和冷却操作期间利用低热容的导热加热元件（２０）支撑工件，例如微电子器件，这一原理。把工件...

提供了一种用于增加在液体如超纯去离子水中溶解的气体如臭氧的量的方法和系统。被溶解的气体（１０）在压力下引入到液体（３１）中，在压力（４０）下形成输送到成品使用装置的混合物。到达成品使用装置后，含有液体和溶解气体的混合物进行受控分配。因此...

本发明涉及建立和保持溶解在一液体中的气体的精确浓度的一种方法和系统。本发明特别涉及这样一种建立和保持溶解在一液体中的气体的精确浓度的方法和系统，它使用其所含所需气体的浓度足以与待溶解在该液体中的气体的所需浓度取得平衡的一气体混合物、即一...

一种处理室和应用这种处理室热处理薄片形制品的方法。该处理室包括双层壁壳、支架式加热器、用于输送冷却气体和排出排放气体的内部通道、可独立改变的气体引入模式和用于密封处理室的活动门。该处理室被设计成可以在原位冷却薄片形制品并提供可以准确优化...

本发明描述了旋涂过程的过程控制方法以及用于该过程控制方法的设备和装置。

本发明提供了浸渍化学处理系统以及对基片进行浸渍处理的方法，所述系统能够对浸渍槽提供所需的至少两种化学药剂的混合物。该系统能够极为精确地生成具有一个或多个所需特性的混合物，这至少部分地由于该系统能够监测混合物的至少一个特性或浸渍处理的至少...

本发明提供微型电子基片的加工工具和方法，其中工具保持高的通过量，而具有比普通的工具显著低的占地，在优选的方面，本发明提供新颖的工具设计，其中多项的工具功能以新颖的方式重叠在工具的Ｘ、Ｙ和／或Ｚ－轴上。

提供一种用来处理物体的方法。在这种方法中，在有利于至少部分地包围物体以在浴具液体的旋转流中进行处理的情况下，把处理化学物质加入到浴具中，接着，在有利于至少部分地包围物体以在浴具液体的旋转流中进行处理的情况下，把非处理液体加入到浴具中。还...